1.本发明涉及半导体器件制造
技术领域:
:,尤其涉及一种晶圆检测报表文件分发方法及系统、、电子设备、存储介质、计算机程序产品。
背景技术:
::2.随着半导体制造技术尺寸的不断缩小,制造工艺也越来越复杂,晶圆的制造和封装是一个涉及几百步工艺的长而复杂的过程,这些步骤绝不可能每次都完美进行,污染和材料的变化将结合到工艺中造成晶圆的缺陷损失。维持及提高工艺和产品的良品率对半导体工业至关重要。在晶圆制造工艺中,工厂需要对各个节点进行监测。例如,晶圆制造出货前,对晶圆进行检测和测量,包括:晶圆上是否有缺陷,以及晶圆可接受度测试(wat,waferacceptabletest),其中,缺陷检测决定了该晶圆是否合格,而可接受度测试则直接影响着晶圆厂的出货效率。而这些检测数据或测试数据通常是写在机台产生的文件当中的,这些文件的特点是不同机台产生的数据文件格式不同,内容也不同,数据量大,每次测试都有上百个参数需要测试,而晶圆上还划分了很多坐标点(die),每个die都要测试上百个参数,而产生的数据文件极其庞杂,如果仅仅是将数据读取解析展示给工程师看,面对成百上千个参数,他们也会感到力不从心。因此,晶圆代工厂通常借助大量的报表分析系统来对机台产生的文件进行分析。3.目前,当机台产生晶圆检测报表文件后,通常先将机台产生的报表文件转存至其他位置存储,当有报表分析系统需要使用时,再将该报表文件转存至指定位置。一方面,由于数据转存大多是按照报表分析系统串行处理,每转存一次,原始文件需要读取多次,这样非常的浪费io,并且对于时效要求高的报表分析系统,很难满足需求。另一方面,当多个报表分析系统需要同时共用同一份报表文件时,该多个报表分析系统都需要从给机台上下载相应的报表文件,这将大大增加产生该份报表文件对应机台的负载,从而影响机台的正常运行(例如,造成卡顿等),进而影响晶圆的正常生产制造,甚至引起晶圆缺陷而导致晶圆良率下降。技术实现要素:4.本发明的目的在于提供一种晶圆检测报表文件分发方法及系统,部分地解决或缓解现有技术中的上述不足,一定程度地降低机台的负载,以保证晶圆制造的正常运行。5.有益效果:本发明通过预先配置文件采集目录和目标分发目录,并将同一晶圆检测报表文件对应的多个目标路径与其采集路径进行绑定,然后根据采集路径下载相应的晶圆检测报表文件,并根据对应的目标路径分发该晶圆检测报表文件,使得当多个报表分析系统需要同一份晶圆检测报表文件时,只需要读取和下载一次,然后并行复制分发至各个报表分析系统即可,相较于现有技术中,多个报表分析系统同时从机台上读取和下载相同的一份报表文件的方式,大大降低了机台的负载,保证了机台的正常运行,从而提高晶圆制造的生产效率和良率,避免现有技术中因机台负载过大而无法保证正常运行,进而影响晶圆的正常生产以及缺陷检测等工艺环节;并且,由于无需将该报表文件进行多次转存,也无需多次读取该报表文件,使得各个报表分析系统能够更快地获取到晶圆检测报表文件,即提高了报表文件的分发效率,并且周期性地获取报表文件,以进行分发,从而能够一定程度地满足各个报表分析系统对时效的要求,同时采用并发处理的方式,相较于现有串行发送报表文件的方式,节约了io资源。附图说明6.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍。在所有附图中,类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中,各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。7.图1为本发明一示例性实施例的一种晶圆检测报表文件分发方法的流程图;8.图2为本发明一示例性实施例的一种晶圆检测报表文件分发系统的功能模块图;9.图3为本发明一示例性实施例的晶圆检测报表文件分发示例图;10.图4为本发明一示例性实施例的文件采集目录的示意图;11.图5为本发明一示例性实施例的目标分发目录的示意图;12.图6为本发明又一示例性实施例的目标分发目录的示意图。具体实施方式13.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。14.本文中,使用用于表示元件的诸如“模块”、“部件”或“单元”的后缀仅为了有利于本发明的说明,其本身没有特定的意义。因此,“模块”、“部件”或“单元”可以混合地使用。15.