1.本发明涉及静电放电测试领域,尤其涉及一种静电枪及测量静电枪接触角度和接触力度的方法。
背景技术:2.在cmos集成电路中,随着芯片制造技术的不断进步,器件的尺寸越来越小,集成电路(ic)的运算速度和性能大幅提升,使得电子设备和系统对电磁兼容的敏感度有所提高,但抗过压能力有所下降。芯片的电磁兼容研究及测试成为了国内外研究的热点。esd(electrostatic discharge,esd)是造成各种电子仪器设备工作失常或功能失效的一个重要原因,是电磁兼容实验的重要组成部分。然而,通信和电子设备中越来越多地使用半导体和集成电路,而且出于降低功耗的目的,电子元器件的开关门限电压不断降低,这些都导致了电子设备静电放电问题越来越突出。静电放电问题不仅关系到通信和电子设备的正常使用与维护,甚至还会影响到人身财产安全。因此,越来越多的电子产品制造商和科研机构开始关注通信和电子产品静电放电、静电防护等方面的研究。
3.针对芯片的esd评价测试模型分人体放电模型(hbm)、机器模型(mm)、充电器件模型(cdm)和感应放电模型(ficdm),这四种测试模型都是针对芯片管脚进行接触式esd放电。芯片在生产、包装、运输以及实际使用的各个阶段,还会存在静电感应破坏,造成芯片功能异常或性能变差。因此,部分芯片厂家会针对最终形态芯片产品进行静电感应破坏测试评估,测试时,一般使用静电枪对最终形态芯片产品表面的每个区域逐一进行放电测试,根据测试前后的功能和性能差异评估静电感应放电测试破坏程度。
4.在小批量静电放电测试时,一般使用静电枪进行静电放电测试,将静电枪的枪头对准待检测样品上的测试点,使静电枪对该测试点释放静电。之后,操作人员可以通过观察待检测样品上的测试点是否出现异常来判断该待检测样品的静电防护能力是否达标,根据测试前后的功能和性能差异评估静电感应放电测试破坏程度。
5.在实际静电枪测试中,静电枪与待测器件有两种接触模式,分别为直接接触放电和空气间隙放电,空气间隙放电通常使用较为圆滑的静电枪尖,设定完应力电压后,当两者之间的距离很近时,空气被击穿发生放电,静电枪尖慢慢移向放电位置直至出现电火花或者闪光,最终需要静电枪尖触碰到测试物体或系统表面上的放电位置以完全释放电荷,这一测试操作一般需要在正负两极分别重复10次左右;直接接触放电测试和空气间隙放电测试相类似,接触放电中通常使用较为尖锐的静电枪尖,这是为了能与导电的物体或系统表面有较良好的电学接触。
6.在施加静电测试脉冲时,要保证每次测试时静电枪与待测物的待测位置的接触角度恒定,这样可以保证每个待测位置在同一等级的静电测试脉冲注入情况下所接受的静电测试脉冲相同。
7.然而,由于小批量测试时、或在实验室测试时,常采用人工操作静电枪对芯片的管脚进行直接接触放电方式的静电放电测试,在人工操作测试时,每次测量的角度不同,静电
枪对管脚的压力也不同,每次测试时,测试的外在条件不同,造成芯片管脚的静电放电测试的准确性不高。然而在现有技术中,并无对静电枪静电放电测试时接触角度和力度进行测量和调整的相关技术的记载。
技术实现要素:8.为了解决现有技术中存在的上述技术问题,本发明提供一种静电枪。包括静电枪本体和枪尖,所述枪尖与所述静电枪本体的安装接合部设置有多个压力传感器,所述多个压力传感器沿着安装面圆周方向均匀布置形成一个压力传感器环,所述多个压力传感器的个数为大于等于六个的偶数,所述压力传感器环设置在所述静电枪本体的一侧,所述压力传感器环的圆心与所述枪尖同心。
9.优选的,在所述静电枪本体顶部设置有水准气泡;
10.本发明还提供一种采用静电枪测量静电放电接触角度和接触力度的方法,包括如下步骤:
11.读取所述压力传感器环上各所述压力传感器的测量值分布;
12.根据所述测量值分布,计算静电放电测试时所述静电枪与待测物之间的接触角度;
13.根据所述测量值分布,计算静电放电测试时所述静电枪与所述待测物之间的接触力度。
14.优选的,所述计算静电放电测试时所述静电枪与待测物之间的接触角度,具体包括:
15.根据所述测量值分布,查找最大值vmax和最小值vmin,根据最大值vmax和最小值vmin检测各所述压力传感器是否工作异常;若异常,对所述最大值vmax和最小值vmin进行重新选择;
16.把所述最大值vmax和最小值vmin在压力传感器环上的位置进行连线,连线的方向表示静电枪倾斜的方向;
