1.本发明涉及气体注出设备技术领域，特别是涉及一种活塞式气体注出装置。
背景技术：2.随着科技的发展，现代工业生产及制造技术也取得了长足的进步，但气体依然在工业领域扮演不可或缺的角色，如化工、医药、冶金、电子、能源等领域都需要氢气、氧气、氮气、氩气等各种各样的气体。
3.一般来说，工业用气设备对不同气体的压力和流量有不同的要求，尤其是对压力的要求一般与气源的压力有较大的差别，所以，一般不能从气源直接向工业用气设备供气，普遍需通过气体分配装置向工业用气设备供气。
4.一般来说，工业用气设备对不同气体的压力和流量有不同的要求，尤其是对压力的要求一般与气源的压力有较大的差别，所以，一般不能从气源直接向工业用气设备供气，普遍需通过气体分配装置向工业用气设备供气。现有的气体流量计均存在着使用范围受限的问题，单一的气体流量计的气体流量注出范围和精度均受到较大限制，难以满足用于承接注出气体的不同类型设备的校准需求。
技术实现要素：5.本发明的主要目的在于提供一种活塞式气体注出装置，能够满足不同气体注出流量和精度要求的气体注出需求。
6.为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种活塞式气体注出装置，包括：至少两个注出气缸，至少两个注出气缸的容积和最大注出流量不同；检测管路；以及气源管路，检测管路用于连接被测设备，气源管路用于连接气源；至少两个注出气缸中的任意一个可选择地与检测管路或气源管路连通。
7.进一步地，活塞式气体注出装置还包括控制阀组，控制阀组连接在注出气缸、检测管路和气源管路之间，并使得注出气缸能够与检测管路和气源管路可选择地连通。
8.进一步地，控制阀组包括：至少两个第一阀门，与注出气缸一一对应设置且相连接，第一阀门具有与注出气缸可选择地连通的两个气体接口，第一阀门的其中一个气体接口用于与外界空气连通；至少两个第一气管，与第一阀门一一对应设置，第一气管的第一端连接相应的第一阀门的另一个气体接口；至少两个第二阀门，与第一气管一一对应设置，第二阀门与第一气管的第二端连接；气源管路与其中一个第二阀门连通时，与其他第二阀门之间不连通。
9.进一步地，气源管路上设置有控制阀门，第一阀门与第一气管连通时，第二阀门打开，控制阀门打开气源管路；第一阀门与外界空气连通时，第二阀门打开，控制阀门关闭气源管路。
10.进一步地，控制阀组包括：至少两个第三阀门，与注出气缸一一对应设置，检测管路连接在第三阀门上，并与各第三阀门可选择地连通；至少两个第二气管，与注出气缸一一
对应设置，第二气管连接在对应的注出气缸和第三阀门之间。
11.进一步地，活塞式气体注出装置还包括：底座；第一固定板；导向板；以及驱动机构；至少两个注出气缸包括缸体和缸杆，缸体的第一端固定安装在底座上，第一固定板固定连接在缸体的第二端，缸杆的活动端共同连接至导向板，驱动机构安装在第一固定板上，驱动机构的驱动端与导向板驱动连接，驱动导向板向着远离或者靠近第一固定板的方向运动。
12.进一步地，活塞式气体注出装置还包括第二固定板，第二固定板与第一固定板之间通过导向杆固定连接，导向板沿导向杆的导向方向可滑动地设置。
13.进一步地，驱动机构包括驱动电机和驱动丝杆，驱动丝杆的第一端连接在驱动电机的输出端，驱动丝杆的第二端与第二固定板连接，并且相对于第二固定板周向转动且轴向位置固定，导向板与驱动丝杆螺纹驱动连接，驱动电机安装在第一固定板远离第二固定板的一侧，且位于至少两个注出气缸的缸体之间。
14.进一步地，至少两个注出气缸的行程相同，缸杆通过浮动接头与导向板连接；和/或，至少两个注出气缸包括第一气缸、第二气缸、第三气缸和第四气缸，第一气缸的注出体积范围为[0，a]，第二气缸的注出体积范围为[0，b]；第三气缸的注出体积范围为[0，c]；第四气缸的注出体积范围为[0，d]，其中a＜b＜c＜d。