本文中,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前”、“后”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。16.本文中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体连接;可以是机械连接,可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。17.本文中“晶圆检测报表文件”是指晶圆生产制造工艺过程中,每个工艺环节中由相应机台对晶圆进行检测时产生的包括晶圆相关分析数据的报表文件。例如,晶圆检测机台对当前晶圆进行缺陷检测时,得到的包括晶圆缺陷数据的报表文件。相应地,一个晶圆对应于一个报表文件。通常,不同的机台所产生的报表文件的格式不同。18.本文中“晶圆检测报表文件”是指晶圆生产制造的整个工艺过程中,各个环节利用相应的机台对该晶圆进行相应的检测所得到的数据,且这些数据以报表形式进行存储。当然,同一个机台产生的多个检测报表文件(或者一批晶圆检测报表文件)都存储在同一个路径下,且同一个路径下的晶圆检测报表文件会实时更新。19.本文中“采集路径”是指获取晶圆检测报表文件的源头地址,例如,机台内的存储。20.本文中“目标路径”是指该晶圆检测报表文件将要被分发的目标地的地址,例如目标报表分析系统的存储,或者其他指定存储。21.实施例1:参见图1,为本发明一示例性实施例的一种晶圆检测报表文件分发方法的流程图,具体地,该方法包括步骤:22.s101,配置文件采集目录和目标分发目录,并将该文件采集目录与目标分发目录进行绑定并存储。23.在一些实施例中,该文件采集目录包括:每个晶圆检测报表文件的采集路径;相应地,该目标分发目录包括:每个晶圆检测报表文件对应的多个目标路径。其中,每个采集路径下存储有相同类型的至少一个晶圆报表文件;而每个目标路径对应于一个报表分析系统。24.在一些实施例中,将该文件采集目录与目标分发目录绑定是指将每个晶圆检测报表文件的采集路径与相应的目标分发路径进行绑定,或者说,构建每个晶圆检测报表文件的采集路径与相应的至少一个目标分发路径之间映射关系。25.例如,参见图4,预先根据晶圆生产制造工艺过程中所涉及到的各个环节来配置该文件采集目录,当整个过程中需要涉及到n个检测环节,相应地,在该文件采集目录中配置n个采集路径:url11、url12、url13、url14、···、url1n,其中,每个采集路径url1i(i=1,2,···,n)下存储有相应检测环节所产生的多个相同类型的晶圆检测报表文件。26.再如,参见图5,预先根据晶圆生产制造工艺过程中所涉及到的各个报表分析系统来配置该目标分发目录,当整个过程中需要涉及到m个报表分析系统,相应地,在该目标分发目录中配置m个目标分发路径:url21、url22、url23、url24、···、url2m。27.一些情况下,由于多个报表分析系统需要同一份晶圆检测报表文件(或同一类晶圆检测报表文件),因此,需要根据各个报表分析系统所需要的晶圆检测报表文件(或所需的晶圆检测报表文件类型),将上述采集路径与相应的目标路径进行绑定,也即构建采集路径与相应的目标路径之间的映射关系。28.为了便于理解,参见图6,展示了将采集路径与相应的目标路径绑定之后的呈现形式:例如,由于只有一个报表分析系统需要采集路径url11下的晶圆检测报表文件,因此,将采集路径url11与该报表分析系统对应的目标路径url21绑定;由于有两个报表分析系统需要采集路径url12下的晶圆检测报表文件,因此,将采集路径url12与相应的目标路径url21、url22、url24绑定;同理,分别将采集路径url13与目标路径url23绑定、采集路径url14与目标路径url24绑定······。当然,绑定的采集路径与目标路径之间的具体呈现形式可根据实际需要进行调整或改变。29.s102,周期性地根据采集路径下载相应的多个晶圆检测报表文件。30.在一些实施例中,系统通过文件微服务到采集路径下载相应的晶圆检测报表文件。31.在一些实施例中,该“周期性”是指按照预设的时间间隔周期性地下载,具体的时间间隔可根据实际需要进行调整,当然,若该时间间隔很短,也可以认为是实时地下载。当然,每次下载时都会产生相应的下载记录,或者在相应的系统日志中进行记录。32.在一些实施例中,由于晶圆生产制造过程中,机台中的晶圆检测报表文件是实时产生的,相应地,该采集路径下的多个晶圆检测报表文件也会不断地进行更新。