1.本发明涉及等离子退火技术领域，具体的说是一种等离子退火系统及其方法。
背景技术：2.退火是一种对材料的热处理工艺，包括金属材料、非金属材料，且新材料的退火目的也与传统金属退火存在异同；
3.半导体芯片在离子注入后需要进行退火，因为往半导体中注入杂质离子时，高能量的入射离子会与半导体晶格上的原子碰撞，使一些晶格原子发生位移，结果造成大量的空位，注入区中的原子排列混乱或成为非晶区，所以在离子注入以后必须把半导体放在一定的温度下进行退火，以恢复晶体的结构和消除缺陷，常规的加热退火方法不能完全消除掺杂造成的缺陷，而且高温可能导致半导体芯片的二次缺陷，所以生产中常等离子技术对半导体芯片进行退火，其原理是等离子体中带电粒子与中心离子在运动中碰撞产生高温，通过将高温的等离子体输送到半导体芯片表面进行退火处理，已达到高温快速的目的；
4.传统的半导体芯片在等离子退火时，需要人工将芯片放置于退火腔内，待退火完成后，将其取出并放置下一个芯片，费时费力，人力成本较高，且高能的等离子如果泄露可能对附近人员造成危害，存在安全隐患；
5.鉴于此，为了克服上述技术问题，本发明设计研发了一种等离子退火系统及其方法，解决了上述技术问题。
技术实现要素：6.本发明所要解决的技术问题是：传统的半导体芯片在等离子退火时，需要人工将芯片放置于退火腔内，待退火完成后，将其取出并放置下一个芯片，费时费力，人力成本较高。
7.本发明提供一种等离子退火系统，包括：传输带，以及跟随传输带移动的芯片，还包括：
8.运输座：所述运输座安装在传输带上，且可跟随传输带移动，所述芯片固定在运输座上表面；
9.引导杆：所述引导杆上端固定有承载片，所述承载片固定于运输座上表面中心，且所述芯片固定于承载片表面，所述引导杆杆身贯穿运输座，其下端固定有引导块，所述承载片、引导杆、引导块均为铜制；
10.退火腔：所述退火腔位于传输带上方，其下端为敞口使得腔体与外界相通，所述退火腔腔体顶部固定设有等离子发生器；
11.升降装置：所述升降装置与退火腔固定连接，可控制退火腔上下移动；
12.气压调节装置：所述气压调节装置设于退火腔顶部的壁体中；
13.传导装置：所述传导装置设于退火腔下方，且位于传输带之下。
14.优选的，所述升降装置包括：
15.支撑座：所述支撑座为拱门型，横跨在传输带之上；
16.电动液压推杆：所述电动液压推杆其泵体端固定于支撑座壁体内，其伸缩端与所述退火腔顶部壁体固定；
17.压力传感器：所述压力传感器设于退火腔下端边缘处，其与所述电动液压推杆内部泵体电连接。
18.优选的，所述气压调节装置包括：
19.真空泵：所述真空泵固定于退火腔侧部壁体；
20.单向阀：所述单向阀固定于真空泵与退火腔连通处；
21.进气口：所述进气口开设于退火腔侧部壁体；
22.电磁阀：所述电磁阀设于进气口处。
23.优选的，所述传导装置包括：
24.滑动座：所述滑动座固定于退火腔下方的地面，其上表面开设有滑槽；
25.传导滑块：所述传导滑块设有两块，且分别位于所述引导块两侧，且所述引导块下表面低于两块所述传导滑块上表面，两块所述传导滑块底部块体卡入滑槽中，且可相对于滑动座滑动，所述传导滑块为导体；
26.电机：所述电机固定于滑动座一侧壁体内；
27.锁紧轴：所述锁紧轴一端与电机固定，以其中部为分界线，其两侧的轴体表面设有方向相反的螺纹，且分别与两块所述传导滑块螺旋传动。
28.优选的，所述运输座由橡胶材质制成，且正对于退火腔底面边缘下方的运输座表面开设有与退火腔底端边缘形状对应的凹槽。
29.优选的，所述退火腔侧壁固定有温度感受器，所述温度感受器与气压调节装置电连接。
30.优选的，所述运输座底部两侧安装有两排滚轮，所述滚轮贴合于传输带表面可相对于传输带滚动。
