1.本发明涉及一种疲劳试验装置，具体涉及一种微压传感器疲劳试验装置。
背景技术：2.在过去的几十年里，微压传感器在医疗设备、气象、军事、汽车电子等领域得到了愈来愈多的应用，例如，可以直接测量血管中压力流量的医用传感器。但在国内的mems领域中，微压传感器的测量范围大部分都还不是非常理想，所以研究更低测量范围(0pa～500pa)的微压传感器是非常必要的，以供市场需求。同时，微压传感器在军事领域的应用也越来越多，但是也要求微压传感器具备较高的可靠性。
3.其中，疲劳试验是检验微压传感器的有效手段，可以获得微压传感器在交变过载载荷作用下的疲劳强度，进而可以有效对微压传感器的疲劳极限进行评估。
4.但是，现有的压力传感器疲劳试验机不能达到(0～500)pa的表压范围，存在无法对微压传感器进行疲劳试验的问题。
技术实现要素：5.本发明的目的是为了解决现有的压力传感器疲劳试验机不能达到微压试验范围，存在无法对微压传感器进行疲劳试验的问题。进而提供一种微压传感器疲劳试验装置。
6.本发明的技术方案是：一种微压传感器疲劳试验装置包括均压容器、试验主管路、试验主路针阀、通断计数电磁阀、压力监测组件和多个试验支路，试验主管路安装在均压容器的出气侧，试验主路针阀和通断计数电磁阀由上至下依次安装在试验主管路上，压力监测组件安装在试验主管路上，多个试验支路并排安装在试验主管路的末端，每个试验支路上安装有一个待试验压力传感器。
7.进一步地，它还包括进气管路和多个均压容器出气口，均压容器的上部开设有进气口，进气管路安装在均压容器的进气口上，多个均压容器出气口安装在均压容器的四周。
8.进一步地，压力监测组件包括第一三通管、释压电磁阀、压力表弯、监测压力表、第二三通管和监测支路，第一三通管安装在试验主管路上，监测支路并联在第一三通管上，第二三通管串联在监测支路上，释压电磁阀安装在监测支路的端部，压力表弯安装在第二三通管上，监测压力表安装在释压电磁阀上。
9.进一步地，它还包括分压四通和两个分压支路，分压四通安装在试验主管路的末端，两个分压支路分别安装在分压四通的左右两端。
10.进一步地，每个试验支路均包括支路分管、试验支路针阀和多个试验接口，支路分管竖直安装在一个分压支路上，试验支路针阀和多个试验接口竖直安装在支路分管上，待试验压力传感器安装在试验接口上。
11.进一步地，试验支路的数量为3-20个。
12.进一步地，试验接口的数量为3-10个。
13.进一步地，每个试验支路还包括多个接口三通，每个试验接口通过一个接口三通
安装在支路分管上。
14.本发明与现有技术相比具有以下效果：
15.1、本发明的供压设备将具有一定压力的气体接入均压容器，在均压容器内充分混合并达到稳定状态，使均压容器内各处压力值保持一致；打开试验主路针阀，气体流入通断计数电磁阀，此时，打开通断计数电子阀，气体通过三通流入试验路与监测路，在监测路气体通过压力表弯流入监测压力表，实时监测整个管路中的压力值；待压力值达到疲劳试验所需的压力值时，打开各个试验支路的试验支路针阀，对被测传感器施加压力，待一定时间，系统内部压力稳定后，关闭通断计数电磁阀，打开释压电磁阀，通入大气，完成被测微压传感器的一次疲劳压力循环。以此循环，实现压力传感器的反复疲劳试验。供压设备以及针阀处于常开状态，通过通断计数电磁阀与释压电磁发交替通断，实现疲劳试验的自动进行。
16.2、本发明能够实现微压(指压力在0～500pa)下对压力传感器进行疲劳试验，进而能够准确的对微压传感器的疲劳极限进行评估。
附图说明
17.图1是本发明的整体结构示意图。
具体实施方式
18.具体实施方式一：结合图1说明本实施方式，本实施方式的一种微压传感器疲劳试验装置包括均压容器2、试验主管路20、试验主路针阀11、通断计数电磁阀10、压力监测组件和多个试验支路，试验主管路20安装在均压容器2的出气侧，试验主路针阀11和通断计数电磁阀10由上至下依次安装在试验主管路20上，压力监测组件安装在试验主管路20上，多个试验支路并排安装在试验主管路20的末端，每个试验支路上安装有一个待试验压力传感器。