33.在一些实施例中,更新时会自动判断该采集路径下已有的多个晶圆检测报表文件是否已被下载,若已被下载,新的晶圆检测报表文件将覆盖旧的晶圆检测报表文件,若未被下载,将新的晶圆检测报表文件追加至该采集路径下,并保留为未被下载过的旧的晶圆检测报表文件,从而节约存储空间,也节约资源。34.s103,根据所下载的晶圆检测报表文件的数量和文件大小分配相应的文件分发应用。35.在一些实施例中,该步骤s103具体包括步骤:根据文件大小将所下载的各个晶圆检测报表文件按照由大到小的顺序进行排序;从第一顺位的晶圆检测报表文件开始依次分配给预先配置的多个文件分发应用。36.由于不同机台所产生的晶圆检测报表文件类型不同,当然文件大小也不同,因此,为了保证各个文件分发应用所分配到的晶圆检测报表文件大小之间一定程度的均衡性,按照文件大小从大到小的顺序依次分配到各个文件分发应用。例如,当前有10个晶圆检测报表文件,预先配置了3个文件分发应用,因此,先根据10个晶圆检测报表文件的文件大小按照由大到小进行排序,然后将第一顺位开始依次分配相应的文件分发应用,直至所有晶圆检测文件分配至相应的文件分发应用。例如,第一顺位至第三顺位的晶圆检测文件依次分配至三个文件分发应用app1、app2、app3,然后将第四顺位至第六顺位的晶圆检测文件依次分配至三个文件分发应用app1、app2、app3,再将第七顺位至第九顺位的晶圆检测文件依次分配至三个文件分发应用app1、app2、app3;最后将最末位的晶圆检测报表文件分配至第一个文件分发应用app1,或者三个文件分发应用中始终分配到最小文件的app3。即根据预先配置的文件分发应用个数,从第一顺位开始依次将每个晶圆检测报表文件分配至一个文件分发应用,且当每个文件分发应用都分配到一个晶圆检测报表文件时,再次按照从大到小的顺序,从剩余未分配的晶圆检测报表中的第一顺位依次将每个晶圆检测报表文件分配至相应的一个文件分发应用,如此循环,直至最后一个晶圆检测报表文件分配完成。37.在另一些实施例中,需要根据晶圆代工厂的实际情况预先配置文件分发应用的配置参数,例如,除了文件分发应用的数量外,还包括表示每个文件分发应用一次最多能够处理的文件个数的第一配置限额,以及表示每个文件分发应用一次所能够处理的文件大小的第二配置限额。优选地,每个文件分发应用的第一配置限额都相同,第二配置限额也相同。38.在一些实施例中,由于每个文件分发应用配置了相应的配置限额,因此,在文件分配过程中,例如,将每个晶圆检测报表文件分配至相应的文件分发应用之前,需要根据当前文件分发应用的配置参数和已分配额判断其是否已经超负载,具体地,判断当前文件分发应用已分配得到的分配额是否超过第一配置限额或第二配置限额;若超过,不再分配新的晶圆检测报表文件至当前文件分发应用,若未超过,则将新的晶圆检测报表文件分配至该当前文件分发应用。39.在一些实施例中,该已分配额是指该文件分发应用已经分配得到(或已接收到)的晶圆检测报表文件的数量,或者已分配得到(或已接收到)的所有晶圆检测报表文件的总文件大小。40.在另一些实施例中,如前所述,由于配置了每个文件分发应用的配置参数,因此,需要根据晶圆检测报表文件的数量和文件大小,以及文件分发应用的配置参数来判断当前所有的文件分发应用是否能够承载当前的所有晶圆检测报表文件的复制分发业务,也即判断当前各个文件分发应用是否能够承载当前的报表分发业务(参见图1中步骤s105);若不能够承载,启动临时服务应用进行文件复制分发业务;若能够承载,执行步骤s104。具体地,判断所有文件分发应用已分配得到的分配额是否都已超过第一配置限额或第二配置限额(例如,每个文件分发应用已接收的晶圆检测报表文件数量超过预设的第一配置限额,或每个文件分发应用已接收的所有晶圆检测报表文件的总文件大小超过了预设的第二配置限额);若是,启动临时服务应用进行文件复制分发业务,并根据尚未分配晶圆检测报表文件的数量和文件大小分配相应的临时服务应用,其分配原理与上述将各个晶圆检测报表文件分配至各个文件分发应用的分配原理相同,这里不再赘述。41.例如,按照文件大小,将未分配的晶圆检测报表文件从大到小进行排序,然后从第一顺位开设依次分配相应的临时服务应用。42.再如,根据第一配置限额和第二配置限额判断任一临时服务应用是否超负载:判断任一临时服务应用已分配得到的分配额是否超过预设的第一配置限额或第二配置限额;若是,不再分配新的晶圆检测报表文件至该临时服务应用。