1.本发明涉及清洗设备技术领域，尤其涉及一种清洗机。
背景技术：2.在晶圆的加工生产过程中，其表面往往会沾染各种杂质，这些杂质直接影响晶圆的性能。因此，晶圆的清洗成为了一道非常重要且要求较高的工艺。
3.在晶圆的清洗工艺中，通常是先将晶圆放进晶圆盒或者卡塞内，再将晶圆盒或者卡塞批量放置在置物料架上，然后再通过机械手臂和夹具将置物料架放入浸泡槽内进行浸泡处理，浸泡槽内具有能够溶解不同杂质的混合药液；浸泡完成后，再通过机械手臂和夹具将晶圆置物料架从浸泡槽内取出，并放入刷洗槽内，将置物料架、卡塞、晶圆盒以及晶圆上的药液刷洗干净；刷洗完成后，再通过机械手臂和夹具将置物料架从刷洗槽内取出，并放入甩干槽内，将水渍甩干。
4.在将置物料架从浸泡槽内转移至刷洗槽的过程中，以及将置物料架从刷洗槽转移至甩干槽的过程中，置物料架上会滞留较多的液体，而在转移置物料架的过程中，这些液体会滴落在工作台上，对工作台造成污染，影响晶圆的清洗效果。
技术实现要素：5.有鉴于此，本发明的目的是提供一种清洗机，解决了背景技术中指出的将置物料架从浸泡槽内转移至刷洗槽的过程中，以及将置物料架从刷洗槽转移至甩干槽的过程中，置物料架会带出较多的液体，对工作台造成污染的问题。
6.本发明通过以下技术手段解决上述技术问题：
7.一种清洗机，包括机台和固定在机台上侧的悬挂架，所述机台上依次设置有取放区、浸泡槽、刷洗槽和甩干槽，所述悬挂架上安装有用于夹持置物料架的夹具以及带动夹具变换位置的运动机构，所述运动机构包括安装板、带动安装板横向移动的横移组件以及固定在安装板底侧的垂直移动件，所述夹具安装在垂直移动件上；所述安装板上铰接有两个对称设置的防护罩，所述夹具上固定有两个分别用于抵触两个防护罩并使两个防护罩相互靠拢合并的抵杆，两个所述防护罩靠拢合并后能够将夹具和置物料架罩住，所述安装板上安装有两个分别用于抵触两个防护罩并使两个防护罩相互分离的弹性抵触件。
8.通过采用上述技术方案，在通过夹具和垂直移动件将置物料架从浸泡槽或者刷洗槽内取出的过程中，在垂直移动件的驱动下，夹具往上侧移动，夹具上的抵杆能够抵触防护罩，使两个防护罩相互靠拢合并，将夹具和置物料架罩住，防止置物料架上滞留的液体滴落在机台上；当两个防护罩将夹具和置物料架罩住后，再通过横移组件带动夹具和置物料架横向移动，使夹具和置物料架位于下一个槽的正上方，然后再通过垂直移动件带动夹具往下侧移动；当夹具往下侧移动时，抵杆与防护罩分离，而在弹性抵触件的作用下，两个防护罩相互分离，夹具便能够带动置物料架进入浸泡槽、刷洗槽或者甩干槽内。
9.进一步，所述横移组件包括丝杠、滑块和第一电机，所述悬挂架的底侧具有横向设
置的滑移槽，所述丝杠转动安装在滑移槽内，所述第一电机固定在悬挂架的底侧，所述第一电机的输出轴与丝杠的一端固定，所述滑块滑动安装在滑移槽内，并与丝杠螺纹连接，所述滑块的下端延伸至滑移槽外并与安装板固定。
10.通过采用上述技术方案，第一电机能够驱动丝杠转动，然后带动滑块在滑移槽内滑动，从而通过安装板带动夹具和置物料架横向移动。
11.进一步，所述垂直移动件为气缸，所述气缸远离输出轴一端固定在安装板的底侧，所述气缸的输出轴一端与夹具固定。
12.通过采用上述技术方案，便于带动夹具在垂直方向上移动。
13.进一步，所述安装板上于气缸的两侧分别固定有向下延伸的连接板，两个所述防护罩上均固定有铰接部，两个所述铰接部分别铰接在连接板的下端。
14.通过采用上述技术方案，便于两个防护罩能够顺利地靠拢合并，以及顺利地分离。
15.进一步，两个所述防护罩相对的一侧为敞口结构，所述防护罩的敞口端固定有密封垫；所述防护罩包括依次相连的抵板、第一围板、第二围板和第三围板，且所述抵板、第一围板、第二围板和第三围板的前后两侧均固定有侧围板，所述抵板位于抵杆和弹性抵触件之间，所述第三围板倾斜于第二围板设置，所述第三围板和第二围板之间形成导水沟槽，所述防护罩外安装有与导水沟槽连通的排液管。
