本发明涉及坩埚气密性检漏,具体为一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构。
背景技术:
1、坩埚是指化学实验所使用的一种器皿,用于对内部承载的物体进行高温加热,而运用在蒸镀机中的坩埚主要作用是为了保护正在蒸镀的材料,使其处于惰性环境中,从而达到降低氧化反应的目的,而在蒸镀操作时又需要处于真空状态,即表明所使用的坩埚蒸镀机需要在生产以及装配时检测其气密效果;
2、公开号cn111676453a公开的蒸镀坩埚,提供的蒸镀坩埚包括坩埚本体和盖板,通过将盖板和坩埚本体的连接耳设置为具有磁性的结构,利用盖板与连接耳的磁吸配合,增加盖板和连接耳之间的气密性,防止连接耳与盖板件间形成缝隙,减少蒸气泄露,提升显示效果;
3、公开号cn213364163u公开的蒸镀机的多重漏气检测管,采用多个连接管与多个检测腔一一对应连接,避免了检测过程中频繁地安装及拆卸连接管,方便了多重漏气检测管的使用,提升了气密性检测的检测效率,由于连接管与检测腔为密封连接,本体与气体检测器为密封连接,保证了多重漏气检测管与检测腔及气体检测器的连接密封性,提升了气密性检测的准确度;
4、但是上述公开的蒸镀机坩埚气密性检测机构在实际使用过程中,因蒸镀机与坩埚在不同使用场景与需求下,其规格存在较大差异,同时所需使用的真空管路也存在不同,因此难以通过单种检测机构实现检测需求,同时现有的检测机构使用较为繁琐,需要使用者频繁辅助操作,进而影响气密性检测的便捷性以及检测效率。
5、所以我们提出了一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,以便于解决上述中提出的问题。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,为解决现有的蒸镀机与坩埚在不同使用场景与需求下,其规格存在较大差异,同时所需使用的真空管路也存在不同,因此难以通过单种检测机构实现检测需求,同时现有的检测机构使用较为繁琐,需要使用者频繁辅助操作,进而影响气密性检测的便捷性以及检测效率的问题。
2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,包括检漏装置,以及开设于检漏装置内部的检漏腔体,且检漏装置的顶面后方铰接连接于密封盖板的底端;
3、还包括:所述检漏装置内部检漏腔体的后方与左右两侧均等距离贯通连接于检漏连接管的外端,且通过等距离设置的检漏连接管用于适配不同规格的蒸镀机坩埚的连接;
4、其中,检漏装置内部的检漏腔体中设置有定位机构,且定位机构包含有定位平台,并且定位平台的内部中心固定安装有定位支架;
5、其中,检漏装置内部的检漏腔体中设置有托举机构,且托举机构包含有托举底板,并且托举底板固定安装于检漏装置的内部底面中心位置处。
6、优选的,所述检漏装置的外部上方左右两侧均固定连接于液压伸缩杆的底端,且左右两侧液压伸缩杆的顶端铰接连接于密封盖板的左右两端,并且通过翻转密封盖板的翻转实现针对检漏装置的开启与闭合,而且检漏装置的后方用于连接真空机以便实现检漏。
7、优选的,所述定位机构包含有导向滑杆,且导向滑杆等角度固定安装于定位平台的内部,并且等角度设置的导向滑杆的内端均固定连接于定位支架的外部,而且定位支架的内部通过轴承转动设置有传动转轴,同时定位支架底面传动转轴的外壁卷绕连接于牵引钢索的上端。
8、优选的,所述定位机构包含有定位滑座,且定位滑座通过复位弹簧滑动设置于导向滑杆的外壁,并且等角度设置的定位滑座的顶面弹性滑动有定位滑板,而且通过定位滑座及其顶面弹性连接的定位滑板针对不同规格的坩埚进行定位。