43.又如,根据第一配置限额和第二配置限额判断当前启动的所有临时服务应用是否能够承载所有未分配晶圆检测报表文件复制分发业务;若不能够承载,将不能够承载的所述晶圆检测报表文件进行标记,以计入下一次分配。44.s104,调用相应的文件分发应用根据每个晶圆检测报表文件对应的目标路径,将该晶圆检测报表文件复制并行分发至相应的多个目标报表分析系统。45.在一些实施例中,当一个晶圆检测报表文件分配到相应的文件分发应用时,则由该文件分发应用将相应的晶圆检测报表文件复制分发至相应的目标报表分析系统。由于是通过复制分发,而是根据所有发送的目标报表分析系统的数量直接复制相应的数量进行分发即可,因此,无需对原始的检测报表文件进行多次转存;另一方面,若目标报表分析系统由于丢失数据文件或其他原因而要求重新分发该晶圆检测报表文件(例如,向相应的文件分发应用反馈一个重发请求)时,该文件分发应用直接根据所下载的晶圆报表文件再次复制后直接发送至相应的目标报表分析系统即可,大大提高了重新分发的处理效率,节省了系统资源,而传统的方式中,需要将整个采集分发任务重新执行一遍,即需要重新采集晶圆检测报表文件,再重新分发给各个报表分析系统,从而导致不能快速地实现重新分发,进而降低了重新分发的处理效率,且浪费了一定的系统资源。46.在另一些实施例中,当一个晶圆检测报表文件被分配到临时服务应用时,则由该临时服务应用将相应的晶圆检测报表文件复制分发至相应的目标报表分析系统。47.下面结合具体示例对本示例性实施例的方法中的晶圆检测报表文件的分发进行详细说明。48.参见图3,系统中预先配置的文件分发应用一共有3个:app1、app2、app3,且每个文件分发应用对应的配置参数:所能处理的文件数量最多3个(即第一配置限额),且所能处理的文件总大小为4g(即第二配置限额);预先配置的临时服务应用一共有2个:temp1、temp2,且每个临时服务应用对应的配置参数与文件分发应用的配置参数相同,即所能处理的文件数量最多3个,且所能处理的文件总大小为4g;而当前一共有15个晶圆检测报表文件,并按照文件大小由大到小的顺序进行了排序:文件1(3g)、文件2(2g)、文件3(2g)、文件4(2g)、文件5(1g)-文件15(1g)。49.15个晶圆检测报表文件具体分配过程如下:50.由于最大值(向上取整(待分配文件个数/app配置文件数量),向上取整(待分配文件总大小/app配置处理大小))=max(ceil(15/3),ceil(20/4))=5》预先配置的文件分发应用的数量3,所以启动全部文件分发应用app,并从第一顺位的晶圆检测报表文件开始依次将所有待分配的晶圆检测报表文件分配至这3个文件分发应用:51.文件1(3g)、文件2(2g)、文件3(2g)依次分配给app1、app2、app3;52.文件4(2g)、文件5(1g)、文件6(1g)依次分配给app1、app2、app3;其中,由于app1所分配的文件总大小5g超过与预设的第二配置限额4g,因此,不再分配新的文件给该app1;53.文件7(1g)、文件8(1g)依次分配为app2、app3;其中,app2和app3所分配的文件总数量为3,达到预设的第一配置限额3,因此,不再分配新的文件给app2和app3。54.但此时仍有7个共7g文件还未分配,将启动临时服务应用temp来处理文件。由于最大值(向上取整(剩余未分配文件个数/app配置文件数量),向上取整(剩余未分配文件总大小/app配置处理大小))=max(ceil(7/3),ceil(7/4))=3》预先配置的临时服务应用temp的数量2,所以启动2个临时服务应用temp:55.文件9(1g)、文件10(1g)依次分配为temp1、temp2;56.文件11(1g)、文件12(1g)依次分配为temp1、temp2;57.文件13(1g)、文件14(1g)依次分配为temp1、temp2;其中,temp1和tmp2所分配的文件总数量均为3,达到预设的第一配置限额,因此,将不再分配新的晶圆检测报表文件给temp1、temp2。58.由此可知,所有的应用(包括app和tempapp)都不再接收新的晶圆检测报表文件,而剩余未分配的晶圆检测报表文件15(1g)将跳过本次分配,等待下次重新下载到新的晶圆检测报表文件时,再一起进行分配,其分配原理相同,这里不再赘述。59.