本技术涉及单晶硅母合金制备,尤其涉及一种易清洁安全的掺杂装置。
背景技术:
1、申请号为201521047045.0的实用新型专利公开了一种直拉硅单晶的sb掺杂装置,该装置是由钟罩和容杯组成,通过钟罩内顶部石英挂钩连接容杯,钟罩接近液面10mm左右,进行挥发和下漏式补掺。
2、随技术提升多根母合金拉制逐渐规模化,且市场母合金电阻率要求越来越低,单次补掺重量增多,钟罩在高温下频繁使用,挥发物积攒,为保证产品品质和生产顺畅,每次补掺都需一次清理钟罩内壁及内顶部石英挂钩挥发物,清理过程中石英挂钩易损坏、隐患难排查,高温补掺中容易造成容杯脱落。
3、因此,有必要提供一种易清洁安全的掺杂装置解决上述技术问题。
技术实现思路
1、针对上述情况,为克服现有技术缺陷,本实用新型提供了一种易清洁安全的掺杂装置能够很好的解决了内部件的安全隐患、便于清洁,杜绝因挂钩脱落,容杯掉入硅液内带来的经济损失。
2、为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案如下:
3、易清洁安全的掺杂装置,包括:钟罩和容杯,所述容杯用于容纳红磷,所述钟罩内壁上部对称固定有多个支撑台,所述支撑台上开设有固定槽,所述钟罩内部设置有支撑杆,所述支撑杆为石英支撑杆,所述支撑杆的两端分别位于相应的固定槽中,所述支撑杆贯穿容杯上的杯挂,用于支撑所述容杯,所述容杯上的杯挂位于支撑杆的中点。
4、优选地,所述支撑杆中部开设有挂槽,所述挂槽用于固定容杯上的杯挂。
5、优选地,所述钟罩的底部开设有多个气流槽。
6、优选地,所述钟罩的顶部固定安装有固定板,所述固定板上开设有吊孔。
7、与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:
8、(1)本实用新型支撑杆可拆卸,很好的解决了内部件的安全隐患;可拆卸部件便于清洁,防止挥发物二次污染,所造成的生产不畅,品质降低;可更换石英支撑杆,降低钟罩消耗,杜绝因挂钩脱落,容杯掉入硅液内带来的经济损失;
9、(2)本实用新型中挂槽的设置,使容杯位于钟罩中心位置,避免发生装置重心偏移的现象;
10、(3)本实用新型中高温下内部红磷快速升华,红磷气体能够通过气流槽溢出,防止红磷气体无法释放,导致爆破。
1.一种易清洁安全的掺杂装置,包括,钟罩(1)和容杯(2),其特征在于:
2.根据权利要求1所述的一种易清洁安全的掺杂装置,其特征在于,所述支撑杆(7)中部开设有挂槽(8),所述挂槽(8)用于固定容杯(2)上的杯挂。
3.根据权利要求1所述的一种易清洁安全的掺杂装置,其特征在于,所述钟罩(1)的底部开设有多个气流槽(9)。
4.根据权利要求1所述的一种易清洁安全的掺杂装置,其特征在于,所述钟罩(1)的顶部固定安装有固定板(3),所述固定板(3)上开设有吊孔(4)。
5.根据权利要求1所述的一种易清洁安全的掺杂装置,其特征在于,所述支撑杆(7)为石英支撑杆。
