1.本技术属于测试技术领域，特别是涉及一种测试方法、测试装置及计算机可读存储介质。
背景技术：2.在器件的制备过程中，通常会使用测试机对器件进行测试，以确定器件是否是合格器件。
3.本技术的发明人发现，目前的测试机在对器件进行测试时，会出现因为测试机本身不良而导致不良产品逃逸的现象，存在重大质量风险。
技术实现要素：4.本技术提供一种测试方法、测试装置及计算机可读存储介质，能够避免因为测试机本身不良而导致不良产品逃逸的现象。
5.本技术实施例第一方面提供测试方法，所述方法包括：在测试机对目标器件进行测试后，分别获取所述测试机的至少一个目标测试项中各个所述目标测试项在各自对应的第一采样时间点的第一采样值；响应于存在所述目标测试项对应的所述第一采样值不满足所述目标测试项对应的所述第一预设要求，确定所述目标器件未通过测试；其中，在所述测试机处于空测状态下，各个所述目标测试项在各自对应的所述第一采样时间点处的采样值不满足对应的所述第一预设要求，在所述测试机处于非空测状态下，各个所述目标测试项在各自对应的所述第一采样时间点处的采样值满足对应的所述第一预设要求。
6.本技术实施例第二方面提供一种测试装置，所述测试装置包括处理器、存储器以及通信电路，所述处理器分别耦接所述存储器、所述通信电路，所述存储器中存储有程序数据，所述处理器通过执行所述存储器内的所述程序数据以实现上述方法中的步骤。
7.本技术实施例第三方面提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序能够被处理器执行以实现上述方法中的步骤。
8.有益效果是：本技术只要有一个目标测试项在第一采样时间点处的采样值不满足对应的第一预设要求，就确定目标器件未通过测试，其中，第一采样时间点的设置需要满足以下条件：在所述测试机处于空测状态下，各个所述目标测试项在各自对应的所述第一采样时间点处的采样值不满足对应的所述第一预设要求，在所述测试机处于非空测状态下，各个所述目标测试项在各自对应的所述第一采样时间点处的采样值满足对应的所述第一预设要求。考虑到在测试机处于空测状态下，对于任意目标测试项而言，其输出值的情况，与在测试机出现故障时，其输出值的情况大致相同，从而当有一个目标测试项在第一采样时间点处的采样值不满足对应的第一预设要求时，确定可能是测试机出现了故障，确定目标器件未通过测试，可以避免因为测试机本身不良而导致不良产品逃逸的现象。
附图说明
9.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
10.图1是本技术测试方法一实施方式的流程示意图；
11.图2是图1实施方式的另一部分流程示意图；
12.图3是图2中步骤s150的流程示意图；
13.图4是测试机处于空测状态时，第一目标测试项输出的第一电流波形图；
14.图5是测试机处于非空测状态时，第一目标测试项输出的第二电流波形图；
15.图6是测试机处于空测状态时，第二目标测试项输出的第一电流波形图；
16.图7是测试机处于非空测状态时，第二目标测试项输出的第二电流波形图；
17.图8是本技术测试装置一实施方式的结构示意图；
18.图9是本技术测试系统一实施方式的结构示意图；
19.图10是本技术计算机可读存储介质一实施方式的结构示意图。
具体实施方式
20.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
21.首先需要说明的是，本技术的测试方法由测试装置执行，该测试装置可以独立于测试机，通过获取测试机对目标器件测试而产生的数据，确定目标器件是否通过测试，或者测试装置也可以集成在测试机上。
22.参阅图1，图1是本技术测试方法一实施方式的流程示意图，该测试方法包括：
23.s110：在测试机对目标器件进行测试后，分别获取测试机的至少一个目标测试项中各个目标测试项在各自对应的第一采样时间点的第一采样值，以及各个目标测试项在各自对应的第二采样时间点的第二采样值。
24.其中，目标器件可以是任何需要测试机对其性能进行测试的器件，例如，场效应管(mosfet)、三极管、二极管或者发光器件等。其中为了便于说明，以下均以目标器件为mosfet进行说明。
25.其中，对于每个目标测试项而言，在测试机对目标器件进行测试的过程中，每个目标测试项都会输出一系列的值，通过这一系列的值，可以确定目标器件的性能。其中，目标测试项输出的一系列的值可以是电流值，也可以是电压值，其中为了便于说明，以下均以目标测试项输出的值为电流值进行说明，也就是说，下文的第一采样值、第二采样值均为电流值。