19.本实施方式的疲劳试验装置结构简单，易操作，运行稳定、可靠。
20.具体实施方式二：结合图1说明本实施方式，本实施方式还包括进气管路13和多个均压容器出气口12，均压容器2的上部开设有进气口1，进气管路13安装在均压容器2的进气口1上，多个均压容器出气口12安装在均压容器2的四周。
21.如此设置，便于将外置的设备气体引进到均压容器2内，多个均压容器出气口12用于对均压容器2的泄压和排气。其它组成和连接关系与具体实施方式一相同。
22.具体实施方式三：结合图1说明本实施方式，本实施方式的压力监测组件包括第一三通管21、释压电磁阀5、压力表弯4、监测压力表3、第二三通管22和监测支路23，第一三通管21安装在试验主管路20上，监测支路23并联在第一三通管21上，第二三通管22串联在监测支路23上，释压电磁阀5安装在监测支路23的端部，压力表弯4安装在第二三通管22上，监测压力表3安装在释压电磁阀5上。如此设置，压力表弯用于缓解管路中的气体冲击力，释压电磁阀5用于泄压。其它组成和连接关系与具体实施方式一或二相同。
23.具体实施方式四：结合图1说明本实施方式，本实施方式还包括分压四通9和两个分压支路24，分压四通9安装在试验主管路20的末端，两个分压支路24分别安装在分压四通9的左右两端。如此设置，便于与多个试验支路连接。其它组成和连接关系与具体实施方式一、二或三相同。
24.具体实施方式五：结合图1说明本实施方式，本实施方式的每个试验支路均包括支路分管25、试验支路针阀7和多个试验接口8，支路分管25竖直安装在一个分压支路24上，试验支路针阀7和多个试验接口8竖直安装在支路分管25上，待试验压力传感器安装在试验接口8上。如此设置，便于在终端与压力传感器连接，进而实现微压疲劳试验。其它组成和连接关系与具体实施方式一、二、三或四相同。
25.具体实施方式六：结合图1说明本实施方式，本实施方式的试验支路的数量为3-20个。如此设置，为了试验的准确性，对多个压力传感器进行疲劳试验，进而保证对压力传感器性能研究的权威性和代表性。其它组成和连接关系与具体实施方式一、二、三、四或五相同。
26.具体实施方式七：结合图1说明本实施方式，本实施方式试验接口8的数量为3-10个。如此设置，便于根据实际情况，选择一定数量的试验接口。其它组成和连接关系与具体实施方式一、二、三、四、五或六相同。
27.具体实施方式八：结合图1说明本实施方式，本实施方式的每个试验支路还包括多个接口三通26，每个试验接口8通过一个接口三通26安装在支路分管25上。如此设置，连接简单，方便。其它组成和连接关系与具体实施方式一、二、三、四、五、六或七相同。
28.结合图1说明本发明的试验原理：
29.步骤一：进气管路13与均压容器进气口1相连接，均压容器出气口12通过管路与试验主路针阀11相连接，另一侧与通断计数电磁阀10通过管路相连接；进气口及供压设备相连，为装置提供气压源，此时，通断计数电磁阀10处于关闭状态，均压容器2提供使供压设备提供的气压充分混合并达到稳定状态，并使均压容器2内各处压力值保持一致；
30.步骤二：通断计数电磁阀10另一侧连接三通，分出试验路与监测路；同时，监测路再次接入三通，分出释压支路与监测支路，释压支路连接释压电磁阀5，监测支路连接压力表弯4，压力表弯4另一侧通过管路连接监测压力表3；监测支路用于实时监测装置内部的气压值；
31.步骤三：试验路另一侧接入分压四通9，分为若干试验支路6，试验支路6可以通过实际情况添加或者减少，每条试验支路6在连接被测微压传感器前端，均接入一个试验支路针阀7，被测微压传感器与试验支路6上的试验接口8连接，连接方式与微压传感器接口相匹配；试验路用于进行被测传感器的疲劳试验；
32.步骤四：打开供压设备，为装置供压，堵住不用的均压容器出气口12，打开试验主路针阀11，气体流入通断计数电磁阀10，此时，打开通断计数电磁阀10，气体通过三通流入试验路与监测路，在监测路气体通过压力表弯4流入监测压力表3，实时监测整个管路中的压力值；待压力值达到疲劳试验所需的压力值时，打开各个试验支路6的试验支路针阀7，对被测传感器施加压力，待一定时间，系统内部压力稳定后，关闭通断计数电磁阀10，打开释压电磁阀5，通入大气，完成一次疲劳压力循环；供压设备以及各使用的针阀处于常开状态，通过通断计数电磁阀10与释压电磁阀5交替通断，实现疲劳试验的自动进行。
