1.本公开涉及物料搬运技术领域，尤其涉及一种调节装置、移动车辆及物料搬运系统。
背景技术：2.在半导体制程中，需要在不同工序之间转移晶圆，为避免晶圆被污染或损坏，通常是将晶圆放入晶圆盒中，以晶圆盒承载晶圆，实现晶圆的转移。
3.通常，通过高架提升传输(overhead hoist transfer，简称oht)机构实现晶圆盒在不同装卸口之间的转移，在一些实施例中，高架提升传输包括轨道、天车及夹取装置，天车沿着轨道移动，夹取装置与天车连接，当天车移动至某一装卸口上方时，夹取装置将其夹取的晶圆盒下放至装卸口。由于悬挂于天花板等承载件下的轨道在长时间运作会产生震动，又或因例如受力不均匀等原因造成轨道的水平度发生偏移，都会造成天车偏移而使晶圆盒无法正确放置于装卸口。而晶圆盒的偏移会影响后续的制程，对半导体的良率带来不利影响。
4.然而，相关技术中，对轨道的调节主要靠人工调节，存在费时费力的问题。
技术实现要素：5.鉴于上述问题，本公开实施例提供一种调节装置、移动车辆及物料搬运系统，能够实现自动调节轨道，提高轨道的调节效率，省时省力。
6.为了实现上述目的，本公开实施例提供如下技术方案：
7.本公开实施例的第一方面提供一种调节装置，其包括：基座、回转座、驱动组件、扳手单元、定位组件和控制器；所述回转座可升降的设置于所述基座上；所述扳手单元包括连接座、平移组件和扳手，所述连接座相对于所述回转座转动设置；所述平移组件包括相对所述连接座直线滑动的平移件，所述扳手转动设置于所述平移件上；所述驱动组件被配置为驱动所述扳手单元运动，以使所述扳手单元运动至不同位置；所述驱动组件和所述定位组件均和所述控制器电连接，所述定位组件用于确定所述扳手单元和待扳动件的相对位置，所述控制器用于根据所述相对位置控制所述驱动组件，以使所述驱动组件驱动所述扳手单元调节所述待扳动件。
8.在一些实施例中，所述驱动组件包括第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元；所述第一驱动单元分别连接所述回转座和所述连接座，被配置为驱动所述连接座绕竖直转轴旋转；所述第二驱动单元分别连接所述连接座和所述平移件，并被配置为驱动所述平移件沿水平方向直线移动；所述第三驱动单元分别连接所述扳手和所述平移件，并被配置为驱动所述扳手绕竖直转轴相对于所述平移件摆动。
9.在一些实施例中，还包括升降组件，所述升降组件包括至少一组支撑臂组，所述支撑臂组包括相互交叉设置的至少两个支撑臂，所述支撑臂的两端分别与所述基座以及所回转座铰接。
10.在一些实施例中，所述驱动组件还包括第四驱动单元，所述第四驱动单元和所述支撑臂组连接，所述第四驱动单元被配置为驱动所述支撑臂组中的至少一个所述支撑臂相对所述基座移动，以带动所述回转座相对所基座升降移动。
11.在一些实施例中，所述平移组件还包括导向杆和滑动设置于所述导向杆上的第一滑块，所述导向杆固定于所述连接座上，并沿水平方向延伸，所述第一滑块固定于所述平移件上。
12.在一些实施例中，所述扳手包括扳手本体、螺杆组件和活动钳体，所述螺杆组件设置于所述扳手本体上且可相对所述扳手本体绕自身轴线转动，所述活动钳体和所述螺杆组件连接，所述活动钳体随所述螺杆组件的转动而相对于所述扳手本体移动，所述活动钳体和所述扳手本体共同形成可开合的钳臂。
13.在一些实施例中，所述驱动组件还包括第五驱动单元，所述第五驱动单元设置于所述平移件上，且所述第五驱动单元的输出端连接于所述螺杆组件，以带动所述钳臂开合。
14.在一些实施例中，所述定位组件包括第一位置传感器、第二位置传感和第三位置传感器，所述第一位置传感器被配置为在所述平移件的移动方向上，确定所述扳手单元相对所述待扳动件的位置；所述第二位置传感器被配置为在竖直方向上，确定所述扳手单元相对所述待扳动件的位置；所述第三位置传感器被配置为在绕竖直转轴方向上，确定所述扳手单元相对所述待扳动件的位置。
15.在一些实施例中，所述定位组件还包括第四位置传感器，所述第四位置传感器设置在所述活动钳体上，所述第四位置传感器被配置为确定所述活动钳体相对所述待扳动件的位置。
16.本公开实施例的第二方面提供一种移动车辆，包括：车体和上述所述的调节装置，所述调节装置设置于所述车体上，所述车体可带动所述调节装置在所述轨道上沿所述轨道的延伸方向移动，所述调节装置用于调节固定所述轨道的待扳动件。
17.在一些实施例中，还包括自动测量组件，所述自动测量组件被配置为检测所述轨道当前位置的水平度。
18.在一些实施例中，所述自动测量组件包括第一水平仪和第二水平仪，所述第一水平仪和所述第二水平仪分别设置在所述车体上，所述第一水平仪用于检测所述轨道在第一方向上的水平度，所述第二水平仪用于检测所述轨道在第二方向上的水平度，其中，所述第一方向与所述轨道的延伸方向相同，所述第二方向与所述第一方向在水平面内相互垂直。
19.在一些实施例中，所述第一水平仪和所述第二水平仪均分别为至少两个，至少两个所述第一水平仪分别设置在所述车体沿第一方向的相对两端，且位于所述车体沿第二方向的中部区域；至少两个所述第二水平仪分别设置在所述车体沿第二方向的相对两端，且位于所述车体沿第一方向的中部区域。