26.其中，至少一个目标测试项可以仅包括一个目标测试项，也可以包括两个以上的目标测试项。当至少一个目标测试项仅包括一个目标测试项时，获取该测试项在第一采样时间点的采样值(定义为第一采样值)，以及在第二采样时间点的采样值(定义为第二采样
值)。当至少一个目标测试项包括两个以上的目标测试项，例如包括两个、三个或者更多个的目标测试项时，对于每个目标测试项而言，都获取其在第一采样时间点的采样值(定义为第一采样值)，以及在第二采样时间点的采样值(定义为第二采样值)。也就是说，不管目标测试项的数量为多少个，对于每个测试项而言，都会获取与其对应的第一采样值以及第二采样值。
27.其中，当目标器件为mosfet时，设置至少一个目标测试项包括两个目标测试项，分别为第一目标测试项、第二目标测试项，其中，第一目标测试项用于测量mosfet的漏极电流，第二目标测试项用于测量mosfet的栅极电流。
28.s120：响应于存在目标测试项对应的第一采样值不满足目标测试项对应的第一预设要求，确定目标器件未通过测试，以及响应于存在目标测试项对应的第二采样值不满足目标测试项对应的第二预设要求，确定目标器件未通过测试。
29.其中，对于每个目标测试项而言，都存在各自对应的第一预设要求以及各自对应的第二预设要求。其中不同目标测试项对应的第一预设要求可以相同，也可以不同，不同目标测试项对应的第二预设要求可以相同，也可以不同。
30.其中，只要有一个目标测试项对应的第一采样值不满足对应的第一预设要求，或者只要有一个目标测试项对应的第二采样值不满足对应的第二预设要求，就确定目标器件未通过测试。
31.其中，若确定目标器件通过测试，则确定目标器件是合格器件，该目标器件可以正常进入下一个生产节点，若确定目标器件未通过测试，则确定存在两种可能性：一种是该目标器件本身是不合格器件，其在性能方面有缺陷，无法投入正常的使用，另一种是测试机出现故障，其没有对该目标器件进行正常的测试，至于该目标器件是否合格，还需要进行重新测试。
32.其中，在测试机处于空测状态下，各个目标测试项在各自对应的第一采样时间点处的采样值不满足对应的第一预设要求，在测试机处于非空测状态下，各个目标测试项在各自对应的第一采样时间点处的采样值满足对应的第一预设要求；在测试机未出现故障且对合格的目标器件进行测试时，各个目标测试项在各自对应的第二采样时间点处的采样值满足对应的第二预设要求，在测试机未出现故障且对不合格的目标器件进行测试时，各个目标测试项在各自对应的第二采样时间点处的采样值不满足对应的第二预设要求。
33.具体地，测试机的空测状态指的是，测试机正常进行测试程序的运行，但是测试机上没有待测对象，而在测试机处于空测状态下，对于任意目标测试项而言，其输出值的情况，与在测试机出现故障时，其输出值的情况大致相同。测试机的非空测状态与空测状态相反，其指的是，在存在待测对象的前提下，测试机正常进行测试程序的运行，但是需要说明的是，此时的待测对象可以是合格的对象，也可以是不合格的对象，只要有待测对象即可。
34.对于任意目标测试项而言，本实施方式在设置其对应的第一采样时间点、第二采样时间点时，需要满足以下条件：
35.在测试机处于空测状态下，目标测试项在第一采样时间点处的采样值不满足目标测试项对应的第一预设要求，但是在测试机处于非空测状态下，目标测试项在第一采样时间点处的采样值满足目标测试项对应的第一预设要求。
36.在测试机未出现故障且对合格的目标器件进行测试时，目标测试项在第二采样时
间点处的采样值满足目标测试项对应的第二预设要求，在测试机未出现故障且对不合格的目标器件进行测试时，目标测试项在第二采样时间点处的采样值不满足目标测试项对应的第二预设要求。
37.因此在本实施方式中，当存在一个目标测试项在对应的第二采样时间点处的第二采样值不满足该目标测试项对应的第二预设要求时，按照上述第二采样时间点的设置条件，可以确定目标器件是不合格的目标器件。
38.当存在一个目标测试项在对应的第一采样时间点处的第一采样值不满足该目标测试项对应的第一预设要求时，按照上述第一采样时间点的设置条件，以及目标测试项在测试机处于空测状态、测试机出现故障时，输出值的情况大致相同，因此可以确定测试机可能出现了故障。