33.虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明的，本领域技术人员还可以在本发明精神内做其他变化，以及应用到本发明未提及的领域中，当然，这些依据本发明精神所做的变化都应包含在本发明所要求保护的范围内。
技术特征：1.一种微压传感器疲劳试验装置，其特征在于：它包括均压容器(2)、试验主管路(20)、试验主路针阀(11)、通断计数电磁阀(10)、压力监测组件和多个试验支路，试验主管路(20)安装在均压容器(2)的出气侧，试验主路针阀(11)和通断计数电磁阀(10)由上至下依次安装在试验主管路(20)上，压力监测组件安装在试验主管路(20)上，多个试验支路并排安装在试验主管路(20)的末端，每个试验支路上安装有一个待试验压力传感器。2.根据权利要求1所述的一种微压传感器疲劳试验装置，其特征在于：它还包括进气管路(13)和多个均压容器出气口(12)，均压容器(2)的上部开设有进气口(1)，进气管路(13)安装在均压容器(2)的进气口(1)上，多个均压容器出气口(12)安装在均压容器(2)的四周。3.根据权利要求2所述的一种微压传感器疲劳试验装置，其特征在于：压力监测组件包括第一三通管(21)、释压电磁阀(5)、压力表弯(4)、监测压力表(3)、第二三通管(22)和监测支路(23)，第一三通管(21)安装在试验主管路(20)上，监测支路(23)并联在第一三通管(21)上，第二三通管(22)串联在监测支路(23)上，释压电磁阀(5)安装在监测支路(23)的端部，压力表弯(4)安装在第二三通管(22)上，监测压力表(3)安装在释压电磁阀(5)上。4.根据权利要求3所述的一种微压传感器疲劳试验装置，其特征在于：它还包括分压四通(9)和两个分压支路(24)，分压四通(9)安装在试验主管路(20)的末端，两个分压支路(24)分别安装在分压四通(9)的左右两端。5.根据权利要求4所述的一种微压传感器疲劳试验装置，其特征在于：每个试验支路均包括支路分管(25)、试验支路针阀(7)和多个试验接口(8)，支路分管(25)竖直安装在一个分压支路(24)上，试验支路针阀(7)和多个试验接口(8)竖直安装在支路分管(25)上，待试验压力传感器安装在试验接口(8)上。6.根据权利要求1或5所述的一种微压传感器疲劳试验装置，其特征在于：试验支路的数量为3-20个。7.根据权利要求5所述的一种微压传感器疲劳试验装置，其特征在于：试验接口(8)的数量为3-10个。8.根据权利要求7所述的一种微压传感器疲劳试验装置，其特征在于：每个试验支路还包括多个接口三通(26)，每个试验接口(8)通过一个接口三通(26)安装在支路分管(25)上。
技术总结一种微压传感器疲劳试验装置，它涉及一种疲劳试验装置。本发明为了解决现有的压力传感器疲劳试验机不能达到微压试验范围，存在无法对微压传感器进行疲劳试验的问题。本发明包括均压容器(2)、试验主管路(20)、试验主路针阀(11)、通断计数电磁阀(10)、压力监测组件和多个试验支路，试验主管路(20)安装在均压容器(2)的出气侧，试验主路针阀(11)和通断计数电磁阀(10)由上至下依次安装在试验主管路(20)上，压力监测组件安装在试验主管路(20)上，多个试验支路并排安装在试验主管路(20)的末端，每个试验支路上安装有一个待试验压力传感器。本发明用于微压传感器疲劳试验。本发明用于微压传感器疲劳试验。本发明用于微压传感器疲劳试验。
技术研发人员：尹延昭 周志炜 陈宝成 师亮 咸婉婷 王元委
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第四十九研究所
技术研发日：2022.07.25
技术公布日：2022/11/1