20.本公开实施例的第三方面还包括一种物料搬运系统，其包括、连接杆、悬挂于所述连接杆下方的轨道、上述所述的调节装置或上述所述的移动车辆，所述连接杆上旋合有待扳动件，所述轨道的悬挂高度随所述待扳动件相对于所述连接杆的转动而改变；所述调节装置被配置为对所述待扳动件进行扳动操作，以使所述待扳动件相对于所述连接杆旋转。
21.在一些实施例中，所述连接杆为螺杆，所述待扳动件为旋合在所述螺杆上的螺母。
22.在一些实施例中，所述待扳动件包括第一限位螺母和第二限位螺母，所述第一限
位螺母和所述第二限位螺母间隔在所述螺杆上间隔设置且与所述螺杆螺旋连接，以使所述第一限位螺母和所述第二限位螺母相对所述螺杆旋转时可沿所述螺杆的轴向相对所述螺杆移动。
23.本公开实施例提供的调节装置包括基座、回转座、驱动组件、扳手单元、定位组件和控制器；回转座可升降的设置于基座上；扳手单元包括连接座、平移组件和扳手，连接座相对于回转座转动设置；平移组件包括相对连接座直线滑动的平移件，扳手转动设置于平移件上；驱动组件被配置为驱动扳手单元运动，以使扳手单元运动至不同位置；驱动组件和定位组件均和控制器电连接，定位组件用于确定扳手单元和待扳动件的相对位置，控制器用于根据相对位置控制驱动组件，以使驱动组件驱动扳手单元调节待扳动件。通过上述方案，能够提高调节待扳动件的自动化程度，节省调节待扳动件时的时间和人力，省时省力。
24.除了上面所描述的本公开实施例解决的技术问题、构成技术方案的技术特征以及由这些技术方案的技术特征所带来的有益效果外，本公开实施例提供的调节装置、移动车辆及物料搬运系统所能解决的其他技术问题、技术方案中包含的其他技术特征以及这些技术特征带来的有益效果，将在具体实施方式中作出进一步详细的说明。
附图说明
25.为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1为本公开实施例提供的物料搬运系统的结构示意图；
27.图2为本公开实施例提供的物料搬运系统中轨道的结构示意图；
28.图3为图2中a处的局部放大图；
29.图4为本公开实施例提供的调节装置的结构示意图；
30.图5为本公开实施例提供的调节装置中基座和回转座的连接示意图；
31.图6为本公开实施例提供的调节装置中回转座和第一驱动单元的结构示意图；
32.图7为本公开实施例提供的调节装置中扳手单元的结构示意图；
33.图8为本公开实施例提供的调节装置中定位组件定位时的一种状态示意图；
34.图9为本公开实施例提供的调节装置中定位组件定位时的另一种状态示意图；
35.图10为本公开实施例提供的调节装置在调节待扳动件时的一种状态示意图；
36.图11为本公开实施例二提供的移动车辆的俯视结构示意图；
37.图12为本公开实施例四提供的调节方法的流程示意图。
38.附图标记：
39.100-调节装置；110-基座；120-回转座；121-第三感应件；
40.130-驱动组件；131-第一驱动单元；1311-第一驱动电机；
41.1312-第一锥齿轮组；1313-第一圆柱齿轮组；132-第二驱动单元；
42.1321-第二驱动电机；1322-第一丝杆；133-第三驱动单元；
43.1331-第三驱动电机；1332-第二锥齿轮组；1333-第二圆柱齿轮组；
44.134-第四驱动单元；1341-第四驱动电机；1342-第二丝杆；
45.135-第五驱动单元；140-扳手单元；141-连接座；142-平移组件；
46.1421-平移件；1422-第一滑块；1423-导向杆；143-扳手；
47.1431-扳手本体；1432-螺杆组件；1433-活动钳体；1434-固定钳体；
48.150-升降组件；151-支撑臂；160-第二滑块；170-导轨；180-第一转轴；
49.190-定位组件；191-第一位置传感器；192-第二位置传感器；
50.193-第三位置传感器；194-第四位置传感器；
51.200-移动车辆；210-车体；220-自动测量组件；221-第一水平仪；
52.222-第二水平仪；300-物料搬运系统；310-连接杆；311-第二感应件；
53.320-轨道；330-待扳动件；340-机台；341-装卸口；350-夹取装置。
具体实施方式
54.本公开实施例提供一种调节装置、移动车辆及物料搬运系统，其中，调节装置能够根据轨道的偏移量对轨道进行调节，从而提高调节轨道偏移的自动化程度，且可以节省调节轨道时的时间和人力，省时省力。
55.为了使本公开实施例的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，均属于本公开保护的范围。
56.实施例一
57.图1为本公开实施例提供的物料搬运系统的结构示意图；图2为本公开实施例提供的物料搬运系统中轨道的结构示意图；图3为图2中a处的局部放大图；图4为本公开实施例提供的调节装置的结构示意图；图5为本公开实施例提供的调节装置中基座和回转座的连接示意图；图6为本公开实施例提供的调节装置中回转座和第一驱动单元的结构示意图；图7为本公开实施例提供的调节装置中扳手单元的结构示意图；图8为本公开实施例提供的调节装置中定位组件定位时的一种状态示意图；图9为本公开实施例提供的调节装置中定位组件定位时的另一种状态示意图；图10为本公开实施例提供的调节装置在调节待扳动件时的一种状态示意图。