39.在现有技术中，通常只要所有目标测试项在各自对应的第二采样时间点处的第二采样值满足目标测试项各自对应的第二要求，就可以确定目标器件通过测试，但是在这种情况下，当在测试机出现故障，例如测试机中的继电器没有工作时，也会出现所有目标测试项在各自对应的第二采样时间点处的第二采样值满足目标测试项各自对应的第二要求，此时也会确定目标器件通过测试，但是实际上测试机因为故障，其并没有对目标器件进行测试，因此可能会出现不良产品逃逸的现象，存在重大质量风险。
40.但是在本实施方式中，只要有一个目标测试项在第一采样时间点处的采样值不满足对应的第一预设要求，就确定目标器件未通过测试，可以避免因为测试机本身不良而导致不良产品逃逸的现象。
41.可以理解的是，当通过上述方法确定目标器件未通过测试时，可以进一步分析是测试机本身不良，还是目标器件本身就是不良：当在确定测试机本身不良后，对测试机进行修理，并在修理完成后，重新对目标器件进行测试，当在确定测试机本身没有出现故障时，将目标器件确定为不合格产品。
42.需要说明的是，在其他实施方式中，对于每个目标器件而言，还可以参照第二采样时间点的设置方式，设置第三采样时间点，第四采样时间点等更多的采样时间点，同样地，只有所有目标测试项在所有采样时间点的采样值均满足对应的要求，才能确定目标器件通过测试，否则确定目标器件不通过测试。但是为了便于说明，以下均以对于每个目标测试项而言，只设置第一采样时间点和第二采样时间点进行说明。
43.参阅图2，在本实施方式中，针对每个目标测试项，分别执行以下步骤，以确定每个目标测试项各自对应的第一采样时间点：
44.s130：控制处于空测状态下的测试机运行，并获取目标测试项输出的第一电流波形图。
45.s140：控制处于非空测状态下的测试机运行，并获取目标测试项输出的第二电流波形图。
46.s150：根据目标测试项对应的第一电流波形图、对应的第二电流波形图，确定目标测试项对应的第一采样时间点。
47.具体地，根据第一电流波形图、第二电流波形图的不同，确定目标测试项对应的第一采样时间点。
48.在一应用场景中，参阅图3，步骤s150确定目标测试项对应的第一采样时间点的步
骤，包括：
49.s151：根据第一电流波形图，确定测试机对测试回路进行充电的第一时间段。
50.s152：根据第二电流波形图，确定测试机对测试回路进行充电的第二时间段。
51.s153：将处于第二时间段，但不处于第一时间段内的一时间点，确定为第一采样时间点。
52.结合图4以及图5，以目标器件为mosfet，至少一个目标测试项包括上述的第一目标测试项(用于测量mosfet的漏极电流)为例，对步骤s151-s153进行说明：
53.图4为测试机在空测状态下运行时，第一目标测试项输出的第一电流波形图，且图4中矩形框所框出的阶段为测试机对测试回路进行充电的阶段；图5为非空测状态下，第一目标测试项输出的第二电流波形图，且图5中矩形框所框处的阶段为测试机对测试回路进行充电的阶段。
54.具体地，在空测状态下，由于测试机的测试回路上只有测试回路本身的分布电容，此时测试机对测试回路的充电时长较短，即第一时间段较短，而在非空测状态下，由于测试机的测试回路上不仅仅有测试回路本身存在的分布电容，还存在目标器件，相比较于空测状态，此时测试机对测试回路的充电时间较长，即第二时间段较长。
55.而由于测试机对测试回路进行充电时，第一目标测试项的电流值的较大，在充电结束后，第一目标测试项的电流值骤降，因此可将处于第二时间段，但不处于第一时间段的一个时间点，确定为第一采样时间点，从而使得当测试机处于空测状态下时，第一目标测试项在第一采样时间点的第一采样值的绝对值小于第一阈值，此时确定第一采样值不满足第一预设要求，当测试机处于非空测状态下，第一目标测试项在第一采样时间点的第一采样值的绝对值不小于第一阈值，此时确定第一采样值满足第一预设要求。
56.其中，考虑到测试机对测试回路进行充电时，都是满量程充电，因此将第一阈值设置为第一目标测试项的测量量程值(即第一目标测试项最大能够测量到的电流值的绝对值)。当然在其他实施方式中，也可以将第一阈值设置为小于第一目标测试项的测量量程值的另一值。
57.结合图6以及图7，以目标器件为mosfet，至少一个目标测试项包括上述的第一目标测试项(用于测量mosfet的栅极电流)为例，对步骤s151-s153进行说明：