16.通过采用上述技术方案，当两个防护罩合并靠拢后，两个防护罩的密封垫能够相互抵靠在一起，对两个防护罩的连接部位起到一定的密封作用，降低液体从两个防护罩的连接部位漏出的风险。此外，当两个防护罩合并靠拢后，置物料架上滞留的液体能够滴入导水沟槽内，并通过排液管排至外部，降低置物料架上滞留的液体污染机台的风险。
17.进一步，所述第三围板远离第二围板的一端固定有阻水板，所述阻水板与第三围板倾斜设置，所述阻水板与第三围板之间形成阻水沟槽。
18.通过采用上述技术方案，当夹具下降，而使两个防护罩分离后，导水沟槽内未流入排液管内的液体受到阻水板的阻挡，只能回流到阻水沟槽内，而不会流至防护罩外侧，进一步降低机台受到污染的风险。
19.进一步，所述弹性抵触件包括外套杆、内杆和弹簧，所述外套杆固定在安装板的底侧，所述内杆滑动安装在外套杆内，且所述内杆的下端延伸至外套杆外并抵靠在抵板上，所述弹簧安装在外套杆内，所述弹簧的一端与外套杆固定，所述弹簧的另一端与内杆的上端固定。
20.通过采用上述技术方案，便于弹性抵触件带动两个防护罩顺利分离。
21.进一步，所述机台内安装有混液机构，所述混液机构与浸泡槽连通，为浸泡槽输送液体。
22.通过采用上述技术方案，使得浸泡槽内的混合药液能够更加均匀，提高浸泡槽内混合药液的清洁效果。
23.进一步，所述混液机构包括混液桶，所述混液桶内安装有正向搅动组件、变向组件、反向搅动组件和第二电机；所述正向搅动组件包括转动安装在混液桶内上侧的正向转动杆，所述正向转动杆的上端与第二电机的输出轴固定，所述正向转动杆上固定有正向连接臂，所述正向连接臂远离正向转动杆的一端安装有正向搅拌杆，所述正向搅拌杆上固定有多个正向搅拌叶片；所述反向搅动组件包括转动安装在混液桶内下侧的反向转动杆，所
述反向转动杆上固定有反向连接臂，所述反向连接臂的臂长比正向连接臂的臂长短，所述反向连接臂远离反向转动杆的一端安装有反向搅拌杆，所述反向搅拌杆上固定有多个反向搅拌叶片；所述变向组件包括安装壳体，所述安装壳体的两侧均固定有固定杆，所述固定杆远离安装壳体的一端固定在混液桶内的底侧，所述正向转动杆的下端延伸至安装壳体内并固定有第一锥齿轮，所述反向转动杆的上端延伸至安装壳体内并固定有第二锥齿轮，所述安装壳体内转动安装有转轴，所述转轴上固定有第三锥齿轮，所述第三锥齿轮位于第一锥齿轮和第二锥齿轮之间，并与第一锥齿轮和第二锥齿轮相互啮合。
24.通过采用上述技术方案，正向搅拌杆与反向搅拌杆均能够围绕混液桶的轴线转动，并且正向搅拌杆与反向搅拌杆转动的方向相反，同时，正向搅拌杆转动所形成的圆的直径要大于反向搅拌杆转动所形成的圆的直径，使得正向搅拌杆在外圈转动，而反向搅拌杆在外圈转动，增强搅拌的效果，提高混合药液的均匀度。
25.进一步，所述正向搅拌杆转动安装在正向连接臂上，所述正向搅拌杆上固定有正向齿轮，所述混液桶的内侧壁上固定有正向环形齿条，所述正向齿轮与正向环形齿条相互啮合；所述反向搅拌杆转动安装在反向连接臂上，所述反向搅拌杆上固定有反向齿轮，所述固定杆上固定有反向环形齿条，所述反向齿轮与反向环形齿条相互啮合。
26.通过采用上述技术方案，正向搅拌杆和反向搅拌杆在围绕混液桶的轴线转动的过程，还能够自转，进一步增强搅拌的效果。
27.本发明的有益效果：
28.1、本发明通过设置机台、悬挂架、夹具、运动结构、防护罩等结构，在通过夹具和垂直移动件将置物料架从浸泡槽或者刷洗槽内取出的过程中，在垂直移动件的驱动下，夹具往上侧移动，夹具上的抵杆能够抵触防护罩，使两个防护罩相互靠拢合并，将夹具和置物料架罩住，降低置物料架上滞留的液体滴落在机台上的风险，减少对机台的污染。
29.2、本发明通过设置混液桶、正向搅动组件、变向组件、反向搅动组件等结构，正向搅拌杆在外圈转动，反向搅拌杆在外圈转动，正向搅拌杆和反向搅拌杆的转动方向相反，并且正向搅拌杆和反向搅拌杆还能够自转，增强对混液桶内混合药液的搅拌效果，从而增强浸泡槽内混合药液的清洁效果。
附图说明
30.图1是本发明一种清洗机实施例的结构示意图；
31.图2是本发明图1的剖视图；