58.请参照图1至图10，本公开实施例提供的调节装置100，包括：基座110、回转座120、驱动组件130、扳手单元140、定位组件190和控制器(图中未示出)。
59.请参照图4，回转座120可升降的设置于基座110上，回转座120可相对基座110沿z轴方向升降移动，以使回转座120相对基座110在z轴方向上可位于不同高度。
60.请参照图4和图7，扳手单元140包括连接座141、平移组件142和扳手143，连接座141相对于回转座120绕竖直转轴转动设置，示例性的，回转座120水平设置，竖直转轴竖直设置在回转座120上且可绕自身轴线旋转，连接座141可通过竖直转轴设置在回转座120上方(如图4中所示)，以使竖直转轴绕自身轴线转动时带动连接座141一起转动，从而使连接座141可相对回转座120在水平面内绕竖直转轴转动，使得扳手单元140相对回转座120在水平面内可旋转至不同的位置。
61.请继续参照图4和图7，平移组件142包括相对连接座141直线滑动的平移件1421，
扳手143转动设置于平移件1421上，示例性的，连接座141水平设置在回转座120上方，平移件1421设置在连接座141上且可在连接座141上滑动，例如，平移件1421可在连接座141上朝向靠近或远离待扳动件330的方向滑动，以使位于平移件1421上的扳手143沿平移件1421的移动方向位于不同的位置，
62.在一些实施例中，平移件1421可以为水平设置在连接座141上的平行板，以用于承载扳手143。其中，平移件1421可以为金属件或非金属件。
63.驱动组件130被配置为驱动扳手单元140移动，以使扳手单元140移动至不同位置；示例性的，如图4中所示，驱动组件130可以驱动扳手单元140在沿z方向上、绕z轴的旋转方向、沿x方向等方向上移动或转动，以使扳手单元140位于不同位置，驱动组件130和定位组件190均和控制器电连接，定位组件用于确定扳手单元140和待扳动件330的相对位置，示例性的，定位组件190可用于确定扳手单元140和待扳动件330在z方向、绕z轴旋转的方向、在x方向等方向上的相对位置，以对扳手单元140与待扳动件330之间进行定位，控制器用于根据相对位置控制驱动组件130，以使驱动组件130驱动扳手单元140调节待扳动件330，这样，能够提高调节待扳动件330的调节精度。
64.示例性的，如图1和图2中所示，轨道320通常是通过多个螺杆悬挂在天花板上，其中，螺杆上旋合有第一限位螺母(例如上限位螺母)和第二限位螺母(例如下限位螺母)，而轨道320通过第一限位螺母和第二限位螺母与螺杆连接，而第一限位螺母和第二限位螺母相对螺杆旋转时可沿螺杆的轴向相对螺杆移动，以对轨道320在竖直方向上进行调整，使轨道320在x方向和y方向的水平度均达到预设阈值，例如，轨道320在x方向和y方向的水平度均达到0
°±
0.3
°
，从而提高半导体等物料在搬运时的精确度。
65.因此，在本公开实施例中，待扳动件330可以为旋合在螺杆上的第一限位螺母和第二限位螺母，通过调整第一限位螺母和第二限位螺母在螺杆上的位置，以达到调整轨道320水平度的目的(如图2和图3中所示)。
66.由此可见，通过上述方案，通过调节装置100调节待扳动件330，能够节省调节时间，提高调节效率，节省调节时的人力成本，省时省力；同时，还能够提高调节的精确度。
67.请继续参照图4，在一些实施例中，驱动组件130包括第一驱动单元131、第二驱动单元132和第三驱动单元133。
68.请继续参照图4，第一驱动单元131分别连接回转座120和连接座141，以通过第一驱动单元131驱动连接座141绕竖直转轴旋转，可以理解的是，第一驱动单元131可以向连接座141提供动力，以使连接座141可相对回转座120绕竖直转轴(例如z轴)相对转动。
69.请继续参照图4和6，在一些实施例中，第一驱动单元131包括第一驱动电机1311、一组相互啮合的第一锥齿轮组1312和一组相互啮合的第一圆柱齿轮组1313，其中，第一驱动电机1311的输出端与第一锥齿轮组1312的输入端连接，第一锥齿轮组1312的输出端与第一圆柱齿轮组1313的输入端连接，以通过第一驱动电机1311驱动第一锥齿轮组1312运动，从而通过第一锥齿轮组1312驱动第一圆柱齿轮组1313运动，以使第一圆柱齿轮组1313的输出端带动连接在连接座141和回转座120之间的竖直转轴(用第一转轴180表示)旋转，以使第一转轴180带动连接座141相对回转座120绕第一转轴180的轴线旋转。
70.可以理解的是，通过将一组啮合的第一锥齿轮组1312设置在第一驱动电机1311和一组相互啮合的第一圆柱齿轮组1313之间，这样，可以将第一驱动电机1311沿绕x轴(或y
轴)的运动转换为绕z轴旋转的运动，从而实现连接座141可相对回转座120竖直转轴相对转动的运动目的。
71.请参照图2和图3，第二驱动单元132连接于连接座141和平移件1421之间，以通过第二驱动单元132驱动平移件1421沿水平方向直线移动，示例性的，第二驱动单元132向平移件1421提供动力，以使平移件1421相对连接座141沿水平方向(如图3中所示的x轴)直线移动，以使扳手143能够向靠近或远离待扳动件330移动。