31.优选的，所述退火腔下方位于传输带运动方向一侧的传输带中部设有限位块，所述限位块下方设有电磁推杆，所述电磁推杆固定于滑动座侧部，其伸缩端与限位块底部固定，所述限位块与传输带运动方向相对一侧设有接触开关，所述限位块位于传输带运动方向一侧设有接近开关。
32.优选的，所述运输座尾部固定有分隔臂。
33.根据本发明提供的一种等离子退火方法，包括以下步骤：
34.s1：将芯片固定在承载片中心；
35.s2：运输座移动至退火腔正下方，并停止移动；
36.s3：升降装置驱动退火腔向下移动，并紧密覆盖于运输座表面，使得退火腔内部空间封闭；
37.s4：气压调节装置抽出退火腔内的空气，通入混合气体；
38.s5：等离子发生器产生等离子体；
39.s6：传导装置驱动其传导滑块夹住引导块，使得承载片、引导杆、引导块和传导滑块一起构成一个电极，并通过相关装置调节芯片底部的偏压，从而调节等离子体的能量。
40.本发明的有益效果如下：
41.本发明提供一种等离子退火系统及其方法，通过传输带运输载有待退火芯片的运输座，通过升降装置驱动退火腔移动，并与运输座配合形成密闭的退火容腔，通过气压调节装置调节退火腔内的气体成分以及气压温度，通过传导装置使得退火腔内形成向下的电场，从而引导等离子体运动，本发明使得芯片的退火流水化进行，无需操作人员进行退火腔内芯片的放置取出调节等操作，解放了人力，节约了人力成本，且本发明退火时人员远离退火腔，避免了意外等离子泄露造成的安全风险。
附图说明
42.下面结合附图对本发明作进一步说明。
43.图1是本发明的三维立体图；
44.图2是本发明的俯视图；
45.图3是本发明图2的a向视图；
46.图4是本发明图2退火腔和支撑座的b-b向剖面图；
47.图5是本发明图滑动座整体视图；
48.图中：传输带1、芯片2、运输座3、引导杆4、承载片5、引导块6、退火腔7、等离子发生器8、支撑座9、电动液压推杆10、压力传感器11、真空泵12、单向阀13、进气口14、电磁阀15、滑动座16、滑槽17、传导滑块18、电机19、锁紧轴20、凹槽21、温度感受器22、滚轮23、限位块24、电磁推杆25、接触开关26、接近开关27、分隔臂28。
具体实施方式
49.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
50.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
51.此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
52.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
53.此外，在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
54.对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
55.本发明实施例通过提供一种等离子退火系统及其方法，解决了的问题。
56.为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
57.本发明提供一种等离子退火系统，包括：传输带1，以及跟随传输带1移动的芯片2，还包括：
58.运输座3：所述运输座3安装在传输带1上，且可跟随传输带1移动，所述芯片2固定在运输座3上表面；
59.引导杆4：所述引导杆4上端固定有承载片5，所述承载片5固定于运输座3上表面中心，且所述芯片2固定于承载片5表面，所述引导杆4杆身贯穿运输座3，其下端固定有引导块6，所述承载片5、引导杆4、引导块6均为铜制；
60.退火腔7：所述退火腔7位于传输带1上方，其下端为敞口使得腔体与外界相通，所述退火腔7腔体顶部固定设有等离子发生器8；
61.升降装置：所述升降装置与退火腔7固定连接，可控制退火腔7上下移动；