[0015]
进一步地，第一固定板和第二固定板之间固定设置有行程监测装置，行程监测装置被构造为监测导向板的行程。
[0016]
应用本发明的技术方案，通过设置检测管路、气源管路以及多个容积和最大注出流量不同的注出气缸，且检测管路和气源管路均可选择地与至少两个注出气缸连通，这样，气体注出时，工作人员可根据注出流量和注出精度需求，控制气源管路和检测管路与合适的注出气缸连通，同时，注出气体经检测管路并通过单向输出接头输出标定被测设备，既能够减少气源的消耗，还能满足不同气体注出流量和精度要求的气体注出需求。
附图说明
[0017]
构成本发明的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
[0018]
图1示出了本发明的实施例的活塞式气体注出装置的立体图；
[0019]
图2示出了本发明的实施例的活塞式气体注出装置的整体结构示意图；以及
[0020]
图3示出了本发明的实施例的活塞式气体注出装置的原理示意图。
[0021]
其中，上述附图包括以下附图标记：
[0022]
10、注出气缸；10a、第一气缸；10b、第二气缸；10c、第三气缸；10d、第四气缸；11、底座；12、第一固定板；13、导向板；14、驱动机构；15、缸体；16、缸杆；17、第二固定板；18、导向杆；19、驱动电机；20、检测管路；21、驱动丝杆；22、行程监测装置；23、接近开关；30、气源管路；40、第二气管；50、控制阀门；60、第一阀门；70、第一气管；80、第二阀门；81、第三阀门；90、压力传感器。
具体实施方式
[0023]
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相
互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
[0024]
结合参见图1至图3所示，本发明提供了一种活塞式气体注出装置，包括：至少两个注出气缸10，至少两个注出气缸10的容积和最大注出流量不同；检测管路20；以及气源管路30，检测管路20用于连接被测设备，气源管路30用于连接气源；至少两个注出气缸10中的任意一个可选择地与检测管路20或气源管路30连通。
[0025]
上述技术方案中，活塞式气体注出装置包括至少两个注出气缸10，还包括用于连接被测设备的检测管路20，以及用于连接气源的气源管路30，至少两个注出气缸10的容积和最大注出流量不同，并且检测管路20和气源管路30均可选择地与至少两个注出气缸10连通。气体注出时，工作人员可根据注出流量和注出精度需求，控制气源管路30和检测管路20与合适的注出气缸10连通，从而能满足不同气体注出流量和精度要求的气体注出需求。
[0026]
在一个实施例中，检测管路20上设置有单向阀，该单向阀用于防止检测气体从被测设备反向回流，即在检测管路20与被测设备连通时，能够防止被测设备内的气流通过检测管路20反向回流至注出气缸10造成气流波动，确保气流流动的平稳性，进而提高校准精度。
[0027]
需要说明的是，在本发明的实施例中，活塞式气体注出装置采用气缸进行气体注出，既能按设定的体积流量注出也能按设定的质量流量注出气体，且无需像一般测量设备进行周期性校准。
[0028]
如图3所示，在本发明的一个实施例中，活塞式气体注出装置还包括控制阀组，控制阀组连接在注出气缸10、检测管路20和气源管路30之间，并使得注出气缸10能够与检测管路20和气源管路30可选择地连通。
[0029]
通过上述设置，能够使注出气缸10与检测管路20或气源管路30相连通，从而实现对注出气体的压力进行实时监测和气体注出。
[0030]