72.请参照图4和图7，在一些实施例中，第二驱动单元132包括第二驱动电机1321和第一丝杆1322，第二驱动电机1321的输出端与第一丝杆1322连接；平移组件142还包括导向杆1423和滑动设置于导向杆1423上的第一滑块1422，导向杆1423固定于连接座141上，并沿水平方向延伸，第一滑块1422固定于平移件1421上，且第一滑块1422上设置设有可供第一丝杆1322穿过的螺纹孔，第一滑块1422上还具有可供导向杆1423穿过的通孔，以使第一丝杆1322与第一滑块1422螺纹旋合，这样，当第二驱动电机1321驱动第一丝杆1322绕自身轴线旋转时，第一滑块1422可以导向杆1423为导向沿第一丝杆1322的延伸方向移动，从而带动位于第一滑块1422上方的平移件1421沿水平方向(如图3中的x方向)直线移动，以使扳手143向靠近或远离待扳动件330的方向移动。其中，通过将第一滑块1422设置在导向杆1423上并沿导向杆1423移动，这样，可以提高第一滑块1422移动时的导向性，避免第一滑块1422在移动时发生偏移与第一丝杆1322之间发生卡滞而无法运动的情况发生，从而能够提高第一滑块1422相对第一丝杆1322移动的移动可靠性。
73.请继续参照图4和图7，第三驱动单元133分别连接扳手143和平移件1421，并通过第三驱动单元133驱动扳手143绕竖直转轴(如图3中的z轴)相对于平移件1421摆动，以使扳手143能够驱动待扳动件330转动，从而实现调节装置100调节待扳动件330的目的。
74.请继续参照图4和图7，在一些实施例中，第三驱动单元133包括第三驱动电机1331、相互啮合的第二锥齿轮组1332和相互啮合的第二圆柱齿轮组1333，其中，第三驱动电机1331的输出端与第二锥齿轮组1332的输入端连接，第二锥齿轮组1332的输出端与第二圆柱齿轮组1333的输入端连接，第二圆柱齿轮组1333的输出轮与扳手143连接，以通过第三驱动电机1331驱动第二锥齿轮组1332运动，第二锥齿轮组1332驱动第二圆柱齿轮组1333运动，从而使第二圆柱齿轮组1333驱动扳手143绕第二圆柱齿轮组1333的输出轮的轴线转动，当扳手143夹紧待扳动件330时，扳手143驱动待扳动件330转动，以达到调节待扳动件330的目的。
75.上述方案中，通过驱动组件可以实现调节装置在调节时的自动化程度，从而能够提高调节效率。
76.请返回参照图4和图5，在一些实施例中，调节装置100还包括升降组件150，升降组件150包括至少一组支撑臂组，支撑臂组包括相互交叉设置的至少两个支撑臂151，至少两个支撑臂151的两端分别与基座110以及回转座120铰接。
77.示例性的，在图4和图5中，升降组件150包括两组支撑臂组，两组支撑臂组相对且间隔设置在基座110和回转座120之间，以通过两组支撑臂组共同支撑回转座120；其中，支撑臂组中的一个支撑臂151的两端分别与基座110和回转座120铰接，而支撑臂组中的另一支撑臂151的一端与回转座120铰接，支撑臂151的另一端在基座110上移动，这样，当相互交叉的两个支撑臂151相对基座110和回转座120的铰接点转动时，支撑臂151与基座110移动
连接的那一端相对基座110在基座110的表面上移动，以使相互交叉的支撑臂151可带动回转座120相对基座110沿竖直方向升降移动。
78.请继续参照图4和图5，在一些实施例中，驱动组件130还包括第四驱动单元134，第四驱动单元134和支撑臂组连接，以通过第四驱动单元134驱动交叉设置的至少两个支撑臂151中的至少一个支撑臂151的一端相对基座110在水平面内移动，以带动回转座120相对基座110升降移动。
79.在一些实施例中，如在图4和图5中，第四驱动单元134包括第四驱动电机1341和与第四驱动电机1341连接的第二丝杆1342，第二丝杆1342与第四驱动电机1341的输出端连接，以通过第四驱动电机1341驱动第二丝杆1342绕自身轴线旋转，其中，第二丝杆1342的轴向水平设置在基座110上，基座110上还设置有第二滑块160和与第二丝杆1342的轴向平行设置的导轨170，第二丝杆1342穿过第二滑块160且与第二滑块160螺纹旋合，支撑臂151相对基座110在水平面内移动的一端与第二滑块160连接，这样，当第四驱动电机1341驱动第二丝杆1342绕自身轴线旋转时，第二滑块160可带动与其连接的支撑臂151沿导轨170移动，从而带动回转座120相对基座110沿竖直方向升降移动。
80.可以理解的是，通过在基座110上设置导轨170，使第二滑块160在第四驱动电机1341的驱动力的作用下沿导轨170移动，可以对第二滑块160在基座110上的移动进行导向，避免第二滑块160发生偏移而与第二丝杆1342之间出现相互卡滞的问题，从而能够提高回转座120相对基座110沿竖直方向升降移动的可靠性。
81.请继续参照图4和图7，在一些实施例中，扳手143包括扳手本体1431、螺杆组件1432和活动钳体1433，螺杆组件1432设置于扳手本体1431上且可相对扳手本体1431绕自身轴线转动，且活动钳体1433和螺杆组件1432固定连接，以随螺杆组件1432的转动而相对于扳手本体1431移动，活动钳体1433和扳手本体1431共同形成可开合的钳臂。