32.图3是本发明中防护罩的结构示意图；
33.图4是本发明图2中混液机构的放大示意图；
34.图5是本发明图4中a处放大示意图；
35.其中，100、机台；101、支撑柱；102、悬挂架；103、取放区；104、浸泡槽；105、刷洗槽；106、甩干槽；200、夹具；201、抵杆；301、安装板；302、丝杠；303、滑块；304、第一电机；305、滑移槽；306、气缸；307、连接板；400、防护罩；401、铰接部；402、抵板；403、第一围板；404、第二围板；405、第三围板；406、导水沟槽；407、排水管；408、密封垫；409、侧围板；410、阻水板；411、阻水沟槽；500、弹性抵触件；501、外套杆；502、内杆；503、弹簧；600、混液机构；601、混液桶；602、输液管道；603、输液泵；604、正向转动杆；605、第二电机；606、正向连接臂；607、
正向搅拌杆；608、正向搅拌叶片；609、反向转动杆；610、反向连接臂；611、反向搅拌杆；612、反向搅拌叶片；613、安装壳体；614、固定杆；615、第一锥齿轮；616、第二锥齿轮；617、转轴；618、第三锥齿轮；619、正向齿轮；620、正向环形齿条；621、反向齿轮；622、反向环形齿条。
具体实施方式
36.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
37.如图1-图5所示，本发明的一种清洗机，包括机台100，机台100上侧的四个角上固定有四根支撑柱101，四根支撑柱101的上端共同固定有悬挂架102。机台100上从左至右依次设置有取放区103、浸泡槽104、刷洗槽105和甩干槽106。取放区103用于放置置物料架；浸泡槽104内装有混合药液，用于浸泡置物料架中的晶圆；刷洗槽105内安装有刷洗设备，用于刷洗置物料架、卡塞、晶圆盒以及晶圆；甩干槽106内安装有甩干设备，用于干燥置物料架、卡塞、晶圆盒以及晶圆。此外，浸泡槽104、刷洗槽105和甩干槽106均连通有废液收集系统。悬挂架102上安装有夹具200和运动机构，夹具200能够夹持置物料架，其工作原理和结构均为现有技术，不再赘述；而运动机构用于带动夹具200变换位置，从而带动置物料架在机台100上流动。
38.运动机构包括安装板301、横移组件和垂直移动件。其中，夹具200安装在垂直移动件上，垂直移动件带动夹具200在垂直方向上移动。垂直移动件安装在安装板301上，安装板301安装在横移组件上，横移组件带动安装板301、垂直移动件和夹具200在水平方向上移动。
39.具体的，横移组件包括丝杠302、滑块303和第一电机304，悬挂架102的底侧具有横向设置的滑移槽305，丝杠302通过轴承转动安装在滑移槽305内。第一电机304固定在悬挂架102的底侧，第一电机304的输出轴通过联轴器与丝杠302的左端固定，通过第一电机304带动丝杠302转动。滑块303滑动安装在滑移槽305内，并且与丝杠302螺纹连接。滑块303的下端延伸至滑移槽305外，并与安装板301固定。垂直移动件具体为气缸306，气缸306远离输出轴一端固定在安装板301的底侧，气缸306的输出轴一端与夹具200固定。当需要控制夹具200在垂直方向上移动时，可以通过控制气缸306实现夹具200的竖直移动；当需要控制夹具200在水平方向上移动时，可以控制第一电机304正向或者反向转动，然后带动丝杠302转动，再通过滑块303、安装板301和气缸306，带动夹具200在水平方向上移动。
40.安装板301的底侧固定有两个向下延伸的连接板307，两个连接板307对称设置在气缸306的左右两侧，两个连接板307的下端均安装有防护罩400，两个防护罩400也对称设置在气缸306的左右两侧。防护罩400的上端固定有铰接部401，防护罩400通过该铰接部401与连接板307的下端铰接。
