本发明关于一种基板干燥方法与基板处理方法。基板例如为半导体晶圆、液晶显示器用基板、有机el(electroluminescence，电致发光)用基板、fp d(flat paneldisplay，平板显示器)用基板、光显示器用基板、磁盘用基板、光盘用基板、光磁盘用基板、光罩用基板、太阳电池用基板。
背景技术：
1、专利文献1公开了一种处理基板的基板处理方法。专利文献1的基板处理方法包括处理步骤、置换步骤及去除步骤。处理步骤中，向基板供给冲洗液。置换步骤中，将基板上的冲洗液置换成有机溶剂。去除步骤中，自基板去除有机溶剂。通过去除步骤，干燥基板。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1
5、日本专利特开2012-156561号公报
技术实现思路
1、发明要解决的问题
2、先前的基板处理方法也存在无法适当地处理基板的情形。例如，基板具有图案的情形时，先前的基板处理方法也存在图案崩坏的情形。例如，图案微细时，先前的基板处理方法也存在无法充分抑制图案的崩坏的情形。
3、本发明鉴于这种状况而提出，其目的在于提供一种能适当地干燥基板的基板干燥方法、及能适当地处理基板的基板处理方法。
4、用于解决问题的手段
5、本发明为了实现这种目的，采取如下构成。即，本发明一种基板干燥方法，用于干燥形成有图案的基板，且包含：涂布步骤，对上述基板涂布包含紫外线硬化性材料的干燥辅助液；硬化步骤，对上述基板上的上述干燥辅助液照射紫外线，于上述基板上形成固化膜；及热分解步骤，通过加热上述固化膜，将上述固化膜热分解，使上述基板干燥。
6、基板干燥方法用以干燥形成有图案的基板。基板干燥方法包括涂布步骤、硬化步骤及热分解步骤。涂布步骤中，对基板涂布干燥辅助液。干燥辅助液包含紫外线硬化性材料。硬化步骤中，对基板上的干燥辅助液照射紫外线。硬化步骤中，于基板上形成固化膜。热分解步骤中，通过加热基板上的固化膜，将固化膜热分解。热分解步骤中，干燥基板。
7、如上所述，基板干燥方法包括涂布步骤与硬化步骤。因此，能于基板上适当地形成固化膜。进而，固化膜能适当地支持基板的图案。基板干燥方法还包含热分解步骤。因此，能将固化膜适当地热分解。因此，能自基板适当地去除固化膜。因此，能于图案受到保护的状态下干燥基板。
8、如上所述，根据基板干燥方法，能适当地干燥基板。
9、上述基板干燥方法中优选为：上述固化膜具有热分解性。热分解步骤中，能将固化膜适当地热分解。因此，能更适当地干燥基板。
10、上述基板干燥方法中优选为：上述热分解步骤中，以上述固化膜的热分解温度以上的温度加热上述固化膜。热分解步骤中，能将固化膜更适当地热分解。因此，能更适当地干燥基板。
11、上述基板干燥方法中优选为：上述热分解步骤中，以700度以上的温度加热上述固化膜。容易使固化膜的加热温度为固化膜的热分解温度以上。
12、上述基板干燥方法中优选为：上述热分解步骤中，通过将上述固化膜热分解，自上述基板去除上述固化膜。热分解步骤之后，基板上无固化膜残留。因此，热分解步骤之后，能获得洁净的基板。因此，能更适当地干燥基板。
13、上述基板干燥方法中优选为：上述热分解步骤中，上述固化膜气化。热分解步骤中，能自基板适当地去除固化膜。
14、上述基板干燥方法中优选为：上述热分解步骤中，上述固化膜分解成复数个粒子，且上述粒子自上述基板悬浮。热分解步骤中，能自基板适当地去除固化膜。
15、上述基板干燥方法中优选为：上述热分解步骤中，上述固化膜不熔融地自上述基板被去除。将固化膜热分解时，作用于图案的力更小。因此，将固化膜热分解时，也能适当地保护图案。
16、上述基板干燥方法中优选为：上述硬化步骤中，上述紫外线硬化性材料成为聚合物，上述固化膜包含上述聚合物，上述热分解步骤中，上述聚合物热分解。硬化步骤中，紫外线硬化性材料成为聚合物。固化膜包含紫外线硬化性材料的聚合物。因此，硬化步骤中，能适当地形成固化膜。热分解步骤中，紫外线硬化性材料的聚合物热分解。因此，热分解步骤中，能将固化膜适当地热分解。
17、上述基板干燥方法中优选为：上述紫外线硬化性材料为液体。容易由紫外线硬化性材料获得干燥辅助液。
18、上述基板干燥方法中优选为：上述紫外线硬化性材料不含聚合物。容易获得紫外线硬化性材料的液体。
19、上述基板干燥方法中优选为：上述紫外线硬化性材料为丙烯酸异冰片酯。紫外线硬化性材料为丙烯酸异冰片酯时，能更适当地保护图案。因此，能更适当地干燥基板。
20、上述基板干燥方法中优选为：上述紫外线硬化性材料为丙烯酸异冰片酯单体。能更适当地干燥基板。进而，更容易获得紫外线硬化性材料的液体。