17.计算所述最大值vmax和最小值vmin之间的差值v,v=vmax-vmin,根据事先标定的差值与接触角度之间的标定曲线,得到差值v对应的接触角度。
18.优选的,所述计算静电放电测试时所述静电枪与所述待测物之间的接触力度,具体包括:
19.读取每次测试时所述压力传感器环上各所述压力传感器的测量值分布;
20.把相邻两次测试压力传感器环上对应位置的各所述压力传感器的测量值做差分运算,若各位置压力传感器对应的差值都在差值阈值vp范围之内,则判定相邻两次测试的力度相同,符合测试条件;否则对角度和力度进行调整,直至各位置压力传感器对应的差值都在差值阈值vp范围之内。
21.优选的,所述根据最大值vmax和最小值vmin检测各所述压力值检测各所述压力传感器是否工作异常,具体包括:
22.把所述最大值vmax和最小值vmin在压力传感器环上的位置进行连线,若所述连线未穿过所述压力传感器环的圆心,判定存在所述压力传感器出现异常;
23.提取所述最大值vmax左侧相邻位置的压力值vl和右侧相邻位置的压力值vr,比较
vl和vr的差值vl-vr,若该差值vl-vr在预设的阈值vlr范围内,则判定vl和vr值相同,最大值vmax对应的传感器工作正常,最小值vmin对应的传感器工作异常,把距离最大值vmax位置最远的压力值作为最小值vmin;若该差值vl-vr不在预设的阈值vlr范围内,则判定vl和vr值不同,最小值vmin对应的传感器工作正常,最大值vmax对应的传感器工作异常,把距离最小值vmin位置最远的压力值作为最大值vmax。
24.优选的,还包括:通过检测所述水准气泡的位置使所述静电枪保持竖直站立状态;
25.读取所述压力传感器环上各所述压力传感器的测量值分布;
26.根据所述测量值分布,查找最大值vmax和最小值vmin,若所述最大值vmax和最小值vmin之间的差值v=vmax-vmin,大于磨损对应的压力阈值vt,判定枪尖出现了明显的磨损。
27.本发明的有益效果是:
28.1、解决了现有技术中无对静电枪静电放电测试时接触角度和力度进行测量和调整的相关技术的技术问题,保证了每次静电放电测试的测试条件一致,保证了测试的准确性和可靠性;
29.2、采用压力传感器环的压力分布测量静电枪与待测物之间的接触角度和接触力度;
30.3、还能够在静电枪竖直站立时根据压力分布,根据最大值和最小值的差值,检测枪尖是否出现明显的侧面磨损,简单有效;
31.4、采用最大值v
max
和最小值v
min
在压力传感器环上的位置进行连线是否通过圆心的方式判断压力传感器是否出现异常,保证了测试前角度和力度检测的准确性;
32.5、在最大值和最小值之间的连线为通过圆心的情况下,通过判断最大值或最小值左右相邻的压力值是否相同或在误差范围内,对工作异常的最大值或最小值压力传感器进行故障单位;在最大值和最小值之间的连线通过圆心的情况下,以该连线为对称轴,检测对称位置的压力值是否相同或是否在误差范围内,进而检测对应对称位置的压力传感器是否出现故障,实现准确的故障定位;
33.6、在压力传感器环4上压力传感器3的个数较少时,采用最大值v
max
或所述最小值v
min
左侧相邻位置的压力值v
l
和右侧相邻位置的压力值vr之间的比值对测量得到的接触角度进行修正,提高了接触角度测量的准确性;
34.7、仅采用压力传感器环的压力分布同时实现了:接触角度测量、接触力度测量、侧面磨损检测、传感器故障定位等四重功能,测量方式简单可靠,成本低,不会额外增加静电枪的成本,易于推广。
附图说明
35.图1表示本发明静电枪的结构示意图;
36.图2表示本发明静电枪的压力传感器环的结构示意图;
37.图3表示本发明静电枪的压力传感器环压力值的分布图;
38.附图1中,1、静电枪本体;2、枪尖;3、压力传感器;4、压力传感器环;5、水准气泡;6、圆心、7、连线。
具体实施方式
39.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例的附图,对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
40.在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