41.两个防护罩400相对的一侧为敞口结构，防护罩400包括依次相连且一体成型的抵板402、第一围板403、第二围板404和第三围板405，并且抵板402、第一围板403、第二围板404和第三围板405的前后两侧均固定有侧围板409。其中，抵板402与第一围板403倾斜设置，而铰接部401固定在抵板402与第一围板403的连接部位。第一围板403与第二围板404倾
斜设置。第二围板404与第三围板405也倾斜设置，第三围板405和第二围板404之间形成导水沟槽406，防护罩400外安装有与导水沟槽406连通的排液管。
42.两个防护罩400能够相互合并和远离，当两个防护罩400靠拢合并后，能够将夹具200和置物料架罩住，降低置物料架上滞留的液体污染机台100的风险；当两个防护罩400分离后，夹具200和置物料架便能够顺利地在垂直方向上移动。
43.为了实现两个防护罩400的合并，夹具200的上侧固定有两个左右对称设置的抵杆201，两根抵杆201分别作用于两个防护罩400的抵板402。两根抵杆201分别位于两个防护罩400的抵板402的下侧，当气缸306带动夹具200往上侧移动时，抵杆201的上端能够抵触抵板402的下侧面，使得整个防护罩400围绕其铰接中心转动，直到两个防护罩400相互靠拢合并，将夹具200和置物料架罩住，置物料架上滞留的液体能够滴落到导水沟槽406内，并通过排液管排至外部，从而降低置物料架上滞留的液体污染机台100的风险。
44.此外，防护罩400的敞口端固定有密封垫408，当两个防护罩400合并靠拢后，两个防护罩400的密封垫408能够相互抵靠在一起，对两个防护罩400的连接部位起到一定的密封作用，降低液体从两个防护罩400的连接部位漏出的风险。
45.为了实现两个防护罩400的分离，安装板301的底侧安装有两个弹性抵触件500，两个弹性抵触件500对称设置在气缸306的左右两侧，两个弹性抵触件500分别作用与两个防护罩400的抵板402，并位于抵板402的上侧。具体的，弹性抵触件500包括外套杆501、内杆502和弹簧503，外套杆501为内部中空、下端敞口的套杆，外套杆501的上端固定在安装板301的底侧。内杆502滑动安装在外套杆501内，内杆502的下端延伸至外套杆501外，并抵靠在抵板402的上侧面上。弹簧503安装在外套杆501内，弹簧503的上端与外套杆501的顶端固定，弹簧503的下端与内杆502的上端固定。当气缸306带动夹具200下降时，抵杆201不再抵触抵板402，此时，内杆502受到弹簧503的弹力，推动防护罩400围绕其铰接中心旋转，从而使得两个防护罩400分离。
46.当两个防护罩400分离后，如果导水沟槽406内的液体未完全排出，导水沟槽406内剩下液体可能会滴落至机台100上。为了解决这个问题，第三围板405远离第二围板404的一端固定有阻水板410，阻水板410与第三围板405倾斜设置，阻水板410与第三围板405之间形成阻水沟槽411。当两个防护罩400分离后，导水沟槽406内剩下的液体受到阻水板410的阻挡，只能回流到阻水沟槽411内，而不会流至防护罩400外侧，进一步降低机台100受到污染的风险。
47.机台100的内部安装有混液机构600，混液机构600与浸泡槽104连通，为浸泡槽104输送混合药液。具体的，混液机构600包括混液桶601，混液桶601与外部的多个输液装置连通，不同的输液装置分别向混液桶601内输送不同的药液。混液桶601与浸泡槽104之间连通有输液管道602，输液管道602上安装有输液泵603，通过输液泵603和输液管道602，将混液桶601内的混合药液输送至浸泡槽104内。
48.混液桶601内安装有正向搅动组件、变向组件、反向搅动组件和第二电机605。正向搅动组件包括正向转动杆604，正向转动杆604转动安装在混液桶601内的上侧。第二电机605固定在混液桶601内的顶部，第二电机605的输出轴通过联轴器与正向转动杆604的上端固定。正向转动杆604上固定有正向连接臂606，正向连接臂606远离正向转动杆604的一端安装有正向搅拌杆607，正向搅拌杆607上固定有四个正向搅拌叶片608，四个正向搅拌叶片