9、优选的,所述定位机构包含的定位支架顶面传动转轴的外壁卷绕连接于导向钢索的内端,且导向钢索的外端固定连接于等角度设置的定位滑座的内端,并且通过传动转轴将导向钢索收卷之后,以便将连接的定位滑座带动向内进行移动。
10、优选的,所述托举机构包含的托举底板的内部中心位置处通过扭簧转动连接于收卷转轴的外端,且收卷转轴的外壁卷绕连接于定位机构包含的牵引钢索的底端,并且托举底板的底面左右两侧均通过轴承转动设置有双向螺纹杆,而且左右两侧双向螺纹杆的前后两侧外壁均螺纹连接于铰接翻转杆的底端。
11、优选的,所述托举机构包含有弹性伸缩杆,且弹性伸缩杆呈前后对称的方式铰接连接于托举底板的内部左右两侧,并且对称设置的弹性伸缩杆的顶端与铰接翻转杆的顶端均铰接设置于托举底板的底面,而且对称设置的弹性伸缩杆与铰接翻转杆之间呈方向相反的方式错位分布。
12、优选的,所述托举机构包含有驱动转轴,且驱动转轴通过轴承转动设置于检漏装置内部后方的左右两侧,并且左右两侧驱动转轴的底端通过锥齿组啮合连接于对称设置的双向螺纹杆的后端,而且左右两侧驱动转轴的外壁开设螺旋导槽。
13、优选的,所述托举机构包含有螺旋套筒,且螺旋套筒通过抵触弹簧滑动卡合设置于检漏装置内部后方的左右两侧,并且螺旋套筒与驱动转轴外壁开设的螺旋导槽之间相互连接,而且左右两侧螺旋套筒的顶端贴合设置于密封盖板的底面。
14、与现有技术相比,本发明的有益效果是:该一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,通过检漏装置内部的检漏连接管适配不同规格型号的蒸镀机与坩埚,并通过托举机构带动蒸镀机下降至检漏腔体的内部下方之后,通过定位机构实现针对蒸镀机的限位固定,以便提升蒸镀机气密性检测的便捷性以及效率,其具体内容如下:
15、1.通过密封盖板并将其向上方进行翻转,同时检漏装置内部检漏腔体的托举机构在密封盖板翻转之后进行工作,使得托举机构带动定位机构将定位平台带动向上移动,以便使定位平台处于检漏腔体的最上方,以便将蒸镀机与坩埚进行承载;
16、将设置于检漏腔体内部与蒸镀机与坩埚适配的检漏连接管进行连接,以便进行不同规格型号的适配,同时将真空机与检漏装置进行连接,确保在后续真空检漏过程中的准确性;
17、2.通过密封盖板向下翻转的过程中抵触下方左右两侧滑动卡合的螺旋套筒挤压抵触弹簧之间向下滑动,使得与螺旋套筒通过螺旋导槽连接的驱动转轴进行旋转,以便由驱动转轴通过底端的锥齿组带动啮合连接的双向螺纹杆同步旋转;
18、进一步的,双向螺纹杆带动铰接翻转杆同步向外侧翻转,使得铰接翻转杆带动顶端铰接的定位平台向下滑动,同时定位平台底面对称铰接的弹性伸缩杆同步进行翻转收缩,进而支撑在定位平台的底面进行支撑,防止定位平台与其顶面的蒸镀机以及坩埚发生倾斜碰撞;
19、3.定位平台带动内部的定位支架与传动转轴缩短与托举底板之间的距离,托举底板内部通过扭簧连接的收卷转轴进行旋转,以便将牵引钢索进行收卷,同时牵引钢索在收卷之后又带动其上端卷绕的传动转轴进行旋转,而后传动转轴将其上方外壁固定连接的导向钢索进行收卷;
20、进一步的,导向钢索带动其外端固定连接的定位滑座进行滑动,定位滑座上方的定位滑板首先与蒸镀机的底座进行接触,使得不同规格的蒸镀机能够通过定位滑座与弹性连接的定位滑板进行同步适配,达到夹持定位保证蒸镀机的稳定性,以便提升蒸镀机气密性检测的便捷性以及效率。
1.一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,包括检漏装置(1),以及开设于检漏装置(1)内部的检漏腔体(2),且检漏装置(1)的顶面后方铰接连接于密封盖板(3)的底端;