根据上述分配原理进行分配后,由于各个文件大小差距不大,且每个应用的数据处理相同的情况下,可知app1最终将处理5g大小的文件,app2处理4g大小的文件,app3处理4g大小的文件,temp1、temp2都将分别处理3g大小的文件,由此可知,所有应用对应的文件大小达到一定程度的均衡性,避免了某个或某部分应用需要处理较大的文件,而另一个或另一部分应用则处理较小的文件,或者,某些应用的文件处理能力没有被合理安排的情况,从而导致文件分发效率降低。例如,若将文件1和2分配给app1处理,文件3和4分配给app2,文件5、6、7分配给app3,其中,app1将处理5g,app3将处理3g,其中,app1需要处理5g,而app3只需要处理3g小于第二配置限额4g,也即是说,在app1超负载,且app2数据处理能力充分利用的前提下,而app3的数据处理能力却没有得到充分的利用。当然,这仅仅是一个示例,而在实际工程应用中,由于报表文件的类型较多,文件大小也有更多变化,因此,如何在这种情况下,尽可能较好地充分利用各个文件分发应用的数据处理能力非常重要,因为这将直接应用各个报表分析系统进行报表分析的效率,从而影响晶圆生产制造工艺过程中各个环节的检测效率,进而影响晶圆的生成效率和良率。60.通常,需要分配的文件总数量是上千级,是远远大于系统所配置的文件分发应用的个数,因此,通常分配时是先将晶圆检测报表文件分配到各个文件分发应用,然后再根据剩余的晶圆检测报表文件的数量和大小来确定启动的临时服务应用的数量。当然,若待分配的文件总数量小于文件分发应用的个数,则启动相应个数的文件分发应用,并将每个晶圆检测文件分配到一个文件分发应用即可。61.本发明示例性的方法通过预先配置文件采集目录和分发目标目录,并将两者绑定,因此,只需根据采集目录到相应的采集路径下(例如,机台内的存储)下载待分析的晶圆检测报表文件,然后将所下载的晶圆检测报表文件复制并行分发至其对应的多个目标路径所匹配的目标报表分析系统即可,整个过程中,只需要从采集路径读取一次,不需要进行多次的数据转存,更不需要多个目标报表分析系统到机台上读取,大大降低了机台的负载;并且,当下载到文件后,根据目标报表分析系统的数量进行复制后并行分发,相较于通过多次转存,且串行发送的方式,大大提高了目标报表分析系统获取文件的效率,也即本示例性的实施例更加适应于对时效性有一定要求的场景。另一方面,由于采用文件分发应用app来进行文件的下载和分发,无需对现有的生产环境和硬件设备布局等进行大规模改变。62.实施例2:参见图2,本发明提供了一种晶圆检测报表文件分发系统,具体地,该系统包括:63.数据库,用于存储数据;64.第一配置模块,用于配置文件采集目录和目标分发目录,并绑定该文件采集目标中每个晶圆检测报表文件的采集路径和目标分发目录中相应的至少一个目标路径,再存储到数据库中;65.第二配置模块,用于配置文件分发应用和临时服务应用的配置参数;所述配置参数包括:表示所述文件分发应用或所述临时服务应用每次所能够处理的文件数量最大值的第一配置限额;以及表示所述文件分发应用或所述临时服务应用每次所能够处理的文件大小最大值的第二配置限额;66.文件获取模块,用于周期性地根据该文件采集目录中的采集路径下载晶圆检测报表文件;67.文件分发主控模块,用于根据文件获取模块所下载的晶圆检测报表文件的数量和大小分配相应的文件分发应用模块,并调用该文件分发应用模块根据对应的目标路径分发至相应的目标报表分析系统;68.文件分发应用模块,用于根据所述目标路径将所述晶圆检测报表文件分发至相应的目标报表分析系统。69.在一些实施例中,该文件分发主控模块包括:70.文件排序单元,用于根据每个晶圆检测报表文件的文件大小将所下载的所有晶圆检测报表文件由大到小进行排序;71.文件复制分发单元,用于从第一顺位的所述晶圆检测报表文件开始依次将所有所述晶圆检测报表文件分配至预先配置的各个所述文件分发应用,直至所有所述晶圆检测文件分配完成。72.在一些实施例中,该晶圆检测报表文件分发系统还包括:第一业务主控模块,用于根据所述第一配置限额或所述第二配置限额判断任一文件分发应用是否超负载;且当判断出超负载时,控制所述文件分发主服务模块不再分配新的所述晶圆检测报表文件至所述任一文件分发应用;具体地,该第一业务主控模块具体地用于判断任一文件分发应用已分配得到的分配额是否超过所述第一配置限额或所述第二配置限额;且当判断出超过,控制所述文件分发主服务模块不再分配新的所述晶圆检测报表文件至所述任一文件分发应用。73.