608呈圆周阵列结构分布在正向搅拌杆607的侧壁上。
49.反向搅动组件包括反向转动杆609，反向转动杆609转动安装在混液桶601内的底侧，并且反向转动杆609与正向转动杆604同轴设置。反向转动杆609上固定有反向连接臂610，反向连接臂610的臂长比正向连接臂606的臂长短，反向连接臂610远离反向转动杆609的一端安装有反向搅拌杆611，反向搅拌杆611上固定有四个反向搅拌叶片612，四个反向搅拌叶片612呈圆周阵列结构分布在反向搅拌杆611的侧壁上。由于反向连接臂610的臂长短于正向连接臂606的臂长，因此，正向搅拌杆607转动所形成的圆的直径要大于反向搅拌杆611转动所形成的圆的直径。可以理解为，正向搅拌杆607在外圈转动，反向搅拌杆611在外圈转动。
50.变向组件包括安装壳体613，安装壳体613的左右两侧均固定有l形结构的固定杆614，固定杆614远离安装壳体613的一端固定在混液桶601内的底侧，固定杆614的位置不影响正向搅拌杆607和反向搅拌杆611的运动。正向转动杆604的下端延伸至安装壳体613内，并固定有第一锥齿轮615。反向转动杆609的上端延伸至安装壳体613内，并固定有第二锥齿轮616。安装壳体613内转动安装有转轴617，转轴617上固定有第三锥齿轮618，第三锥齿轮618位于第一锥齿轮615和第二锥齿轮616之间，并与第一锥齿轮615和第二锥齿轮616相互啮合。通过第一锥齿轮615、第二锥齿轮616和第三锥齿轮618的相互配合，实现正向转动杆604和反向转动杆609的转动方向相反，从而使得正向搅拌杆607和反向搅拌杆611的运动方向相反，增强对混液桶601内的药液的搅拌效果。
51.为了进一步增强搅拌效果，正向搅拌杆607通过轴承转动安装在正向连接臂606上，正向搅拌杆607上固定有正向齿轮619，混液桶601的内侧壁上固定有正向环形齿条620，正向齿轮619与正向环形齿条620相互啮合，当正向搅拌杆607围绕正向转动杆604旋转时，正向搅拌杆607能够自转，使得正向搅拌杆607上的正向搅拌叶片608围绕正向搅拌杆607转动，增强搅拌效果。
52.反向搅拌杆611通过轴承转动安装在反向连接臂610上，反向搅拌杆611上固定有反向齿轮621，两根固定杆614上固定有反向环形齿条622，反向齿轮621与反向环形齿条622相互啮合，当反向搅拌杆611围绕反向转动杆609旋转时，反向搅拌杆611能够自转，使得反向搅拌杆611上的反向搅拌叶片612围绕反向搅拌杆611转动，增强搅拌效果。
53.以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。本发明未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。
技术特征：1.一种清洗机，包括机台和固定在机台上侧的悬挂架，所述机台上依次设置有取放区、浸泡槽、刷洗槽和甩干槽，所述悬挂架上安装有用于夹持置物料架的夹具以及带动夹具变换位置的运动机构，其特征在于，所述运动机构包括安装板、带动安装板横向移动的横移组件以及固定在安装板底侧的垂直移动件，所述夹具安装在垂直移动件上；所述安装板上铰接有两个对称设置的防护罩，所述夹具上固定有两个分别用于抵触两个防护罩并使两个防护罩相互靠拢合并的抵杆，两个所述防护罩靠拢合并后能够将夹具和置物料架罩住，所述安装板上安装有两个分别用于抵触两个防护罩并使两个防护罩相互分离的弹性抵触件。2.根据权利要求1所述的一种清洗机，其特征在于，所述横移组件包括丝杠、滑块和第一电机，所述悬挂架的底侧具有横向设置的滑移槽，所述丝杠转动安装在滑移槽内，所述第一电机固定在悬挂架的底侧，所述第一电机的输出轴与丝杠的一端固定，所述滑块滑动安装在滑移槽内，并与丝杠螺纹连接，所述滑块的下端延伸至滑移槽外并与安装板固定。