82.可以理解的是，扳手本体1431具有与活动钳体1433相对设置的固定钳体1434，其中，在图4中，活动钳体1433可沿y轴的方向移动，以使活动钳体1433可向靠近或背离固定钳体1434的方向移动，从而使固定钳体1434与活动钳体1433形成可开合的钳臂。
83.示例性的，请参照图8至图10所示，当扳手143需要调节待扳动件330时，移动扳手143，使待扳动件330位于活动钳体1433和固定钳体1434之间，并驱动活动钳体1433向靠近固定钳体1434的方向移动时，活动钳体1433与固定钳体1434之间形成的开口逐渐变小，直至待扳动件330被夹紧在活动钳体1433和固定钳体1434之间，且达到预设压力时，通过驱动扳手143相对待扳动件330的中心转动，当扳手143转动到最大转动角度后，活动钳体1433向背离固定钳体1434的一侧移动，活动钳体1433与待扳动件330之间重新定位，待定位结束后，活动钳体1433向靠近固定钳体1434的一侧移动，以使待扳动件330被夹设在活动钳体1433和固定钳体1434之间，并继续驱动扳手143相对待扳动件330的中心转动，重复上述动作，直至待扳动件330调节至目标位置。
84.请参照图4，在一些实施例中，驱动组件130还包括第五驱动单元135，第五驱动单元135设置于平移件1421上，且第五驱动单元135的输出端连接于螺杆组件1432的输入端，螺杆组件1432的输出端与扳手143的活动钳体1433连接，以通过第五驱动单元135通过螺杆组件1432驱动活动钳体1433在例如y方向上移动，以使扳手143的钳臂开合，从而实现夹紧或释放待扳动件330。
85.其中，在图4和图7中，第五驱动单元135包括第五驱动电机；螺杆组件1432可以包括至少一组相互啮合的螺杆，示例性的，在图3中，螺杆组件1432包括第一螺杆和第二螺杆，第一螺杆与第五驱动电机的输出端连接，第二螺杆与第一螺杆相互啮合，第二螺杆与活动钳体1433连接，当第五驱动电机驱动第一螺杆绕自身轴线转动时，第二螺杆沿第一螺杆的轴向移动，以使第二螺杆带动活动钳体1433移动，从而形成可开合的钳臂。
86.请参照图8，在一些实施例中，定位组件190包括第一位置传感器191、第二位置传感器192和第三位置传感器193，第一位置传感器191用于确定扳手单元140在平移件1421的移动方向上与待扳动件330之间的位置；第二位置传感器192被配置为确定扳手单元140在竖直方向上与待扳动件330之间的位置；第三位置传感器193被配置为确定扳手单元140绕竖直转轴方向上与待扳动件330之间的位置。
87.请参照图9，在一些实施例中，定位组件190还包括第四位置传感器194，第四位置传感器194设置在扳手本体上，第四位置传感器194被配置为活动钳体1433待扳动件330的位置，以确定活动钳体1433在调节待扳动件330之前，活动钳体1433的用于夹持待扳动件330的夹持面是否与待扳动件330的被夹持面相互平行。
88.上述方案中，通过设置第一位置传感器191、第二位置传感器192、第三位置传感器193和第四位置传感器194，可以对扳手143和待扳动件330之间进行定位，以确定扳手143与待扳动件330之间的相对位置后再进行调节，这样，可以提高调节精度。
89.请继续参照图8和图9，示例性的，第一位置传感器191可以设置在调节装置100面向待扳动件330的一侧，待扳动件330上设置有与第一位置传感器191相感应的第一感应件(图中未示出)，当第一位置传感器191与第一感应件相互感应时，可确定扳手143与待扳动件330在例如x方向上的相对位置；第二位置传感器192设置在扳手单元140面向待扳动件330一侧上，连接杆310上设置有与第二位置传感器192相感应的第二感应件311，当扳手单元140升降移动至第二位置传感器192与第二感应件311之间相互得到感应时，可确定扳手143与待扳动件330在例如沿z轴方向上的相对位置；第三位置传感器193可设置在第一圆柱齿轮组1313的输出轮上，回转座120上设置有与第三位置传感器193相感应的第三感应件121，当扳手单元140旋转至第三位置传感器193与第三感应件121之间相互得到感应时，可确定扳手143与待扳动件330在例如绕z轴转动方向上的相对位置；第四位置传感器194可设置在活动钳体1433面向固定钳体1434一侧的侧面上(即用于夹持待扳动件330的夹持面)，可用于确定活动钳体1433的夹持面与待扳动件330的被夹持面是否相互平行，其中，第四位置传感器194可以为了两个，当两个第四位置传感器194相对待扳动件330的侧面距离或压力等参数相等时，则定位结束，否则重新定位。
90.在一些实施例中，第一位置传感器191、第二位置传感器192和第三位置传感器193中的至少一者为接近传感器。
91.示例性的，第一位置传感器191可以为读码器，第一感应件可以为可被读码器读取的条形码，当读码器读取到条形码时，便可确定扳手143与待扳动件330在例如x方向上的相对位置；第二位置传感器192可以为具有磁性的传感器，第二感应件311可以为与第二位置传感器192磁性相反的磁性件；第三位置传感器193可以为接近传感器，第三感应件121可以为了被接近传感器感应的接近感应件；第四位置传感器194可以为压力传感器，例如，活动钳体1433上具有两个压力传感器，当活动钳体1433与待扳动件330的侧面抵接时，两个压力