在一些实施例中,该晶圆检测报表文件分发系统还包括:第二业务主控模块,用于判断预先配置的所有所述文件分发应用是否能够承载当前所下载到的所有晶圆检测报表文件的复制分发业务;且当判断出不能够承载,启动预先配置的所述临时服务应用进行复制分发业务;具体地,所述第二业务主控模块具体用于判断所有所述文件分发应用已分配得到的分配额是否超过所述第一配置限额或所述第二配置限额,且当判断出超过,启动所述临时服务应用进行文件复制分发业务,并控制所述文件分发主服务模块根据未分配所述晶圆检测报表文件的数量和文件大小分配相应的所述临时服务应用。74.在一些实施例中,该晶圆检测报表文件分发系统还包括:第三业务主控模块,用于判断任一临时服务应用已分配得到的分配额是否超过预设的第一配置限额或第二配置限额;且当判断出超过,控制所述文件分发主服务模块不再分配新的所述晶圆检测报表文件至所述任一临时服务应用。75.在一些实施例中,该晶圆检测报表文件分发系统还包括:第四业务主控模块,用于判断所有临时服务应用是否能够承载所有未分配晶圆检测报表文件复制分发业务;若不能够承载,将不能够承载的所述晶圆检测报表文件进行标记,以计入下一次分配。76.还用于当判断文件分发应用模块是否能够承载当前所获取到的所有晶圆检测报表文件的分发业务,若不能够承载,启动临时服务模块进行分发业务。77.本发明的第四方面,提供了一种电子设备,包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,所述处理器执行所述程序时实现前文所述方法的步骤。为了便于说明,仅示出了与本说明书实施例相关的部分,具体技术细节未揭示的,请参照本说明书实施例方法部分。该电子设备,可以是包括各种电子设备,pc电脑、网络云服务器,甚至手机、平板电脑、pda(personaldigitalassistant,个人数字助理)、pos(pointofsales,销售终端)、车载电脑、台式电脑等任意电子设备。78.具体地,总线可以包括任意数量的互联的总线和桥,其将包括由处理器代表的一个或多个处理器和存储器代表的存储器的各种电路链接在一起。总线还可以将诸如外围设备、稳压器和功率管理电路等之类的各种其他电路链接在一起,这些都是本领域所公知的,因此,本文不再对其进行进一步描述。通信接口在总线和接收器和/或发送器之间提供接口,接收器和/或发送器可以是分开独立的接收器或发送器也可以是同一个元件如收发机,提供用于在传输介质上与各种其他装置通信的单元。处理器负责管理总线和通常的处理,而存储器可以被用于存储处理器在执行操作时所使用的数据。79.通过以上的实施方式的描述,本领域的技术人员易于理解,这里描述的示例实施方式可以通过软件实现,也可以通过软件结合必要的硬件的方式来实现。因此,根据本公开实施方式的技术方案可以以软件产品的形式体现出来,该软件产品可以存储在一个计算机可读存储介质(可以是cd-rom,u盘,移动硬盘等)中或网络上,包括若干指令以使得一台计算设备(可以是个人计算机、服务器、或者网络设备等)执行根据本公开实施方式的上述方法。80.所述计算机可读存储介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号,其中承载了可读程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式,包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。可读存储介质还可以是可读存储介质以外的任何可读介质,该可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。可读存储介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输,包括但不限于无线、有线、光缆、rf等等,或者上述的任意合适的组合。81.可以以一种或多种程序设计语言的任意组合来编写用于执行本公开操作的程序代码,所述程序设计语言包括面向对象的程序设计语言—诸如java、c++等,还包括常规的过程式程序设计语言—诸如“c”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算设备上执行、部分地在用户设备上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算设备上部分在远程计算设备上执行、或者完全在远程计算设备或服务器上执行。