62.气压调节装置：所述气压调节装置设于退火腔7顶部的壁体中；
63.传导装置：所述传导装置设于退火腔7下方，且位于传输带1之下。
64.本发明中芯片2固定于承载片5上表面，运输座3带着芯片2跟随传输带1运动，当移动到退火腔7正下方时其停止移动，升降装置驱动退火腔7下移直至覆盖于运输座3上表面，并维持一定的紧固力，使得退火腔7内部形成一个密闭的空腔，气压调节装置抽取退火腔7内的空气，并通入产生退火所需等离子的混合气体(多为以氢原子为主非反应气体为载体的混合气体，如氢气与氮气的混合气体，氢气与氩气的混合气体或氢气、氮气和氩气的混合气体)，与此同时传导装置驱动其传导元件接触引导杆4底端的引导块6，使得承载片5、引导杆4、引导块6和传导元件共同组成了电极，并可在传导元件外侧外接电路，从而调整承载片5表面的偏压，使得退火腔7内形成向下的电场，随后退火腔7顶部的等离子发生器8电离退火腔7内的气体形成等离子体，并在电场的引导下，作用于承载片5表面的芯片2上，从而完成等离子退火，退火完成后等离子发生器8停止工作，传导装置解除与引导块6的接触，随后升降装置驱动退火腔7上移，运输座3再次随传输带1移动，而下一个载有未退火芯片2的运输座3移动至退火腔7下方，从而再次重复以上步骤；本发明各个装置之间均与外部操作系统形成电连接，通过外部系统中录入的程序和参数进行自动控制；
65.本发明使得芯片2的退火流水化进行，无需操作人员进行退火腔7内芯片2的放置取出调节等操作，解放了人力，节约了人力成本，且本发明退火时人员远离退火腔7，避免了意外等离子泄露造成的安全风险。
66.作为本发明的一种具体实施方式，所述升降装置包括：
67.支撑座9：所述支撑座9为拱门型，横跨在传输带1之上；
68.电动液压推杆10：所述电动液压推杆10其泵体端固定于支撑座9壁体内，其伸缩端与所述退火腔7顶部壁体固定；
69.压力传感器11：所述压力传感器11设于退火腔7下端边缘处，其与所述电动液压推杆10内部泵体电连接。
70.本发明中退火腔7通过顶部与电动液压推杆10的伸缩端固定，从而将自身重量传递给支撑座9悬挂于传输带1之上，当运输座3移动到退火腔7正下方时，电动液压推杆10伸
缩端向下移动，驱动退火腔7向下移动，并与运输座3上表面紧密贴合，当压力传感器11感受到退火腔7与运输座3之间的紧固力达到预设值时，电动液压推杆10停止伸长，并维持其现有压力，使得退火腔7内部在退火过程中始终为密闭空腔，以便于完成退火的操作，当退火结束时，电动液压推杆10向上缩回，并带动退火腔7一起向上移动。
71.作为本发明的一种具体实施方式，所述气压调节装置包括：
72.真空泵12：所述真空泵12固定于退火腔7侧部壁体；
73.单向阀13：所述单向阀13固定于真空泵12与退火腔7连通处；
74.进气口14：所述进气口14开设于退火腔7侧部壁体；
75.电磁阀15：所述电磁阀15设于进气口14处。
76.当退火腔7向下移动与运输座3表面贴合形成密闭空腔后，真空泵12开始工作，将退火腔7内的空气抽出，其抽气口处的单向阀13导通方向向外，如此可避免当真空泵12停止工作时气体的回流，当抽气结束后，进气口14处的电磁阀15打开，并向退火腔7内通入混合气体，使之压强达到200psi到2000psi之间，腔内温度在20℃到100℃之间，以便于产生高效的等离子体，随后等离子发生器8启动产生等离子，完成退火，电磁阀15关闭。
77.作为本发明的一种具体实施方式，所述传导装置包括：
78.滑动座16：所述滑动座16固定于退火腔7下方的地面，其上表面开设有滑槽17；
79.传导滑块18：所述传导滑块18设有两块，且分别位于所述引导块6两侧，且所述引导块6下表面低于两块所述传导滑块18上表面，两块所述传导滑块18底部块体卡入滑槽17中，且可相对于滑动座16滑动，所述传导滑块18为导体；