传感器上的压力值相等时，则定位结束。
92.实施例二
93.图11为本公开实施例二提供的移动车辆的俯视结构示意图。请参照图1和图11，本公开实施例还提供一种移动车辆200，该移动车辆200可以设置于轨道320上，且轨道320可以水平设置。该移动车辆200包括车体210和上述实施例一种的调节装置100，调节装置100设置于车体210上，车体210可带动调节装置100在轨道320上沿轨道320的延伸方向移动，调节装置100用于自动调节轨道320的待扳动件330，以使轨道320的水平度达到预设阈值。
94.其中，调节装置100的结构和工作原理在上述实施例中已详细阐述，在此不再一一赘述。
95.如图11所示，第一位置传感器191也可以设置在移动车辆200的前端，可以理解的是，移动车辆200的前端指的是移动车辆200向待扳动件330移动时，移动车辆200先靠近待扳动件330的一端。
96.请参照图1和图11，在一些实施例中，车体210可以为搬运物料的天车，可以理解的是，天车具有车架和设置在车架底部的车轮，以通过车轮带动车体210移动，其中，天车的具有结构和工作原理可参考相关技术中的结构和原理，在此不再赘述。
97.请参照图11所示，在一些实施例中，移动车辆200还包括自动测量组件220，自动测量组件220可用于测量轨道320的水平度数据，以根据测量的轨道320的水平度的数据确定轨道320是否存在偏移，且自动测量组件220与调节装置100中的控制器信号连接，若轨道320当前的水平度存在偏移，通过偏移值获取轨道320需要调整的高度以及待扳动件330要旋转的角度的调整数据，控制器可根据调整数据控制调节装置100对固定轨道320的待扳动件330进行调整，以使待扳动件330可相对悬挂轨道320的螺杆沿竖直方向移动，从而实现调整轨道320水平度的目的。
98.请参照图11，在一些实施例中，自动测量组件220包括第一水平仪221和第二水平仪222，第一水平仪221和第二水平仪222分别设置在车体210上，第一水平仪221用于检测轨道320在第一方向上(例如x方向)的水平度，第二水平仪222用于检测轨道320在第二方向(例如y方向)上的水平度，其中，第一方向与轨道320的延伸方向相同，第二方向与第一方向在水平面内相互垂直。
99.第一水平仪221和第二水平仪222均分别为至少两个，至少两个第一水平仪221分别设置在车体210沿第一方向的相对两端，且位于车体210沿第二方向的中部区域；至少两个第二水平仪222分别设置在车体210沿第二方向的相对两端，且位于车体210沿第一方向的中部区域。可以理解的是，通过将第一水平仪221和第二水平仪222分别设置在车体210四周的中部区域，这样，当车体210沿轨道320移动时，可以精确的检测到车体210当前所在位置对应的轨道320的水平度，从而提高测量精度。
100.当自动测量组件220检测到轨道320的水平度的数据后，可通过控制器将测得的轨道320的水平度数据通过app端传输给移动终端(例如个人计算机等)，通过移动终端计算轨道320要调整的高度和待扳动件330要旋转的角度，并将该数据反馈给调节装置100，调节装置100中的控制器根据接受到的调节数据控制调节装置100对待扳动件330进行调节，以使轨道320的水平度达到预设阈值，例如，预设阈值可以为0
°±
0.3
°
，从而实现自动测量轨道320的水平度和自动调整轨道320的水平度，能够节省时间和人力成本，且调节精度高。
101.实施例三
102.请返回参照图1至图3，本公开实施例还提供一种物料搬运系统300，物料搬运系统300可以在各个加工机台之间搬运晶圆物料，以进行相应地半导体加工生产，物料搬运系统300包括连接杆310、悬挂于连接杆310下方的轨道320，上述实施例中提供的调节装置100或者上述实施例中提供的移动车辆200，连接杆310上旋合有待扳动件330，轨道320的悬挂高度随待扳动件330相对于连接杆310的转动而改变；调节装置100被配置为对待扳动件330进行扳动操作，以使待扳动件330相对于连接杆310旋转。
103.在一些实施例中，如图2中所示，轨道320通过多个连接杆310悬挂于天花板上，例如，轨道320通过四个或六个连接杆310悬挂于天花板上，在图7中，连接杆310为六个。
104.需要说明的是，连接杆310的数量可根据悬挂轨道320的强度进行适应性设计，在此不做具体限制。
105.在一些实施例中，如图2和图3中所示，连接杆310为螺杆，待扳动件330为旋合在螺杆上的螺母。当螺母相对螺杆转动时，螺母可沿螺杆的轴向移动。
106.在一些实施例中，请参照图3，待扳动件330包括第一限位螺母和第二限位螺母，第一限位螺母和第二限位螺母间隔在螺杆上间隔设置且与螺杆螺旋连接，以使第一限位螺母和第二限位螺母相对螺杆旋转时可沿螺杆的轴向相对螺杆移动。