3.根据权利要求2所述的一种清洗机，其特征在于，所述垂直移动件为气缸，所述气缸远离输出轴一端固定在安装板的底侧，所述气缸的输出轴一端与夹具固定。4.根据权利要求3所述的一种清洗机，其特征在于，所述安装板上于气缸的两侧分别固定有向下延伸的连接板，两个所述防护罩上均固定有铰接部，两个所述铰接部分别铰接在连接板的下端。5.根据权利要求4所述的一种清洗机，其特征在于，两个所述防护罩相对的一侧为敞口结构，所述防护罩的敞口端固定有密封垫；所述防护罩包括依次相连的抵板、第一围板、第二围板和第三围板，且所述抵板、第一围板、第二围板和第三围板的前后两侧均固定有侧围板，所述抵板位于抵杆和弹性抵触件之间，所述第三围板倾斜于第二围板设置，所述第三围板和第二围板之间形成导水沟槽，所述防护罩外安装有与导水沟槽连通的排液管。6.根据权利要求5所述的一种清洗机，其特征在于，所述第三围板远离第二围板的一端固定有阻水板，所述阻水板与第三围板倾斜设置，所述阻水板与第三围板之间形成阻水沟槽。7.根据权利要求6所述的一种清洗机，其特征在于，所述弹性抵触件包括外套杆、内杆和弹簧，所述外套杆固定在安装板的底侧，所述内杆滑动安装在外套杆内，且所述内杆的下端延伸至外套杆外并抵靠在抵板上，所述弹簧安装在外套杆内，所述弹簧的一端与外套杆固定，所述弹簧的另一端与内杆的上端固定。8.根据权利要求1-7任一项所述的一种清洗机，其特征在于，所述机台内安装有混液机构，所述混液机构与浸泡槽连通，为浸泡槽输送液体。9.根据权利要求8所述的一种清洗机，其特征在于，所述混液机构包括混液桶，所述混液桶内安装有正向搅动组件、变向组件、反向搅动组件和第二电机；所述正向搅动组件包括转动安装在混液桶内上侧的正向转动杆，所述正向转动杆的上端与第二电机的输出轴固定，所述正向转动杆上固定有正向连接臂，所述正向连接臂远离正向转动杆的一端安装有正向搅拌杆，所述正向搅拌杆上固定有多个正向搅拌叶片；所述反向搅动组件包括转动安装在混液桶内下侧的反向转动杆，所述反向转动杆上固定有反向连接臂，所述反向连接臂的臂长比正向连接臂的臂长短，所述反向连接臂远离反向转动杆的一端安装有反向搅拌杆，所述反向搅拌杆上固定有多个反向搅拌叶片；所述变向组件包括安装壳体，所述安装壳体的两侧均固定有固定杆，所述固定杆远离安装壳体的一端固定在混液桶内的底侧，所述
正向转动杆的下端延伸至安装壳体内并固定有第一锥齿轮，所述反向转动杆的上端延伸至安装壳体内并固定有第二锥齿轮，所述安装壳体内转动安装有转轴，所述转轴上固定有第三锥齿轮，所述第三锥齿轮位于第一锥齿轮和第二锥齿轮之间，并与第一锥齿轮和第二锥齿轮相互啮合。10.根据权利要求9所述的一种清洗机，其特征在于，所述正向搅拌杆转动安装在正向连接臂上，所述正向搅拌杆上固定有正向齿轮，所述混液桶的内侧壁上固定有正向环形齿条，所述正向齿轮与正向环形齿条相互啮合；所述反向搅拌杆转动安装在反向连接臂上，所述反向搅拌杆上固定有反向齿轮，所述固定杆上固定有反向环形齿条，所述反向齿轮与反向环形齿条相互啮合。
技术总结本发明涉及清洗设备领域，公开了一种清洗机，包括机台和固定在机台上侧的悬挂架，机台上依次设置有取放区、浸泡槽、刷洗槽和甩干槽，悬挂架上安装有用于夹持置物料架的夹具以及带动夹具变换位置的运动机构，运动机构包括安装板、带动安装板横向移动的横移组件以及固定在安装板底侧的垂直移动件，夹具安装在垂直移动件上；安装板上铰接有两个对称设置的防护罩，夹具上固定有两个分别用于抵触两个防护罩并使两个防护罩相互靠拢合并的抵杆，两个防护罩靠拢合并后能够将夹具和置物料架罩住。本发明通过设置防护罩，降低置物料架上滞留的液体滴落在机台上的风险，减少对机台的污染；通过设置混液机构，增强混合药液的均匀性，提高混合药液的清洁效果。合药液的清洁效果。合药液的清洁效果。
技术研发人员：金龙 王凤玲 雷彪 冯永明 王敬
受保护的技术使用者：威科赛乐微电子股份有限公司
技术研发日：2022.07.14
技术公布日：2022/11/1