41.实施例1
42.由于芯片对于静电的敏感,芯片生产环境和芯片测试环境的静电防护是最严苛的,防护措施也最全,芯片生产环境和芯片测试环境集聚的静电电荷比较少,静电释放时静电电压非常低,产生的静电感应对芯片的影响微乎其微。
43.而在在芯片的具体应用中,当静电快速释放到芯片管脚上,会直接破坏芯片。静电释放时,还会因静电感应引起的快速静电场变化,同样对芯片内部电路产生破坏,因此在芯片的具体应用前,都需要对芯片各管脚进行抗静电能力的静电放电测试。
44.目前在小批量静电放电测试时,或在实验室进行静电放电测试时,一般使用静电枪进行静电放电测试,将静电枪的枪头对准待检测样品上的测试点,使静电枪对该测试点释放静电。在具体使用静电枪进行静电放电测试时,将静电放电枪插入静电检测仪的“输出(output)”插口,再选择静电检测仪的放电模式,如果选择接触放电试验,就选择尖锥形的放电电极,并在仪器面板“静电/放电试验方式选择开关”上拨动开关为contact位置,要使静电放电枪确实与被测芯片的管脚接触,并保持放电姿势不动;如果选择空气放电试验则选用球形的放电电极,并在仪器面板“静电/放电试验方式选择开关”上拨动开关为air位置,用手扣住静电放电枪机,将静电放电枪慢慢接近要测试的被测芯片,直到放电发生为止,然后移开静电放电枪,松开枪机,根据测试要求的时间间隔,再重新扣住静电放电枪机,将放电枪向测试手机靠近被测芯片,进行放电。
45.接触放电是优先选择的试验方法,因为可以避免由于静电放电枪接近被测芯片的方式不同而导致试验结果上的差异,空气放电则用作不能使用接触放电的场合。
46.在小批量测试或在实验室对芯片进行静电放电测试,常采用人工操控静电枪对芯片的管脚进行接触放电测试。
47.为了保证测量的准确性和可靠性,在进行静电放电测试时需要保证静电枪与待测管脚的接触角度保持恒定,同时保持接触力度的恒定。这就需要在测量时对静电枪的接触角度和力度进行实时测量和调整。因此,本实施例提供了一种保证静电枪测试准确性的方法,具体的,在对芯片进行静电放电测试时候,每次测试前,需要先对静电枪与芯片的接触角度和力度进行测量,以保证每次测试时的外部条件是相同的,消除静电枪放电测试时因静电枪的接触角度和接触力度不同造成的测试误差,进而保证静电放电测试的准确性。
48.如前文所述,在实际静电枪测试中,静电枪与待测器件有两种接触模式,分别为直接接触放电和空气间隙放电,空气间隙放电通常使用较为圆滑的静电枪尖,而接触放电中
通常使用较为尖锐的静电枪尖,这是为了能与导电的物体或系统表面有较良好的电学接触。由此可见,在常用静电枪中,静电枪尖与静电枪本体是通过可拆卸的方式装配的。
49.因此具体如图1-2所示,图1为本发明静电枪的结构示意图,图2为本发明静电枪的压力传感器环的结构示意图,本实施例提供一种如图1所示的静电枪,静电枪包括静电枪本体1和枪尖2,所述枪尖2与所述静电枪本体1的安装接合部位安装有多个压力传感器3,并且上述多个压力传感器3沿着安装面圆周方向均匀设置,并且上述多个压力传感器3的个数为偶数个,并且个数大于等于六个,并且个数越多,测量的准确性越高,在具体设置时,应该测量精度的需要进行设置;上述偶数个压力传感器3在安装面上形成一个圆形的压力传感器环4,并且该压力传感器环4具体设置在静电枪尖2与静电枪本体1的安装接合部位的静电枪本体1一侧,并且压力传感器环4的圆心6与枪尖2同心。
50.在静电枪本体1一侧完成压力传感器环4的安装设置之后,通过读取压力传感器环4上各个压力传感器3测量到的压力值的分布,计算静电枪与待测物之间的接触角度和接触力度。
51.在计算静电枪与待测物之间的接触角度时,具体如图3所述,图3表示本发明静电枪的压力传感器环压力值的分布图,具体的角度计算方法如下:
52.假定压力传感器环4设置有2n个压力传感器3,其中n≥3且n为正整数,先按圆周顺序读取压力传感器环4上各个压力传感器3对应的压力值v0……v2n-1
;通过各个压力传感器3对应的压力值v0……v2n-1
检测压力传感器环4的各压力传感器3是否测量数据出现异常,压力传感器3是否出现故障;
53.查找压力值v0……v2n-1
中压力最大值v
max
和最小值v
min