107.示例性的，如图3中所示，各螺杆上旋合有第一限位螺母和第二限位螺母，且第一限位螺母位于第二限位螺母的上方，当需要将轨道320向上调节时，可先通过调节装置100将第一限位螺母向上调节至预设位置，再通过调节装置100调节第二限位螺母；当需要将轨道320向下调节时，可先通过调节装置100将第二限位螺母向下调节至预设位置，再通过调节装置100调节第一限位螺母。
108.在一些实施例中，如图1中所示，物料搬运系统300还包括有具有加工物料的机台340，机台340上设置有装卸口341，物料可以为装载有晶圆的晶圆盒或者其它，设置有调节装置100和自动测量组件220的移动车辆200可在机台340上方移动，移动车辆200下方设置有夹取晶圆盒的夹取装置350，以将夹取装置350夹取的晶圆盒下放至装卸口341，或将装卸口341的晶圆盒夹取，从而实现晶圆盒的搬运；其中，在移动车辆搬运晶圆盒的过程中，自动测量组件220可周期性的测量轨道320的水平度是否发声偏移，若轨道320的水平度有偏移，控制器将测量后的数据通过app端传输给移动终端(例如个人计算机等)，通过移动终端计算轨道320要调整的高度和待扳动件330要旋转的角度，并将该数据反馈给调节装置100，调节装置100中的控制器根据接受到的调节数据控制调节装置100对待扳动件330进行调节，以使轨道320的水平度达到预设阈值(例如水平度达到0
°±
0.3
°
)。
109.实施例四
110.图12为本公开实施例四提供的调节方法的流程示意图。请参照图12所示，本公开实施例提供一种调节方法，应用于上述调节装置，其调节方法的步骤包括：
111.步骤s101：通过调节装置中的定位组件确定调节调节装置和待扳动件的相对位置。
112.步骤s102：当调节装置和待扳动件之间处于预设相对位置时，控制调节装置中的扳手在水平面内进行平移和绕竖直转轴摆动，以使扳手对待扳动件进行扳动操作。
113.当调节装置和待扳动件之间处于预设相对位置时，控制调节装置中的扳手在水平
面内进行平移和绕竖直转轴摆动，具体包括如下操作(例如a、b、c、d)的至少一种：
114.a：控制调节装置中的回转座相对于基座升降移动。
115.b：控制调节装置中的连接座相对于回转座绕竖直转轴转动。
116.c：控制调节装置中的平移件相对连接座直线滑动。
117.d：控制调节装置中的扳手相对于平移件绕竖直转轴摆动。
118.在一些实施例中，通过调节装置中的定位组件确定调节调节装置和待扳动件的相对位置之后，还包括：控制调节装置中的扳手相对于调节装置中的基座移动，以使扳手和待扳动件之间处于预设相对位置。
119.在具体实现时，测量位于轨道的水平度数据，根据该水平度数据确定轨道要调整的高度和待扳动件要旋转的角度，调节装置根据确定的轨道要调整的高度和待扳动件要旋转的角度对待扳动件进行调整，在调整前，首先通过调节装置中的定位组件确定调节装置和待扳动件之间的相对位置，当调节装置和待扳动件之间处于预设相对位置时，控制器控制调节装置中的扳手在水平面内进行平移(如图10中的y方向)，以使扳手夹紧待扳动件，并控制扳手绕竖直转轴摆动以使待扳动件旋转并沿竖直方向移动，当扳手转动至最大位置时，扳手沿平移方向向相反方向移动，以使扳手松开待扳动件，并重新对扳手和待扳动件进行定位，再通过控制器控制调节装置中的扳手在水平面内进行平移，以使扳手夹紧待扳动件并绕竖直转轴摆动，上述步骤继续重复，直至将待扳动件调整至预设位置，使轨道的水平度达到预设阈值(例如0
°±
0.3
°
)，结束调整。
120.由此可见，通过上述方案，能够自动对待扳动件进行调整，节省时间和人力成本，省时省力，且能够提高调整精度。
121.本说明书中各实施例或实施方式采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分相互参见即可。
122.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本公开的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。
123.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本公开的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本公开进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本公开各实施例技术方案的范围。
技术特征：1.一种调节装置，其特征在于，包括：基座、回转座、驱动组件、扳手单元、定位组件和控制器；所述回转座可升降的设置于所述基座上；所述扳手单元包括连接座、平移组件和扳手，所述连接座相对于所述回转座转动设置；所述平移组件包括相对所述连接座直线滑动的平移件，所述扳手转动设置于所述平移件上；所述驱动组件被配置为驱动所述扳手单元运动，以使所述扳手单元运动至不同位置；所述驱动组件和所述定位组件均和所述控制器电连接，所述定位组件用于确定所述扳手单元和待扳动件的相对位置，所述控制器用于根据所述相对位置控制所述驱动组件，以使所述驱动组件驱动所述扳手单元调节所述待扳动件。2.