58.图6为测试机在空测状态下运行时，第二目标测试项输出的第一电流波形图，且图6中矩形框所框出的阶段为测试机对测试回路进行充电的阶段；图7为非空测状态下，第二目标测试项输出的第二电流波形图，且图7中矩形框所框处的阶段为测试机对测试回路进行充电的阶段。
59.与图4以及图5类似，在空测状态下，由于测试机的测试回路上只有测试回路本身的分布电容，此时测试机对测试回路的充电时长较短，即第一时间段较短，而在非空测状态下，由于测试机的测试回路上不仅仅有测试回路本身的分布电容，还存在目标器件，相比较于空测状态，此时测试机对测试回路的充电时间较长，即第二时间段较长。
60.而由于测试机对测试回路进行充电时，第二目标测试项的电流值的绝对值较大，在充电结束后，第二目标测试项的电流值的绝对值骤降，因此可将处于第二时间段，但不处于第一时间段的一个时间点，确定为第一采样时间点，从而使得当测试机处于空测状态下时，第二目标测试项在第一采样时间点的第一采样值的绝对值小于第一阈值，此时确定第
一采样值不满足第一预设要求，当测试机处于非空测状态下，第二目标测试项在第一采样时间点的第一采样值的绝对值不小于第一阈值，此时确定第一采样值满足第一预设要求。
61.与第一目标测试项类似，也将第二目标测试项对应的第一阈值设置为第二目标测试项的测量量程值(即第二目标测试项最大能够测量到的电流值的绝对值)。
62.可以理解的是，当至少一个目标测试项同时包括第一目标测试项以及第二目标测试项时，只有在第一目标测试项在第一采样时间点处的第一采样值满足第一目标测试项对应的第一预设要求，第一目标测试项在第二采样时间点处的第二采样值满足第一目标测试项对应的第二预设要求，以及第二目标测试项在第一采样时间点处的第一采样值满足第二目标测试项对应的第一预设要求，第二目标测试项在第二采样时间点处的第二采样值满足第二目标测试项对应的第二预设要求，才确定目标器件通过测试，否则确定目标器件未通过测试。
63.其中，每个目标测试项对应的第二采样时间点的设置方式与现有技术相同，本技术不做详细介绍。
64.参阅图8，图8是本技术测试装置一实施方式的结构示意图。该测试装置200包括处理器210、存储器220以及通信电路230，处理器210分别耦接存储器220、通信电路230，存储器220中存储有程序数据，处理器210通过执行存储器220内的程序数据以实现上述任一项实施方式方法中的步骤，其中详细的步骤可参见上述实施方式，在此不再赘述。
65.其中，该测试装置200可以独立于测试机，也可以集成在测试机上，本技术不做限制。
66.参阅图9，图9是本技术测试系统一实施方式的结构示意图。该测试系统300包括测试装置310以及与测试装置310连接的测试机320。
67.其中测试装置310与上述实施方式中的测试装置200结构相同，具体可参见上述相关内容，在此不再赘述。
68.其中，测试机320与测试装置310两者建立通信连接，可以相互之间通信。
69.其中，测试装置310与测试机320可以彼此独立，也可以集成在一起。
70.参阅图10，图10是本技术计算机可读存储介质一实施方式的结构示意图。该计算机可读存储介质400存储有计算机程序410，计算机程序410能够被处理器执行以实现上述任一项方法中的步骤。
71.其中，计算机可读存储介质400具体可以为u盘、移动硬盘、只读存储器(rom，read-only memory)、随机存取存储器(ram，random access memory)、磁碟或者光盘等可以存储计算机程序410的装置，或者也可以为存储有该计算机程序410的服务器，该服务器可将存储的计算机程序410发送给其他设备运行，或者也可以自运行该存储的计算机程序410。
72.以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本技术的专利保护范围内。