,若检测到压力传感器环4的各压力传感器3是否数据异常,则对相应的最大值v
max
或最小值v
min
进行重新选择和修正,并对具体的故障压力传感器3进行定位。
54.再确定物数据异常的情况先,在压力传感器环4上把最大值v
max
和最小值v
min
进行连线,则连线7的方向表示静电枪倾斜的方向。
55.使用最大值v
max
和最小值v
min
之间的差值v=v
max-v
min
,计算具体的角度大小。
56.具体计算角度值时,需要事先对静电枪的压力传感器环4进行标定,根据不同的最大值v
max
和最小值v
min
之间的差值v所对应的角度值,拟合得到差值v与角度值之间对应的标定曲线,在后续的工作中,根据具体的差值v和标定曲线,直接得到其相对应的角度值。
57.具体的,通过各个压力传感器3对应的压力值v0……v2n-1
检测压力传感器环4的各压力传感器3是否测量数据出现异常,压力传感器3是否出现故障,若出现异常和故障,需要对相应的最大值v
max
和最小值v
min
进行重新选择。
58.具体的原因在于,在正常情况下,压力传感器环4上的压力分布应该是关于最大值v
max
和最小值v
min
之间连线7相对称的;
59.若最大值v
max
和最小值v
min
之间连线7未穿过圆心6,则判定某个或某些压力传感器3测量值出现错误,需要对最大值
max
和最小值v
min
进行重新选择和修正,并对故障进行定位。
60.具体的对最大值v
max
或最小值v
min
重新选择,对压力传感器3的故障进行定位过程为:
61.先提取所述最大值v
max
左侧相邻位置的压力值v
l
和右侧相邻位置的压力值vr,检测压力值v
l
和右侧相邻位置的压力值vr之间的差值v
l-vr是否在预设的阈值v
lr
范围内,若在该
阈值v
lr
范围内,则判定最小值v
min
对应的压力值错误,进而判断最小值v
min
对应的压力传感器3出现故障;则把距离最大值v
max
最远的压力传感器3作为最小值v
min
,也就是把与最大值v
max
对应的压力传感器3共直径的压力传感器3作为最小值v
min
;
62.同理,检测压力最小值v
min
对应的压力传感器两侧的两个压力值是否差值在具体范围内,若是,则判定最大值v
max
对应的压力值错误,最大值v
max
对应的压力传感器3出现了故障,则把距离最小值v
min
最远的压力传感器3作为最大值v
max
,也就是把与最小值v
min
对应的压力传感器3共直径的压力传感器3作为最大值v
max
;
63.若最大值v
max
和最小值v
min
之间的连线7穿过圆心6,则以该连线7为对称轴,检测对称位置的压力值是否相同,是否在误差范围内,进而检测对应的压力传感器3是否出现故障。
64.在计算静电枪与待测物之间的接触力度时,具体的力度计算方法如下:
65.在进行静电放电测试时,记录每次测试时候压力传感器环4各压力传感器3的压力值。把相邻两次测试时压力传感器环4各对应的压力传感器3的压力值进行比较,如果每个对应的压力传感器3的压力差值都在阈值v
p
之内,则判定相邻两次测量的力度相同,符合测试条件。
66.具体的,例如,假定设置有8个压力传感器3,分别记作ps1
……
ps8,ps1
……
ps8在静电枪本体1的安装面圆环上间距45
°
均匀分布,在每次测试时候,都读取安装面圆环上各压力传感器ps1
……
ps8的压力值pv1i
……
pv8i,其中i表示测试的次数。若|pv1
i+1-pv1i|
……
|pv8
i+1-pv8i|都在预设的阈值v
p
范围之内,则判定相邻两次测量的力度相同,符合接触力度的测试条件,能够进行正常测试。否则对角度和力度进行调整,直至各位置所述压力传感器3对应的差值都在差值阈值v
p
范围之内。
67.实施例2
68.本实施例是在实施例1的基础上进行进一步改进,技术方案共同的部分在此不再赘述。
69.在长期使用静电枪进行静电放电测试之后,枪尖2极易出现磨损,特别是对于直接接触放电测试中通常使用的较为尖锐的静电枪尖2,长期使用之后,枪尖2侧面易于出现磨损,当磨损达到一定的程度之后,影响测试的准确性和可靠性,需要及时进行更换。
70.为了解决该技术问题,本实施例提出一种采用实施例1中的压力传感器环4检测枪尖2侧面磨损的方法。