如图3所示，在本发明的一个实施例中，控制阀组包括：至少两个第一阀门60，与注出气缸10一一对应设置且相连接，第一阀门60具有与注出气缸10可选择地连通的两个气体接口，第一阀门60的其中一个气体接口用于与外界空气连通；至少两个第一气管70，与第一阀门60一一对应设置，第一气管70的第一端连接相应的第一阀门60的另一个气体接口；至少两个第二阀门80，与第一气管70一一对应设置，第二阀门80与第一气管70的第二端连接；气源管路30与其中一个第二阀门80连通时，与其他第二阀门80之间不连通。上述技术方案中，第一阀门60具有与注出气缸10可选择地连通的两个气体接口，第一阀门60的其中一个气体接口用于与外界空气连通，这样，当注出气缸10与该气体接口连通时，注出气缸10与大气连通。第一气管70的第一端连接相应的第一阀门60的另一个气体接口，这样，第一阀门60的两个气体接口可选择地打开或者关闭，能够控制对应的注出气缸10与第一气管70是否连通。而第二阀门80的开启和关闭能够控制对应的注出气缸10与气源管路30是否连通，且当气源管路30与其中一个第二阀门80连通时，与其他第二阀门80之间不连通，此时，需要控制该第二阀门80对应的第一气管70上的第一阀门60与第一气管70连接的气体接口打开，使该注出气缸10不与大气相通，以作为工作气缸进行气体注出，控制其他第二阀门80对应的第一气管70上的第一阀门60与大气连通的气体接口打开，使其他注出气缸10与大气相通，不作为工作气缸，进而实现不同规格气缸作为工作气缸或非工作气缸的自由切换，从而满足不同气体注出流量和精度要求的气体注出需求。
[0031]
在本发明的一个实施例中，控制阀门50为常闭两位三通阀，第二阀门80为集装板式直动电磁阀，第一阀门60为常开两位三通阀。
[0032]
如图3所示，在本发明的一个实施例中，气源管路30上设置有控制阀门50，第一阀门60与第一气管70连通时，第二阀门80打开，控制阀门50打开气源管路30；第一阀门60与外界空气连通时，第二阀门80打开，控制阀门50关闭气源管路30，控制阀门50在注出气缸10向检测管路20注出气体时失电，关闭气源管路30，在气源向注出气缸10注入气体时得电，打开气源管路30。上述技术方案中，第一阀门60为常开两位三通阀，因此当第一阀门60失电时，第一阀门60控制第一气管70与注出气缸10连通，大气与注出气缸10不连通；当第一阀门60得电时，第一阀门60控制第一气管70与注出气缸10不连通，大气与注出气缸10连通。控制阀门50为常闭两位三通阀，第一阀门60控制第一气管70与注出气缸10连通时，第二阀门80打开，气源管路30上的控制阀门50得电，使得气源管路30处于通路状态，注出气缸10与气源管路30相连通，气源可向注出气缸10注入气体；当第一阀门60控制外界空气与注出气缸10连通时，第二阀门80打开，控制阀门50失电，关闭气源管路30，此时，注出气缸10与外界空气相连通，不作为工作气缸；并且当注出气缸10向检测管路20注出气体时控制阀门50处于关闭气源管路30的状态，此时，注出气缸10与气源管路30不连通，注出气缸10向检测管路20注出气体进行注出气体压力的实时监测。
[0033]
在本发明的一个实施例中，至少两个第一阀门60集成为一个阀组，至少两个第二阀门80集成为一个阀组。这样既能够减小安装空间，使装置结构更紧凑，还能够通过对多个气缸与控制阀门50或第二气管40连通状态进行自由切换，实现不同注出气体量和注出精度的切换，进而满足更多注出需求，提高装置的适用性。
[0034]
如图3所示，在本发明的一个实施例中，控制阀组包括：至少两个第三阀门81，与注出气缸10一一对应设置，检测管路20连接在第三阀门81上，并与各第三阀门81可选择地连通；至少两个第二气管40，与注出气缸10一一对应设置，第二气管40连接在对应的注出气缸10和第三阀门81之间。