在涉及远程计算设备的情形中,远程计算设备可以通过任意种类的网络,包括局域网(lan)或广域网(wan),连接到用户计算设备,或者,可以连接到外部计算设备(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。82.上述计算机可读介质承载有一个或者多个程序,当上述一个或者多个程序被一个该设备执行时,使得该计算机可读介质实现如下功能:配置文件采集目录和目标分发目录;其中,所述文件采集目录包括每个晶圆检测报表文件对应的采集路径;所述目标分发目录包括每个晶圆检测报表文件对应的多个目标路径;将同一所述晶圆检测报表文件对应的所述采集路径与对应的多个所述目标路径绑定;周期性地根据所述采集路径下载多个所述晶圆检测报表文件;根据所有所述晶圆检测报表文件的数量和文件大小分配相应的所述文件分发应用;调用所述文件分发应用根据所述目标路径将所述晶圆检测报表文件复制分发至相应的多个报表分析系统。83.本领域技术人员可以理解上述各模块可以按照实施例的描述分布于装置中,也可以进行相应变化唯一不同于本实施例的一个或多个装置中。上述实施例的模块可以合并为一个模块,也可以进一步拆分成多个子模块。84.通过以上的实施方式的描述,本领域的技术人员可以清楚地了解到上述实施例方法可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现,当然也可以通过硬件,但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解,本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来,该计算机软件产品存储在一个存储介质(如rom/ram、磁碟、光盘)中,包括若干指令用以使得一台计算机终端(可以是手机,计算机,服务器,或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述的方法。85.需要说明的是,在本文中,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。86.上面结合附图对本发明的实施例进行了描述,但是本发明并不局限于上述的具体实施方式,上述的具体实施方式仅仅是示意性的,而不是限制性的,本领域的普通技术人员在本发明的启示下,在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围情况下,还可做出很多形式,这些均属于本发明的保护之内。当前第1页12当前第1页12
技术特征:1.一种晶圆检测报表文件分发方法,其特征在于,包括步骤:配置文件采集目录和目标分发目录;其中,所述文件采集目录包括每个晶圆检测报表文件对应的采集路径;所述目标分发目录包括每个晶圆检测报表文件对应的多个目标路径;将同一所述晶圆检测报表文件对应的所述采集路径与对应的多个所述目标路径绑定;周期性地根据所述采集路径下载多个所述晶圆检测报表文件;根据所有所述晶圆检测报表文件的数量和文件大小分配相应的所述文件分发应用;调用所述文件分发应用根据所述目标路径将所述晶圆检测报表文件复制分发至相应的多个报表分析系统;其中,根据所下载的所述晶圆检测报表文件的数量和大小分配文件分发应用的步骤,具体包括步骤:根据每个所述晶圆检测报表文件大小将所有所述晶圆检测报表文件由大到小进行排序;从第一顺位的所述晶圆检测报表文件开始依次将所有所述晶圆检测报表文件分配至预先配置的各个所述文件分发应用,直至所有所述晶圆检测文件分配完成。2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测报表文件分发方法,其特征在于,从第一顺位的所述晶圆检测报表文件开始依次将所有所述晶圆检测报表文件分配至所述文件分发应用的步骤,具体包括步骤:根据当前文件分发应用的已分配额和所述当前文件分发应用对应的第一配置限额或第二配置限额判断所述当前文件分发应用是否超负载;所述分配额包括已分配到的所述晶圆检测报表文件数量,或者已分配到的所有文件大小;若超负载,不再分配新的所述晶圆检测报表文件至所述当前文件分发应用。3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测报表文件分发方法,其特征在于,还包括步骤:判断所有所述文件分发应用是否能够承载所有晶圆检测报表文件的复制分发业务;若不能够承载,启动临时服务应用进行文件复制分发业务。