技术特征：1.一种测试方法，其特征在于，所述方法包括：在测试机对目标器件进行测试后，分别获取所述测试机的至少一个目标测试项中各个所述目标测试项在各自对应的第一采样时间点的第一采样值；响应于存在所述目标测试项对应的所述第一采样值不满足所述目标测试项对应的所述第一预设要求，确定所述目标器件未通过测试；其中，在所述测试机处于空测状态下，各个所述目标测试项在各自对应的所述第一采样时间点处的采样值不满足对应的所述第一预设要求，在所述测试机处于非空测状态下，各个所述目标测试项在各自对应的所述第一采样时间点处的采样值满足对应的所述第一预设要求。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在获取各个所述目标测试项在各自对应的所述第一采样时间点的所述第一采样值的同时，还包括：获取各个所述目标测试项在各自对应的第二采样时间点的第二采样值；所述方法还包括：响应于存在所述目标测试项对应的所述第二采样值不满足所述目标测试项对应的所述第二预设要求，确定所述目标器件未通过测试；其中，在所述测试机未出现故障且对合格的所述目标器件进行测试时，各个所述目标测试项在各自对应的所述第二采样时间点处的采样值满足对应的所述第二预设要求，在所述测试机未出现故障且对不合格的所述目标器件进行测试时，各个所述目标测试项在各自对应的所述第二采样时间点处的采样值不满足对应的所述第二预设要求。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一采样值为电流值。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：控制处于所述空测状态下的所述测试机运行，并获取各个所述目标测试项输出的第一电流波形图；控制处于所述非空测状态下的所述测试机运行，并获取各个所述目标测试项输出的第二电流波形图；分别根据各个所述目标测试项对应的所述第一电流波形图、对应的所述第二电流波形图，确定各个所述目标测试项对应的所述第一采样时间点。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，根据所述目标测试项对应的所述第一电流波形图、对应的所述第二电流波形图，确定所述目标测试项对应的所述第一采样时间点的步骤，包括：根据所述第一电流波形图，确定所述测试机对测试回路进行充电的第一时间段；根据所述第二电流波形图，确定所述测试机对所述测试回路进行充电的第二时间段；将处于所述第二时间段，但不处于所述第一时间段内的一时间点，确定为所述第一采样时间点。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，确定所述目标测试项对应的所述第一采样值是否满足所述目标测试项对应的所述第一预设要求的步骤，包括：若所述目标测试项对应的所述第一采样值的绝对值不小于所述目标测试项对应的第一阈值，则确定所述第一采样值满足所述第一预设要求，否则，确定所述第一采样值不满足所述第一预设要求。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述目标测试项对应的所述第一阈值与所述目标测试项的测量量程值相等。8.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述目标器件为场效应管，至少一个所述目标测试项包括第一目标测试项、第二目标测试项中的至少一个，所述第一目标测试项用于测量所述目标器件的漏极电流，所述第二目标测试项用于测量所述目标器件的栅极电流。9.一种测试装置，其特征在于，所述测试装置包括处理器、存储器以及通信电路，所述处理器分别耦接所述存储器、所述通信电路，所述存储器中存储有程序数据，所述处理器通过执行所述存储器内的所述程序数据以实现如权利要求1-8任一项所述方法中的步骤。10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序能够被处理器执行以实现如权利要求1-8任一项所述方法中的步骤。
技术总结本申请公开了一种测试方法、装置及计算机可读存储介质，该测试方法包括：在测试机对目标器件进行测试后，分别获取测试机的至少一个目标测试项中各个目标测试项在各自对应的第一采样时间点的第一采样值；响应于存在目标测试项对应的第一采样值不满足目标测试项对应的第一预设要求，确定目标器件未通过测试；其中，在测试机处于空测状态下，各个目标测试项在各自对应的第一采样时间点处的采样值不满足对应的第一预设要求，在测试机处于非空测状态下，各个目标测试项在各自对应的第一采样时间点处的采样值满足对应的第一预设要求。本申请所提供的测试方法能够避免因为测试机本身不良而导致不良产品逃逸的现象。不良而导致不良产品逃逸的现象。不良而导致不良产品逃逸的现象。
技术研发人员：顾王佳 周潇 陈健 彭晶晶
受保护的技术使用者：通富微电子股份有限公司
技术研发日：2022.06.22
技术公布日：2022/11/1