2.根据权利要求1所述的一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,其特征在于:所述检漏装置(1)的外部上方左右两侧均固定连接于液压伸缩杆(8)的底端,且左右两侧液压伸缩杆(8)的顶端铰接连接于密封盖板(3)的左右两端,并且通过翻转密封盖板(3)的翻转实现针对检漏装置(1)的开启与闭合,而且检漏装置(1)的后方用于连接真空机以便实现检漏。
3.根据权利要求1所述的一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,其特征在于:所述定位机构包含有导向滑杆(9),且导向滑杆(9)等角度固定安装于定位平台(5)的内部,并且等角度设置的导向滑杆(9)的内端均固定连接于定位支架(6)的外部,而且定位支架(6)的内部通过轴承转动设置有传动转轴(10),同时定位支架(6)底面传动转轴(10)的外壁卷绕连接于牵引钢索(11)的上端。
4.根据权利要求3所述的一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,其特征在于:所述定位机构包含有定位滑座(12),且定位滑座(12)通过复位弹簧(13)滑动设置于导向滑杆(9)的外壁,并且等角度设置的定位滑座(12)的顶面弹性滑动有定位滑板(14),而且通过定位滑座(12)及其顶面弹性连接的定位滑板(14)针对不同规格的坩埚进行定位。
5.根据权利要求4所述的一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,其特征在于:所述定位机构包含的定位支架(6)顶面传动转轴(10)的外壁卷绕连接于导向钢索(15)的内端,且导向钢索(15)的外端固定连接于等角度设置的定位滑座(12)的内端,并且通过传动转轴(10)将导向钢索(15)收卷之后,以便将连接的定位滑座(12)带动向内进行移动。
6.根据权利要求1所述的一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,其特征在于:所述托举机构包含的托举底板(7)的内部中心位置处通过扭簧转动连接于收卷转轴(16)的外端,且收卷转轴(16)的外壁卷绕连接于定位机构包含的牵引钢索(11)的底端,并且托举底板(7)的底面左右两侧均通过轴承转动设置有双向螺纹杆(17),而且左右两侧双向螺纹杆(17)的前后两侧外壁均螺纹连接于铰接翻转杆(18)的底端。
7.根据权利要求6所述的一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,其特征在于:所述托举机构包含有弹性伸缩杆(19),且弹性伸缩杆(19)呈前后对称的方式铰接连接于托举底板(7)的内部左右两侧,并且对称设置的弹性伸缩杆(19)的顶端与铰接翻转杆(18)的顶端均铰接设置于托举底板(7)的底面,而且对称设置的弹性伸缩杆(19)与铰接翻转杆(18)之间呈方向相反的方式错位分布。
8.根据权利要求7所述的一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,其特征在于:所述托举机构包含有驱动转轴(20),且驱动转轴(20)通过轴承转动设置于检漏装置(1)内部后方的左右两侧,并且左右两侧驱动转轴(20)的底端通过锥齿组(24)啮合连接于对称设置的双向螺纹杆(17)的后端,而且左右两侧驱动转轴(20)的外壁开设螺旋导槽(21)。
9.根据权利要求8所述的一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,其特征在于:所述托举机构包含有螺旋套筒(22),且螺旋套筒(22)通过抵触弹簧(23)滑动卡合设置于检漏装置(1)内部后方的左右两侧,并且螺旋套筒(22)与驱动转轴(20)外壁开设的螺旋导槽(21)之间相互连接,而且左右两侧螺旋套筒(22)的顶端贴合设置于密封盖板(3)的底面。
