本申请涉及一种柔性材料清洗工装，属于mems传感器生产。
背景技术：
1、据统计，糖尿病患病率持续提升。微创、无创血糖仪开创糖尿病检测的新时代。血糖监测是糖尿病管理中的重要组成部分，其结果有助于评估糖尿病患者糖代谢紊乱的程度，制定合理的降糖方案，反映降糖治疗的效果并指导治疗方案的调整。而cgm则是一类快速兴起的新型检测手段，即通过葡萄糖传感器监测皮下组织间液的葡萄糖浓度变化的技术，可以提供更全面的血糖信息，了解血糖波动的特点。相较于指尖血血糖仪，连续血糖仪舒适度高、监测无盲区、可与胰岛素泵结合等优势。
2、聚酰亚胺(polyimide，pi)是一类主链上有酰亚胺环的耐高温高聚物，由于其出色的热稳定性、机械性能、介电性能，被广泛应用在航空航天、精密机械、电气系统和微机电系统中。近年来，基于聚酰亚胺薄膜的mems传感器产品，广泛应用健康实时检测领域，如采用cgm技术，通过微加工的方法制备传感器电极的过程中，作为基材部分，聚酰亚胺薄膜需要保持表面清洁、无变形等情况，否则将导致导电金属层脱落，或者光刻对准精度不达标等问题。因此需要对聚酰亚胺薄膜进行高效清洗操作。
3、在半导体行业中，一般用来清洗晶圆的工装是清洗花篮，用来固定住需要清洗的晶圆，材料为聚四氟乙烯。晶圆的材料一般为硅，硅基晶圆的硬度很高，所以只要将其插入清洗花篮的槽中便可以在清洗的时候固定住，从而完成一批又一批晶圆的清洗。现有的清洗花篮都是针对硅基晶圆或者玻璃晶圆这种刚性材料的晶圆，不容易发生形变，只要将这些刚性材料的晶圆一个个插进槽里面就可以进行清洗，而对于柔性材料而言，显然这种结构的清洗花篮并不能将其固定住。
4、以pi柔性基材举例，将0.15mm厚的pi柔性基材用激光切割机切成8英寸的pi薄膜晶圆，当下方插入槽中后，上方由于没有固定，pi基材会往两边歪倒，基材之间则会互相触碰，当放入有机溶剂中进行清洗时，pi基材则会因为没有固定住在溶液中无规则地摆动，清洗花篮也失去了它原本的作用。
5、为了解决固定柔性薄膜基材从而进行有效清洗的问题，基于柔性薄膜基材自身特性必须要通过外力将其夹紧才能完全固定住的特点，亟需提供一种结构简单、容易装卸，并且能够对柔性材料进行有效清洗的装置。
技术实现思路
1、为了解决上述问题，本申请提出了一种柔性材料清洗工装，该工装方便同时对多个柔性材料进行清洗，且安装固定方便，具有优良的清洗效果，能够保证柔性材料应用环节较好的清洁度，有利于制备出性能更好的下游产品。
2、本申请提供了一种柔性材料清洗工装，包括：
3、夹紧装置，包括至少两个中空环状的夹层件，所述夹层件的周向上设有至少两个增高块，所述夹层件的内周设有夹紧块，所述夹层件的中空区域形成清洗区；
4、固定装置，所述固定装置用于将所述夹层件夹紧，以使相邻夹层件上的增高块互相抵接，且使相邻夹层件的夹紧块夹紧所述柔性材料；
5、提起部，所述提起部设置于所述夹紧装置或固定装置上。
6、可选的，所述固定装置包括螺母和两端设有螺纹的螺杆，所述夹层件沿径向开设有贯穿的通孔，所述螺杆能够穿过所述通孔将所述夹层件固定。
7、可选的，置于底层的夹层件为底座，所述提起部设置于所述底座的外周。
8、可选的，所述通孔开设于所述夹层件上增高块所在位置。
9、可选的，所述夹层件的周向上设有第一增高块、第二增高块和第三增高块，第一增高块的重量大于第二增高块及第三增高块的重量。
10、可选的，所述夹层件为圆环状，所述增高块为弧状，所述第一增高块的弧度为60°，所述第二增高块和第三增高块的弧度为30°。
11、可选的，所述提起部靠近第一增高块和/或第二增高块设置。
12、可选的，所述夹层件上的增高块与夹紧块数量相同且对应相邻设置。
13、可选的，所述夹层件的数量为2～10。
14、可选的，所述夹紧块的厚度为5～15mm。
15、本申请能产生的有益效果包括但不限于：
16、1.本申请所提供的柔性材料清洗工装，具有相互配合的夹紧块，上下两层相邻的夹紧块能够对柔性材料进行限位固定，而其中夹层件可以根据需要选择多个，可以方便地同时对多个柔性材料进行固定并清洗。
17、2.本申请所提供的柔性材料清洗工装，设置增高块，能够在固定完成后的柔性材料的上下两层形成可供清洗液体通过的孔洞，从而有利于使得清洗液体对柔性材料进行充分接触，保证较好的清洗效果。
18、3.本申请所提供的柔性材料清洗工装，组装完成后，夹层件和增高块所在的高度方向形成密封的阻隔墙，而增高块相邻的位置形成可供清洗液体通过的孔洞，在清洗过程中，清洗液体经孔洞进入中空柱体内，进入的清洗液体经阻隔墙的阻隔而改变运动方向，从而有利于清洗液体经碰撞后与柔性材料更好地接触，从而提高清洗效果。
19、4.本申请所提供的柔性材料清洗工装，设置第一增高块的重量大于第二增高块及第三增高块的重量，提起部靠近第一增高块和/或第二增高块设置，整个清洗工装以夹层件竖直的角度放入清洗溶液中时，由于第一增高块所在部分比较重，在溶液中会由于重力作用转向底部，使得设置在第一增高块和第二增高块上的提起部自然转向高处，从而方便操作人员使用其他工具或采用其他方式钩住提起部将整个清洗工装放入或拿出，且由于清洗工装的重量分布不均匀使得该装置的稳定性更好、不易晃动。
1.一种柔性材料清洗工装，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的柔性材料清洗工装，其特征在于，所述固定装置包括螺母和两端设有螺纹的螺杆，所述夹层件沿径向开设有贯穿的通孔，所述螺杆能够穿过所述通孔将所述夹层件固定。
3.根据权利要求2所述的柔性材料清洗工装，其特征在于，置于底层的夹层件为底座，所述提起部设置于所述底座的外周。
4.根据权利要求2所述的柔性材料清洗工装，其特征在于，所述通孔开设于所述夹层件上增高块所在位置。
5.根据权利要求1所述的柔性材料清洗工装，其特征在于，所述夹层件的周向上设有第一增高块、第二增高块和第三增高块，第一增高块的重量大于第二增高块及第三增高块的重量。
6.根据权利要求5所述的柔性材料清洗工装，其特征在于，所述夹层件为圆环状，所述增高块为弧状，所述第一增高块的弧度为60°，所述第二增高块和第三增高块的弧度为30°。
7.根据权利要求5所述的柔性材料清洗工装，其特征在于，所述提起部靠近第一增高块和/或第二增高块设置。
8.根据权利要求1所述的柔性材料清洗工装，其特征在于，所述夹层件上的增高块与夹紧块数量相同且对应相邻设置。
9.根据权利要求1所述的柔性材料清洗工装，其特征在于，所述夹层件的数量为2～10。
10.根据权利要求1所述的柔性材料清洗工装，其特征在于，所述夹紧块的厚度为5～15mm。