4.根据权利要求3所述的一种晶圆检测报表文件分发方法,其特征在于,判断所述文件分发应用是否能够承载所有晶圆检测报表文件复制分发业务的步骤,具体包括步骤:判断所有所述文件分发应用已分配得到的分配额是否超过预设的所述第一配置限额或所述第二配置限额;若是,启动临时服务应用进行文件复制分发业务,并根据未分配所述晶圆检测报表文件的数量和文件大小分配相应的临时服务应用。5.根据权利要求4所述的一种晶圆检测报表文件分发方法,其特征在于,还包括步骤:判断任一临时服务应用已分配得到的分配额是否超过预设的第一配置限额或第二配置限额;若是,不再分配新的所述晶圆检测报表文件至所述任一临时服务应用;和/或,判断所有临时服务应用是否能够承载所有未分配晶圆检测报表文件复制分发业务;若不能够承载,将不能够承载的所述晶圆检测报表文件进行标记,以计入下一次分配。6.一种晶圆检测报表文件分发系统,其特征在于,包括:数据库,用于存储数据;第一配置模块,用于配置文件采集目录和目标分发目录,并将所述文件采集目录中每
个晶圆检测报表文件的采集路径与所述目标分发目标中相应的目标路径绑定后进行存储至数据库;第二配置模块,用于配置文件分发应用和临时服务应用的配置参数;所述配置参数包括:表示所述文件分发应用或所述临时服务应用每次所能够处理的文件数量最大值的第一配置限额;以及表示所述文件分发应用或所述临时服务应用每次所能够处理的文件大小最大值的第二配置限额;文件获取模块,用于周期性地根据所述采集路径下载多个晶圆检测报表文件;文件分发主控模块,用于根据所下载的所述晶圆检测报表文件的数量和大小分配相应的文件分发应用模块,并调用所述文件分发应用模块根据所述目标路径将所述晶圆检测报表文件分发至相应的目标报表分析系统;文件分发应用模块,用于根据所述目标路径将所述晶圆检测报表文件分发至相应的目标报表分析系统。7.根据权利要求6所述的一种晶圆检测报表文件分发系统,其特征在于,还包括:第一业务主控模块,用于根据所述第一配置限额或所述第二配置限额判断任一文件分发应用是否超负载;且当判断出超负载时,控制所述文件分发主服务模块不再分配新的所述晶圆检测报表文件至所述任一文件分发应用;第二业务主控模块,用于判断预先配置的所有所述文件分发应用是否能够承载当前所下载到的所有晶圆检测报表文件的复制分发业务;且当判断出不能够承载,启动预先配置的所述临时服务应用进行复制分发业务;第三业务主控模块,用于判断任一临时服务应用已分配得到的分配额是否超过预设的第一配置限额或第二配置限额;且当判断出超过,控制所述文件分发主服务模块不再分配新的所述晶圆检测报表文件至所述任一临时服务应用;第四业务主控模块,用于判断所有临时服务应用是否能够承载所有未分配晶圆检测报表文件复制分发业务;若不能够承载,将不能够承载的所述晶圆检测报表文件进行标记,以计入下一次分配。8.一种用于晶圆检测报表文件分发的电子设备,其特征在于,包括至少一个处理器、存储器;所述存储器存储计算机执行指令;所述至少一个处理器执行所述存储器存储的计算机执行指令,使得所述电子设备执行权利要求1-5任一项所述的方法。9.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质上存储有计算机执行指令,当所述计算机执行指令被处理器执行时,实现权利要求1-5任一项所述的方法。10.一种计算机程序产品,包括计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1-5任一项所述的方法。
技术总结本发明涉及一种晶圆检测报表文件分发方法,其包括步骤:配置文件采集目录和目标分发目录;并将同一所述晶圆检测报表文件对应的所述文件采集目录中采集路径与所述目标分发目录中的多个目标路径绑定;周期性地根据所述采集路径下载相应的所述晶圆检测报表文件;根据所下载的所有所述晶圆检测报表文件的数量和文件大小分配相应的文件分发应用;调用所述文件分发应用根据所述目标路径将所述晶圆检测报表文件复制分发至相应的多个目标报表分析系统。相应地,本发明还提供了一种晶圆检测报表文件分发系统、电子设备、存储介质和计算机程序产品。程序产品。程序产品。
技术研发人员:唐磊 田向阳 王丙寅 程博
受保护的技术使用者:上海众壹云计算科技有限公司
技术研发日:2022.06.22
技术公布日:2022/11/1