[0035]
在本发明的一个实施例中，第三阀门81为集装板式直动电磁阀。
[0036]
上述技术方案中，检测管路20连接在第三阀门81上，并与各第三阀门81可选择地连通，第二气管40连接在对应的注出气缸10和第三阀门81之间，当需要对某一注出气缸10进行气体检测时，需要打开与该注出气缸10对应的第三阀门81，关闭与其他注出气缸10相对应的第三阀门81，并且使检测管路20与待检测注出气缸10对应的第三阀门81连通，从而实现对待测注出气缸10注出气体压力的实时监测，确保气体注出的稳定性。
[0037]
具体地，在本发明的一个实施例中，各检测管路20的注出端设置有压力传感器90，能够对注出气体的压力进行实时监测，这样，控制器可根据压力传感器90的反馈数据对注出速度进行修正，确保气体注出的稳定性。
[0038]
如图2所示，在本发明的一个实施例中，活塞式气体注出装置还包括：底座11；第一固定板12；导向板13；以及驱动机构14；至少两个注出气缸10包括缸体15和缸杆16，缸体15的第一端固定安装在底座11上，第一固定板12固定连接在缸体15的第二端，缸杆16的活动端共同连接至导向板13，驱动机构14安装在第一固定板12上，驱动机构14的驱动端与导向板13驱动连接，驱动导向板13向着远离或者靠近第一固定板12的方向运动。
[0039]
上述技术方案中，缸体15固定安装在底座11与第一固定板12之间，在驱动电机19
的驱动下，导向板13能够带动缸杆16向着远离或者靠近缸体15的方向运动，从而实现抽气和气体注出。
[0040]
需要说明的是，在本发明的一个实施例中，第一固定板12上安装有接近开关23，当导向板13与接近开关23接触时即达到零位，此时，注出气缸10内的气体全部排出，控制器可根据接近开关23的反馈信号，控制驱动电机19停止，使缸杆16停止运动。
[0041]
如图2所示，在本发明的一个实施例中，活塞式气体注出装置还包括第二固定板17，第二固定板17与第一固定板12之间通过导向杆18固定连接，导向板13沿导向杆18的导向方向可滑动地设置。
[0042]
上述技术方案中，第二固定板17与第一固定板12之间通过导向杆18固定连接，导向板13沿导向杆18的导向方向可滑动地设置，这样，导向杆18能够在水平方向上对导向板13进行限位，从而使缸杆16在竖直方向的移动更加稳定，不会发生窜动。
[0043]
如图2所示，在本发明的一个实施例中，驱动机构14包括驱动电机19和驱动丝杆21，驱动丝杆21的第一端连接在驱动电机19的输出端，驱动丝杆21的第二端与第二固定板17连接，并且相对于第二固定板17周向转动且轴向位置固定，导向板13与驱动丝杆21螺纹驱动连接，驱动电机19安装在第一固定板12远离第二固定板17的一侧，且位于至少两个注出气缸10的缸体15之间。
[0044]
通过上述设置，在驱动电机19的驱动作用下，导向板13在竖直方向上沿着驱动丝杆21移动，进而带动缸杆16在竖直方向上移动，实现抽气和排气。驱动电机19位于至少两个注出气缸10的缸体15之间，既能够保证装置整体的结构稳定性，还能够节约安装空间，使结构更紧凑。
[0045]
如图2所示，在本发明的一个实施例中，至少两个注出气缸10的行程相同，缸径不同，缸杆16通过浮动接头与导向板13连接，不同注出气缸10运行相同行程时，注出气体体积和流量均不相同。在本实施例中，各注出气缸10的行程相同，注出速度相同，体积不同，同步注出时，注出流量不同，各注出气缸10的工作环境相同，操作动作一致，因此操控一致性好，在各种工况下对不同被测设备的校准一致性好。
[0046]