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述驱动组件包括第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元；所述第一驱动单元分别连接所述回转座和所述连接座，被配置为驱动所述连接座绕竖直转轴旋转；所述第二驱动单元分别连接所述连接座和所述平移件之间，并被配置为驱动所述平移件沿水平方向直线移动；所述第三驱动单元分别连接所述扳手和所述平移件，并被配置为驱动所述扳手绕竖直转轴相对于所述平移件摆动。3.根据权利要求2所述的调节装置，其特征在于，还包括升降组件，所述升降组件包括至少一组支撑臂组，所述支撑臂组包括相互交叉设置的至少两个支撑臂，所述支撑臂的两端分别与所述基座以及所回转座铰接。4.根据权利要求3所述的调节装置，其特征在于，所述驱动组件还包括第四驱动单元，所述第四驱动单元和所述支撑臂组连接，所述第四驱动单元被配置为驱动所述支撑臂组中的至少一个所述支撑臂相对所述基座移动，以带动所述回转座相对所基座升降移动。5.根据权利要求1-4中任一项所述的调节装置，其特征在于，所述平移组件还包括导向杆和滑动设置于所述导向杆上的第一滑块，所述导向杆固定于所述连接座上，并沿水平方向延伸，所述第一滑块固定于所述平移件上。6.根据权利要求1-4中任一项所述的调节装置，其特征在于，所述扳手包括扳手本体、螺杆组件和活动钳体，所述螺杆组件设置于所述扳手本体上且可相对所述扳手本体绕自身轴线转动，所述活动钳体和所述螺杆组件连接，所述活动钳体随所述螺杆组件的转动而相对于所述扳手本体移动，所述活动钳体和所述扳手本体共同形成可开合的钳臂。7.根据权利要求6所述的调节装置，其特征在于，所述驱动组件还包括第五驱动单元，所述第五驱动单元设置于所述平移件上，且所述第五驱动单元的输出端连接于所述螺杆组件，以带动所述钳臂开合。8.根据权利要求1-4中任一项所述的调节装置，其特征在于，所述定位组件包括第一位置传感器、第二位置传感和第三位置传感器，所述第一位置传感器被配置为在所述平移件的移动方向上，确定所述扳手单元相对所述待扳动件的位置；所述第二位置传感器被配置为在竖直方向上，确定所述扳手单元相对所述待扳动件的位置；所述第三位置传感器被配置为在绕竖直转轴方向上，确定所述扳手单元相对所述待扳动件的位置。9.根据权利要求8所述的调节装置，其特征在于，所述定位组件还包括第四位置传感器，所述第四位置传感器设置在活动钳体上，所述第四位置传感器被配置为确定所述活动钳体相对所述待扳动件的位置。10.一种移动车辆，设置于轨道上，其特征在于，包括：车体和权利要求1-9中任一项所
述的调节装置，所述调节装置设置于所述车体上，所述车体可带动所述调节装置在所述轨道上沿所述轨道的延伸方向移动，所述调节装置用于调节固定所述轨道的待扳动件。11.根据权利要求10所述的移动车辆，其特征在于，还包括自动测量组件，所述自动测量组件被配置为测量所述轨道当前位置的水平度。12.根据权利要求11所述的移动车辆，其特征在于，所述自动测量组件包括第一水平仪和第二水平仪，所述第一水平仪和所述第二水平仪分别设置在所述车体上，所述第一水平仪用于检测所述轨道在第一方向上的水平度，所述第二水平仪用于检测所述轨道在第二方向上的水平度，其中，所述第一方向与所述轨道的延伸方向相同，所述第二方向与所述第一方向在水平面内相互垂直。13.根据权利要求12所述的移动车辆，其特征在于，所述第一水平仪和所述第二水平仪均分别为至少两个，至少两个所述第一水平仪分别设置在所述车体沿第一方向的相对两端；至少两个所述第二水平仪分别设置在所述车体沿第二方向的相对两端。14.一种物料搬运系统，其特征在于，包括：连接杆、悬挂于所述连接杆下方的轨道、如权利要求1-9中任一项所述的调节装置或如权利要求10-13中任一项所述的移动车辆，所述连接杆上旋合有待扳动件，所述轨道的悬挂高度随所述待扳动件相对于所述连接杆的转动而改变；所述调节装置被配置为对所述待扳动件进行扳动操作，以使所述待扳动件相对于所述连接杆旋转。15.根据权利要求14所述的物料搬运系统，其特征在于，所述连接杆为螺杆，所述待扳动件为旋合在所述螺杆上的螺母。16.根据权利要求15所述的物料搬运系统，其特征在于，所述待扳动件包括第一限位螺母和第二限位螺母，所述第一限位螺母和所述第二限位螺母间隔在所述螺杆上间隔设置且与所述螺杆螺旋连接，以使所述第一限位螺母和所述第二限位螺母，相对所述螺杆旋转时可沿所述螺杆的轴向相对所述螺杆移动。
技术总结本公开提供一种调节装置、移动车辆及物料搬运系统，涉及物料搬运技术领域，该调节装置包括基座、回转座、驱动组件、扳手单元、定位组件和控制器；回转座可升降的设置于基座上；扳手单元包括连接座、平移组件和扳手，连接座相对于回转座绕转动设置；平移组件包括相对连接座直线滑动的平移件，扳手转动设置于平移件上；驱动组件被配置为驱动扳手单元运动，以使扳手单元运动至不同位置；驱动组件和定位组件均和控制器电连接，定位组件用于确定扳手单元和待扳动件的相对位置，控制器用于根据相对位置控制驱动组件，以使驱动组件驱动扳手单元调节待扳动件。本公开能够实现自动调节待扳动件，调节效率高，省时省力。省时省力。省时省力。
技术研发人员：周宗宝
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2022.06.22
技术公布日：2022/11/1