80.电机19：所述电机19固定于滑动座16一侧壁体内；
81.锁紧轴20：所述锁紧轴20一端与电机19固定，以其中部为分界线，其两侧的轴体表面设有方向相反的螺纹，且分别与两块所述传导滑块18螺旋传动。
82.在混合气体通入退火腔7的同时，电机19启动驱动锁紧轴20转动，由于锁紧轴20以其中部为分界线，其两侧的轴体表面设有方向相反的螺纹，且分别与两块所述传导滑块18螺旋传动，所以两块传导滑块18会沿着滑槽17相对于滑动座16滑动，并向中间收拢，由于引导块6下表面低于两块所述传导滑块18上表面，所以向中间收拢的两块传导滑块18最终会夹住并贴合于引导块6，由于承载片5、引导杆4、引导块6均为铜制导体，传导滑块18也为导体，由此可在传导滑块18侧部外接回路，使得承载片5、引导杆4、引导块6和传导滑块18共同组成一个电极，并可通过外接回路调整承载片5处的偏压，如此在退火腔7内产生向下的电场，从而引导产生的等离子体接触承载片5表面的芯片2，以便于完成退火，当退火完成后，电极反转，驱动传导滑块18远离引导块6，避免对运输座3的运动产生阻碍。
83.作为本发明的一种具体实施方式，所述运输座3由橡胶材质制成，且正对于退火腔7底面边缘下方的运输座3表面开设有与退火腔7底端边缘形状对应的凹槽21。
84.运输座3由橡胶材质制成，相比于金属材料起到了绝缘减重的目的，且其自身具有气密性好弹性优越的优点，可加强退火腔7压合时，其内部空腔的气密性，运输座3表面开设的凹槽21，可使得退火腔7的边缘陷入其中，从而进一步增强退火腔7的气密性。
85.作为本发明的一种具体实施方式，所述退火腔7侧壁固定有温度感受器22，所述温度感受器22与气压调节装置电连接。
86.位于退火腔7侧壁的温度感受器22可实时监测退火腔7内的温度，由于气压和温度
正相关，可反馈给气压调节装置，使得气压调节装置通过系统计算后对退火腔7的气压作出调整，以便于产生高效的等离子。
87.作为本发明的一种具体实施方式，所述运输座3底部两侧安装有两排滚轮23，所述滚轮23贴合于传输带1表面可相对于传输带1滚动；
88.作为本发明的一种具体实施方式，所述退火腔7下方位于传输带1运动方向一侧的传输带1中部设有限位块24，所述限位块24下方设有电磁推杆25，所述电磁推杆25固定于滑动座16侧部，其伸缩端与限位块24底部固定，所述限位块24与传输带1运动方向相对一侧设有接触开关26，所述限位块24位于传输带1运动方向一侧设有接近开关27；
89.作为本发明的一种具体实施方式，所述运输座3尾部固定有分隔臂28。
90.由于退火腔7位置固定，运输座3在退火时需要停止移动，若通过传输带1的停止和启动控制运输座3的移动和静止十分不便，且运输带在停止时可能出现滑移的现象，造成运输座3定位不准，本发明中传输带1中部镂空，运输座3通过两侧的滚轮23与放置在两侧传输带1表面，由于传输带1表面水平，当传输带1前进时可通过对运输座3底部滚轮23的单方向摩擦力，驱动运输座3沿着传输带1移动方向移动，此时位于传输带1中部的限位块24可对运输座3产生限位和定位的作用，当运输座3与限位块24一侧贴合时，其正好位于退火腔7的正下方，且在传输带1的驱动下始终与限位块24一侧贴合位置不变，此时其底部的滚轮23相对于传输带1滚动，限位块24面向运输座3贴合的一侧设有接触开关26，当运输座3接触限位块24时，接触开关26向系统发出信号，此时液压推动杆启动驱动退火腔7向下移动，当退火完毕后，电磁推杆25收到信号驱动限位块24向下移动，解除对该运输座3的限位，使其继续向传输带1移动方向移动，且当限位块24另一侧的接近开关27监测到上一个运输座3以完全通过其顶部时，电磁推杆25重新向上伸出，使得限位块24对下一个运输座3起到定位限位的作用，由于限位块24的伸出需要一定时间，所以避免前后运输座3之间彼此贴合，使得限位块24还未伸出时，下一个运输座3就以移动到限位块24上方，阻碍其伸出，所以在每个运输座3尾部均固定有分隔臂28，如此可使得前后运输座3之间彼此隔开，使得限位块24得以发挥其作用。