在本实施例中，采用不同规格的气缸作为注出气缸10，能够选取多种不同规格的气缸进行气体注出，从而实现不同流量范围的气体注出。由于采用了多种不同规格气缸进行组合，因此，既能够利用小容积小流量的气缸实现高精度微小流量气体注出，以较高精度定量注出微小流量，满足微小流量气体高精度注出设备的需求，同时又能够利用其他气缸弥补小容积小流量气缸的流量范围有限，不能实现流量范围之外的气体注出的缺陷，使得活塞式气体注出装置可以实现大流量范围的气体注出，同时能够有效提高微小流量气体的注出精度。
[0047]
在一个实施例中，至少两个注出气缸10包括第一气缸10a、第二气缸10b、第三气缸10c和第四气缸10d，第一气缸10a的注出体积范围为[0，a]，第二气缸10b的注出体积范围为[0，b]；第三气缸10c的注出体积范围为[0，c]；第四气缸10d的注出体积范围为[0，d]，其中a＜b＜c＜d。
[0048]
上述技术方案中，第一气缸10a、第二气缸10b、第三气缸10c和第四气缸10d的容积不同，气体最大注出流量不同，这样，注出设备能够覆盖多个梯度的注出量需求，从而有效提高装置的适用性。
[0049]
需要说明的是，在本发明的一个实施例中，第一气缸10a的注出精度为c1，最大注出流量为29ml/min，第二气缸10b的注出精度为c2，最大注出流量为150ml/min，第三气缸10c的注出精度为c3，最大注出流量为367ml/min，第四气缸10d的注出精度为c4，最大注出流量为1034ml/min，第一气缸10a、第二气缸10b、第三气缸10c和第四气缸10d的最大注出流量递增，注出精度逐渐降低，也即，四个气缸的最大注出流量越小，注出精度越高，最大注出流量越大，注出精度越低。在进行工作气缸的选取时，首先判断满足气体注出流量需求的气缸，也即判断所需气体注出流量是否在气缸的最大注出流量范围内，如果在，则满足气体注出流量需求，否则，则不满足气体注出流量需求，在确定满足气体注出流量需求的气缸之后，可以从这些气缸中选取精度最高的气缸来进行气体注出，从而提高气体注出精度，提高被测设备的校准精度。
[0050]
例如，当所需注出气体的注出流量为20ml/min时，第一气缸10a、第二气缸10b、第三气缸10c和第四气缸10d均满足最大注出流量需求，但第一气缸10a的注出精度c1比第二气缸10b、第三气缸10c和第四气缸10d的注出精度高，因此，选择第一气缸10a作为工作气缸注出气体；当所需注出气体的注出流量为160ml/min时，超出了第一气缸10a和第二气缸10b的最大注出流量范围，因此第一气缸10a和第二气缸10b均无法满足所需的注出流量需求，所需注出气体的注出流量在第三气缸10c和第四气缸10d的最大注出流量范围内，但第三气缸10c的注出精度c3比第四气缸10d的注出精度c4高，因此，选择第三气缸10c作为工作气缸注出气体，从而更好地满足校准需求。
[0051]
如图2所示，在本发明的一个实施例中，第一固定板12和第二固定板17之间固定设置有行程监测装置22，行程监测装置22被构造为监测导向板13的行程。
[0052]
通过上述设置，能够对导向板13的运动路径进行实时监测，把控气缸缸杆16的运动距离和运动速度，实现对注出量和注出速度的闭环控制。
[0053]
优选地，在本发明的一个实施例中，行程监测装置22为光栅尺。
[0054]
具体地，活塞式气体注出装置的工作过程和气路清洗过程如下：
[0055]