71.具体原理为,在长期采用静电枪进行静电放电测试时,由于都采用相同的角度进行测试,枪尖2的磨损主要集中在某一侧面,此时由于侧面磨损,枪尖2的最顶端并不在枪尖2的轴线上,因此会使静电枪竖直站立时,重心发生偏移,进而是压力分布出现偏差。
72.正是基于上述原理,通过压力传感器环4来检测枪尖2是否出现侧面磨损。
73.具体的,在静电枪顶部,设置有水准气泡5,以通过检测水准气泡5的位置使静电枪保持竖直站立状态。
74.在枪尖2未出现侧面磨损、或侧面磨损在可接受的范围内时,在静电枪保持竖直站立状态的情况下,由于受力均匀,压力传感器环4各压力传感器3的压力读数应该是相同的,或差值在预设的范围之内。
75.但是当枪尖2侧面出现明显侧面磨损的时候,由于受力不再均匀,压力传感器环4
各压力传感器3的压力读数会出现偏差,此时读取最大值v
max
和最小值v
min
,当最大值v
max
和最小值v
min
之间的差值v=v
max-v
min
,大于磨损对应的压力阈值v
t
时,则判定枪尖2侧面出现了明显的磨损,影响了测量的准确性和可靠性,需要及时更换。
76.实施例3
77.本实施例是在实施例1或2的基础上进行进一步改进,技术方案共同的部分在此不再赘述。
78.当压力传感器环4上压力传感器3的个数较少时,接触角度的测量不够准确;具体的,静电枪的倾斜方向不一定与最大值v
max
和最小值v
min
之间连线7的方向正好一致,测量结果存在误差,因此需要对该结果进行修正,以提高接触角度测量的准确性。
79.具体的,提取所述最大值v
max
或所述最小值v
min
左侧相邻位置的压力值v
l
和右侧相邻位置的压力值vr。当最大值v
max
和最小值v
min
之间连线7的方向与静电枪的倾斜方向一致时,理论上v
l
与vr是相等的,当连线7的方向与静电枪的倾斜方向不一致时,连线7的方向与静电枪的倾斜方向偏差越大,则v
l
与vr的值偏差越大,因此,可以根据v
l
与vr的值偏差程度对该角度的偏差进行修正。
80.更为具体的,采用v
l
与vr的比值对角度进行修正。在测量之前,先对v
l
与vr的不同的比值和对应的不同的角度偏差就行标定,得到v
l
与vr的比值与测量得到的接触角度的偏差的标定取消,在后续的测量中,计算v
l
与vr的比值后,根据v
l
与vr的比值对测量得到的接触角度进行修正,提高接触角度测量的准确性。
81.在本技术所提供的几个实施例中,应该理解到,所揭露的系统、装置和方法,可以通过其它的方式实现。例如,以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,例如,所述单元的划分,仅仅为一种逻辑功能划分,实际实现时可以有另外的划分方式,例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统,或一些特征可以忽略,或不执行。另一点,所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口,装置或单元的间接耦合或通信连接,可以是电性,机械或其它的形式。
82.所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的,作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元,即可以位于一个地方,或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。另外,在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中,也可以是各个单元单独物理存在,也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。