91.本发明还提供一种等离子体退火方法，包括如下步骤：
92.s1：将芯片2固定在承载片5中心；
93.s2：运输座3移动至退火腔7正下方，并停止移动；
94.s3：升降装置驱动退火腔7向下移动，并紧密覆盖于运输座3表面，使得退火腔7内部空间封闭；
95.s4：气压调节装置抽出退火腔7内的空气，通入混合气体，在退火腔7内形成用于退火所需的高效等离子产生的条件；
96.s5：等离子发生器8对混合气体电离产生等离子体；
97.s6：传导装置驱动其传导滑块18夹住引导块6，使得承载片5、引导杆4、引导块6和传导滑块18一起构成一个电极，并通过相关装置调节芯片2底部的偏压，从而在退火腔7内形成一个向下的电场，通过调节这个电场的大小，从而调节等离子体作用于芯片2表面的能量。
98.工作原理：本发明中芯片2固定于承载片5上表面，运输座3带着芯片2跟随传输带1运动，当移动到退火腔7正下方时其停止移动，升降装置驱动退火腔7下移直至覆盖于运输
座3上表面，并维持一定的紧固力，使得退火腔7内部形成一个密闭的空腔，气压调节装置抽取退火腔7内的空气，并通入产生退火所需等离子的混合气体(多为以氢原子为主非反应气体为载体的混合气体，如氢气与氮气的混合气体，氢气与氩气的混合气体或氢气、氮气和氩气的混合气体)，与此同时传导装置驱动其传导元件接触引导杆4底端的引导块6，使得承载片5、引导杆4、引导块6和传导元件共同组成了电极，并可在传导元件外侧外接电路，从而调整承载片5表面的偏压，使得退火腔7内形成向下的电场，随后退火腔7顶部的等离子发生器8电离退火腔7内的气体形成等离子体，并在电场的引导下，作用于承载片5表面的芯片2上，从而完成等离子退火，退火完成后等离子发生器8停止工作，传导装置解除与引导块6的接触，随后升降装置驱动退火腔7上移，运输座3再次随传输带1移动，而下一个载有未退火芯片2的运输座3移动至退火腔7下方，从而再次重复以上步骤；本发明各个装置之间均与外部操作系统形成电连接，通过外部系统中录入的程序和参数进行自动控制；
99.本发明使得芯片2的退火流水化进行，无需操作人员进行退火腔7内芯片2的放置取出调节等操作，解放了人力，节约了人力成本，且本发明退火时人员远离退火腔7，避免了意外等离子泄露造成的安全风险。
100.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
技术特征：1.一种等离子退火系统，包括：传输带(1)，以及跟随传输带(1)移动的芯片(2)，其特征在于，还包括：运输座(3)：所述运输座(3)安装在传输带(1)上，且可跟随传输带(1)移动，所述芯片(2)固定在运输座(3)上表面；引导杆(4)：所述引导杆(4)上端固定有承载片(5)，所述承载片(5)固定于运输座(3)上表面中心，且所述芯片(2)固定于承载片(5)表面，所述引导杆(4)杆身贯穿运输座(3)，其下端固定有引导块(6)，所述承载片(5)、引导杆(4)、引导块(6)均为铜制；退火腔(7)：所述退火腔(7)位于传输带(1)上方，其下端为敞口使得腔体与外界相通，所述退火腔(7)腔体顶部固定设有等离子发生器(8)；升降装置：所述升降装置与退火腔(7)固定连接，可控制退火腔(7)上下移动；气压调节装置：所述气压调节装置设于退火腔(7)顶部的壁体中；传导装置：所述传导装置设于退火腔(7)下方，且位于传输带(1)之下。2.根据权利要求1所述的一种等离子退火系统，其特征在于：所述升降装置包括：支撑座(9)：所述支撑座(9)为拱门型，横跨在传输带(1)之上；电动液压推杆(10)：所述电动液压推杆(10)其泵体端固定于支撑座(9)壁体内，其伸缩端与所述退火腔(7)顶部壁体固定；压力传感器(11)：所述压力传感器(11)设于退火腔(7)下端边缘处，其与所述电动液压推杆(10)内部泵体电连接。