工作过程：系统根据气体注出量自动选择适合的注出气缸10如第一气缸10a；关闭第一气缸10a第二气管40上的第一阀门60，开启设置在与第一气缸10a连接的第一气管上的第二阀门80，使第一气缸10a作为工作气缸，同时开启其余注出气缸10即第二气缸10b、第三气缸10c以及第四气缸10d第二气管40上的第一阀门60，关闭设置在与其注出气缸10连接的第一气管上的第二阀门80，使第二气缸10b、第三气缸10c、第四气缸10d均与大气相通，不作为工作气缸；驱动电机19启动，带动气缸缸杆16抽取气源气体；抽满工作缸体后，控制阀门50将气路切换为排气模式，驱动电机19启动，带动气缸缸杆16排出缸内气体。多次重复上述过程，直至整个气路和气缸内的非气源气体全部排出，从而保证整条路线的气体纯净；清洗完成后，驱动电机19启动，带动气缸缸杆16抽取需求注出量的气源气体，控制阀门50将气路切换为排气模式，驱动电机19启动，带动气缸缸杆16排出第一气缸10a缸内的气体，完成气体注出。
[0056]
当完成一种气体的注出，需要切换另一个注出气缸10如第二气缸10b注出另一种气体时，切换过程如下：开启第一气缸10a第二气管40上的第一阀门60，关闭设置在与第一气缸10a连接的第一气管上的第二阀门80，使第一气缸10a与大气连通，不作为工作气缸；同时关闭第二气缸10b第二气管40上的第一阀门60，开启设置在与第二气缸10b连接的第一气
管上的第二阀门80，使第二气缸10b作为工作气缸，完成切换后，重复上述气体清洗过程；启动驱动电机19，带动气缸缸杆16抽取需求注出量的气源气体，控制阀门50将气路切换为排气模式；驱动电机19启动，带动气缸缸杆16排出第二气缸10b缸内的气体，完成气体注出。
[0057]
从以上描述中，可以看出，本发明的上述实施例实现了如下技术效果：通过设置检测管路、气源管路以及多个容积和最大注出流量不同的注出气缸，且检测管路和气源管路均可选择地与至少两个注出气缸连通，这样，气体注出时，工作人员可根据注出流量和注出精度需求，控制气源管路和检测管路与合适的注出气缸连通，同时，注出气体经检测管路并通过单向输出接头输出标定被测设备，既能够减少气源的消耗，还能满足不同气体注出流量和精度要求的气体注出需求。
[0058]
显然，上述所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
[0059]
需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。
[0060]
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
技术特征：1.一种活塞式气体注出装置，其特征在于，包括：至少两个注出气缸(10)，所述至少两个注出气缸(10)的容积和最大注出流量不同；检测管路(20)；以及气源管路(30)，所述检测管路(20)用于连接被测设备，所述气源管路(30)用于连接气源；所述至少两个注出气缸(10)中的任意一个可选择地与所述检测管路(20)或所述气源管路(30)连通。2.根据权利要求1所述的活塞式气体注出装置，其特征在于，所述活塞式气体注出装置还包括控制阀组，所述控制阀组连接在所述注出气缸(10)、所述检测管路(20)和所述气源管路(30)之间，并使得所述注出气缸(10)能够与所述检测管路(20)和所述气源管路(30)可选择地连通。3.根据权利要求2所述的活塞式气体注出装置，其特征在于，所述控制阀组包括：至少两个第一阀门(60)，与所述注出气缸(10)一一对应设置且相连接，所述第一阀门(60)具有与所述注出气缸(10)可选择地连通的两个气体接口，所述第一阀门(60)的其中一个气体接口用于与外界空气连通；至少两个第一气管(70)，与所述第一阀门(60)一一对应设置，所述第一气管(70)的第一端连接相应的所述第一阀门(60)的另一个气体接口；至少两个第二阀门(80)，与所述第一气管(70)一一对应设置，所述第二阀门(80)与所述第一气管(70)的第二端连接；所述气源管路(30)与其中一个所述第二阀门(80)连通时，与其他所述第二阀门(80)之间不连通。4.