21、上述基板干燥方法中优选为：上述干燥辅助液不含溶剂。因此，硬化步骤及热分解步骤中，基板上不存在溶剂。从而，硬化步骤及热分解步骤中，更容易保护图案。
22、上述基板干燥方法中优选为：干燥辅助液还包含聚合起始剂。硬化步骤中，聚合起始剂促进紫外线硬化性材料的聚合。因此，硬化步骤中，能迅速形成固化膜。
23、上述基板干燥方法中优选为：上述硬化步骤结束时，上述干燥辅助液的一部分残留于上述基板上，且于上述热分解步骤中，进而使上述硬化步骤结束时残留于基板上的上述干燥辅助液蒸发。即便硬化步骤结束时干燥辅助液的一部分残留于基板上，也能于热分解步骤中适当地干燥基板。
24、上述基板干燥方法中优选为：上述干燥辅助液的沸点低于上述固化膜的热分解温度。热分解步骤中，干燥辅助液蒸发，其后固化膜热分解。换言之，热分解步骤中，截至干燥辅助液蒸发为止，固化膜实质上未热分解。因此，热分解步骤中，截至干燥辅助液蒸发为止，固化膜始终保护图案。因此，能适当地干燥基板。
25、上述基板干燥方法中优选为：上述紫外线硬化性材料的沸点低于上述固化膜的热分解温度。热分解步骤中，固化膜热分解之前，干燥辅助液便适当地蒸发。
26、上述基板干燥方法中优选为：上述硬化步骤结束时，上述干燥辅助液全部自上述基板消失。例如优选为：硬化步骤结束时，干燥辅助液全部变成固化膜。因此，热分解步骤中，基板上不存在干燥辅助液。因此，热分解步骤中，更容易保护图案。
27、上述基板干燥方法中优选为：上述热分解步骤包含：第1步骤，以第1温度加热基板；及第2步骤，以较上述第1温度高的第2温度加热上述固化膜。第1步骤中，加热基板。因此，第1步骤中，干燥辅助液能自基板切实地蒸发。第1步骤中，能自基板切实地去除干燥辅助液。即便硬化步骤结束时干燥辅助液的一部分残留于基板上，也能于第1步骤中自基板去除基板上残留的全部干燥辅助液。第1步骤中，硬化步骤结束时残留于基板上的干燥辅助液全部被自基板去除，而未变成固化膜。因此，第2步骤中，基板上不存在干燥辅助液。从而，第2步骤中，更容易保护图案。第1步骤中，以第1温度加热基板。第2步骤中，以第2温度加热固化膜。第1温度低于第2温度。因此，第1步骤中，能适当地防止固化膜的热分解。从而，第1步骤中，能通过固化膜适当地保护图案。另一方面，第2温度高于第1温度。因此，第2步骤中，能将固化膜适当地热分解。
28、上述基板干燥方法中优选为：上述第1温度未达上述固化膜的热分解温度。第1步骤中，能更切实地防止固化膜的热分解。
29、上述基板干燥方法中优选为：上述第1温度为上述干燥辅助液的沸点以上。第1步骤中，能自基板更切实地去除干燥辅助液。
30、上述基板干燥方法中优选为：上述第1温度为上述紫外线硬化性材料的沸点以上。第1步骤中，能自基板更切实地去除干燥辅助液。
31、上述基板干燥方法中优选为：上述第2温度为上述固化膜的热分解温度以上。上述第2步骤中，能将上述固化膜更适当地热分解。
32、本发明一种基板处理方法，用于处理形成有图案的基板，且包含：处理液供给步骤，向上述基板供给处理液；及干燥步骤，执行上文所记载的上述基板干燥方法。
33、基板处理方法用以处理形成有图案的基板。基板处理方法包括处理液供给步骤与干燥步骤。处理液供给步骤中，向基板供给处理液。干燥步骤中，执行上述基板干燥方法。具体而言，干燥步骤包含涂布步骤、硬化步骤及热分解步骤。因此，能于图案受到保护的状态下干燥基板。
34、如上所述，根据基板处理方法，能适当地处理基板。
35、上述基板处理方法中优选为：上述涂布步骤中，自基板去除处理液。因此，硬化步骤及热分解步骤中，基板上不存在处理液。因此，硬化步骤及热分解步骤中，更容易保护图案。
36、发明的效果
37、根据本发明的基板干燥方法，能适当地干燥基板。根据本发明的基板处理方法，能适当地处理基板。
1.一种基板干燥方法，用于干燥形成有图案的基板，其中，包含：
2.如权利要求1的基板干燥方法，其中，
3.如权利要求1或2的基板干燥方法，其中，
4.如权利要求1或2的基板干燥方法，其中，
5.如权利要求1或2的基板干燥方法，其中，
6.如权利要求1或2的基板干燥方法，其中，
7.如权利要求1或2的基板干燥方法，其中，
8.如权利要求1或2的基板干燥方法，其中，
9.如权利要求1或2的基板干燥方法，其中，
10.如权利要求1或2的基板干燥方法，其中，
11.如权利要求1或2的基板干燥方法，其中，
12.如权利要求1或2的基板干燥方法，其中，
13.如权利要求1或2的基板干燥方法，其中，
14.如权利要求1或2的基板干燥方法，其中，
15.一种基板处理方法，用于处理形成有图案的基板，其中，包含：处理液供给步骤，向上述基板供给处理液；及