3.根据权利要求1所述的一种等离子退火系统，其特征在于：所述气压调节装置包括：真空泵(12)：所述真空泵(12)固定于退火腔(7)侧部壁体；单向阀(13)：所述单向阀(13)固定于真空泵(12)与退火腔(7)连通处；进气口(14)：所述进气口(14)开设于退火腔(7)侧部壁体；电磁阀(15)：所述电磁阀(15)设于进气口(14)处。4.根据权利要求1所述的一种等离子退火系统，其特征在于：所述传导装置包括：滑动座(16)：所述滑动座(16)固定于退火腔(7)下方的地面，其上表面开设有滑槽(17)；传导滑块(18)：所述传导滑块(18)设有两块，且分别位于所述引导块(6)两侧，且所述引导块(6)下表面低于两块所述传导滑块(18)上表面，两块所述传导滑块(18)底部块体卡入滑槽中，且可相对于滑动座(16)滑动，所述传导滑块(18)为导体；电机(19)：所述电机(19)固定于滑动座(16)一侧壁体内；锁紧轴(20)：所述锁紧轴(20)一端与电机(19)固定，以其中部为分界线，其两侧的轴体表面设有方向相反的螺纹，且分别与两块所述传导滑块(18)螺旋传动。5.根据权利要求1所述的一种等离子退火系统，其特征在于：所述运输座(3)由橡胶材质制成，且正对于退火腔(7)底面边缘下方的运输座(3)表面开设有与退火腔(7)底端边缘形状对应的凹槽(21)。6.根据权利要求1所述的一种等离子退火系统，其特征在于：所述退火腔(7)侧壁固定有温度感受器(22)，所述温度感受器(22)与气压调节装置电连接。7.根据权利要求1所述的一种等离子退火系统，其特征在于：所述运输座(3)底部两侧安装有两排滚轮(23)，所述滚轮(23)贴合于传输带(1)表面可相对于传输带(1)滚动。
8.根据权利要求4所述的一种等离子退火系统，其特征在于：所述退火腔(7)下方位于传输带(1)运动方向一侧的传输带(1)中部设有限位块(24)，所述限位块(24)下方设有电磁推杆(25)，所述电磁推杆(25)固定于滑动座(16)侧部，其伸缩端与限位块(24)底部固定，所述限位块(24)与传输带(1)运动方向相对一侧设有接触开关(26)，所述限位块(24)位于传输带(1)运动方向一侧设有接近开关(27)。9.根据权利要求1所述的一种等离子退火系统，其特征在于：所述运输座(3)尾部固定有分隔臂(28)。10.本发明提供了一种等离子退火方法，包括以下步骤：s1：将芯片(2)固定在承载片(5)中心；s2：运输座(3)移动至退火腔(7)正下方，并停止移动；s3：升降装置驱动退火腔(7)向下移动，并紧密覆盖于运输座(3)表面，使得退火腔(7)内部空间封闭；s4：气压调节装置抽出退火腔(7)内的空气，通入混合气体；s5：等离子发生器(8)产生等离子体；s6：传导装置驱动其传导滑块(18)夹住引导块(6)，使得承载片(5)、引导杆(4)、引导块(6)和传导滑块(18)一起构成一个电极，并通过相关装置调节芯片(2)底部的偏压，从而调节等离子体的能量。
技术总结本发明涉及等离子退火技术领域，具体的说是一种等离子退火系统及其方法，通过传输带运输载有待退火芯片的运输座，通过升降装置驱动退火腔移动，并与运输座配合形成密闭的退火容腔，通过气压调节装置调节退火腔内的气体成分以及气压温度，通过传导装置使得退火腔内形成向下的电场，从而引导等离子体运动，本发明使得芯片的退火流水化进行，无需操作人员进行退火腔内芯片的放置取出调节等操作，解放了人力，节约了人力成本，且本发明退火时人员远离退火腔，避免了意外等离子泄露造成的安全风险。险。险。
技术研发人员：贲能军 周鹏飞 李珊珊
受保护的技术使用者：盐城工业职业技术学院
技术研发日：2022.07.12
技术公布日：2022/11/1