技术特征:1.一种静电枪,包括静电枪本体(1)和枪尖(2),其特征在于,所述枪尖(2)与所述静电枪本体(1)的安装接合部设置有多个压力传感器(3),所述多个压力传感器(3)沿着安装面圆周方向均匀布置形成一个压力传感器环(4),所述多个压力传感器(3)的个数为大于等于六的偶数,所述压力传感器环(4)设置在所述静电枪本体(1)的一侧,所述压力传感器环(4)的圆心(6)与所述枪尖(2)同心。2.根据权利要求1所述的一种静电枪,其特征在于,在所述静电枪本体(1)顶部设置有水准气泡(5)。3.一种采用权利要求2所述的静电枪测量静电枪接触角度和接触力度的方法,其特征在于,包括如下步骤:读取所述压力传感器环(4)上各所述压力传感器(3)的测量值分布;根据所述测量值分布,计算静电放电测试时所述静电枪与待测物之间的接触角度;根据所述测量值分布,计算静电放电测试时所述静电枪与所述待测物之间的接触力度。4.根据权利要求3所述的测量静电枪接触角度和接触力度的方法,其特征在于,所述计算静电放电测试时所述静电枪与待测物之间的接触角度,具体包括:根据所述测量值分布,查找最大值v
max
和最小值v
min
,根据最大值v
max
和最小值v
min
检测各所述压力传感器(3)是否工作异常;若异常,对所述最大值v
max
和最小值v
min
进行重新选择;把所述最大值v
max
和最小值v
min
在压力传感器环(4)上的位置进行连线,连线(7)的方向表示静电枪倾斜的方向;计算所述最大值v
max
和最小值v
min
之间的差值v,v=v
max-v
min
,根据事先标定得到的最大值最小值之间得差值与接触角度之间的标定曲线,得到差值v对应的接触角度。5.根据权利要求3所述的测量静电枪接触角度和接触力度的方法,其特征在于,所述计算静电放电测试时所述静电枪与所述待测物之间的接触力度,具体包括:读取每次测试时所述压力传感器环(4)上各所述压力传感器(3)的测量值分布;把相邻两次测试压力传感器环(4)上对应位置的各所述压力传感器(3)的测量值做差分运算,若各位置所述压力传感器(3)对应的差值都在差值阈值v
p
范围之内,则判定相邻两次测试的力度相同,符合测试条件;否则对角度和力度进行调整,直至各位置所述压力传感器(3)对应的差值都在差值阈值v
p
范围之内。6.根据权利要求4所述的测量静电枪接触角度和接触力度的方法,其特征在于,所述根据最大值v
max
和最小值v
min
检测各所述压力传感器(3)是否工作异常,具体包括:把所述最大值v
max
和最小值v
min
在压力传感器环(4)上的位置进行连线,若所述连线(7)未穿过所述压力传感器环(4)的圆心(6),判定存在所述压力传感器(3)出现异常;提取所述最大值v
max
左侧相邻位置的压力值v
l
和右侧相邻位置的压力值v
r
,比较v
l
和v
r
的差值v
l-v
r
,若该差值v
l-v
r
在预设的阈值v
lr
范围内,则判定v
l
和v
r
值相同,最大值v
max
对应的压力传感器(3)工作正常,最小值v
min
对应的压力传感器(3)工作异常,把距离最大值v
max
位置最远的压力值作为最小值v
min
;若该差值v
l-v
r
不在预设的阈值v
lr
范围内,则判定v
l
和v
r
值不同,最小值v
min
对应的压力传感器(3)工作正常,最大值v
max
对应的压力传感器(3)工作异常,把距离最小值v
min
位置最远的压力值作为最大值v
max
。
7.根据权利要求3-6任一项所述的测量静电枪接触角度和接触力度的方法,其特征在于还包括:通过检测所述水准气泡(5)的位置使所述静电枪保持竖直站立状态;读取所述压力传感器环(4)上各所述压力传感器(3)的测量值分布;根据所述测量值分布,查找最大值v
max
和最小值v
min
,若所述最大值v
max
和最小值v
min
之间的差值v=v
max-v
min
,大于明显磨损时对应的压力阈值v
t
,判定所述枪尖(2)出现了明显的侧面磨损。
技术总结本发明提供了一种静电枪及测量静电枪接触角度和力度的方法,枪尖(2)与静电枪本体(1)的安装接合部设置有多个压力传感器(3),所述多个压力传感器(3)沿着安装面圆周方向均匀布置形成一个压力传感器环(4),所述多个压力传感器(3)的个数为大于等于六的偶数,所述压力传感器环(4)设置在所述静电枪本体(1)的一侧,所述压力传感器环(4)的圆心(6)与所述枪尖(2)同心,计算静电枪接触角度和力度速度快,计算准确,保证了每次测试角度的一致性,提高了测量的准确性和可靠性。量的准确性和可靠性。量的准确性和可靠性。
技术研发人员:张帅楠
受保护的技术使用者:上海晶岳电子有限公司
技术研发日:2022.07.12
技术公布日:2022/11/1