根据权利要求3所述的活塞式气体注出装置，其特征在于，所述气源管路(30)上设置有控制阀门(50)，所述第一阀门(60)与所述第一气管(70)连通时，所述第二阀门(80)打开，所述控制阀门(50)打开所述气源管路(30)；所述第一阀门(60)与外界空气连通时，所述第二阀门(80)打开，所述控制阀门(50)关闭所述气源管路(30)。5.根据权利要求2所述的活塞式气体注出装置，其特征在于，所述控制阀组包括：至少两个第三阀门(81)，与所述注出气缸(10)一一对应设置，所述检测管路(20)连接在所述第三阀门(81)上，并与各所述第三阀门(81)可选择地连通；至少两个第二气管(40)，与所述注出气缸(10)一一对应设置，所述第二气管(40)连接在对应的所述注出气缸(10)和所述第三阀门(81)之间。6.根据权利要求1至5中任一项所述的活塞式气体注出装置，其特征在于，所述活塞式气体注出装置还包括：底座(11)；第一固定板(12)；导向板(13)；以及驱动机构(14)；所述至少两个注出气缸(10)包括缸体(15)和缸杆(16)，所述缸体(15)的第一端固定安装在所述底座(11)上，所述第一固定板(12)固定连接在所述缸体(15)的第二端，所述缸杆(16)的活动端共同连接至所述导向板(13)，所述驱动机构(14)安装在所述第一固定板(12)
上，所述驱动机构(14)的驱动端与所述导向板(13)驱动连接，驱动所述导向板(13)向着远离或者靠近所述第一固定板(12)的方向运动。7.根据权利要求6所述的活塞式气体注出装置，其特征在于，所述活塞式气体注出装置还包括第二固定板(17)，所述第二固定板(17)与所述第一固定板(12)之间通过导向杆(18)固定连接，所述导向板(13)沿所述导向杆(18)的导向方向可滑动地设置。8.根据权利要求7所述的活塞式气体注出装置，其特征在于，所述驱动机构(14)包括驱动电机(19)和驱动丝杆(21)，所述驱动丝杆(21)的第一端连接在所述驱动电机(19)的输出端，所述驱动丝杆(21)的第二端与所述第二固定板(17)连接，并且相对于所述第二固定板(17)周向转动且轴向位置固定，所述导向板(13)与所述驱动丝杆(21)螺纹驱动连接，所述驱动电机(19)安装在所述第一固定板(12)远离所述第二固定板(17)的一侧，且位于所述至少两个注出气缸(10)的缸体(15)之间。9.根据权利要求6所述的活塞式气体注出装置，其特征在于，所述至少两个注出气缸(10)的行程相同，所述缸杆(16)通过浮动接头与所述导向板(13)连接；和/或，所述至少两个注出气缸(10)包括第一气缸(10a)、第二气缸(10b)、第三气缸(10c)和第四气缸(10d)，所述第一气缸(10a)的注出体积范围为[0，a]，所述第二气缸(10b)的注出体积范围为[0，b]；所述第三气缸(10c)的注出体积范围为[0，c]；所述第四气缸(10d)的注出体积范围为[0，d]，其中a＜b＜c＜d。10.根据权利要求7所述的活塞式气体注出装置，其特征在于，所述第一固定板(12)和所述第二固定板(17)之间固定设置有行程监测装置(22)，所述行程监测装置(22)被构造为监测所述导向板(13)的行程。
技术总结本发明提供了一种活塞式气体注出装置。该活塞式气体注出装置包括：至少两个注出气缸，至少两个注出气缸的容积和最大注出流量不同；检测管路；以及气源管路，检测管路用于连接被测设备，气源管路用于连接气源；至少两个注出气缸中的任意一个可选择地与检测管路或气源管路连通。本发明的技术方案的活塞式气体注出装置，能够满足不同气体注出流量和精度要求的气体注出需求。气体注出需求。气体注出需求。
技术研发人员：王池 孟涛 王蕾 高峰 周昶 邢超 魏建超
受保护的技术使用者：郑州睿量仪器设备有限公司
技术研发日：2022.07.13
技术公布日：2022/11/1
