本申请涉及镀膜,尤其涉及一种镀膜设备和电池生产线。
背景技术:
1、在卧式磁控溅射镀膜设备中,镀膜靶材设置在承载结构的下侧,对承载结构承载的待镀膜物的下表面进行镀膜。但是,待镀膜物容易从承载结构上掉下,从而搭在镀膜靶材与镀膜腔的内壁之间,这会造成对镀膜靶材的遮挡,影响生产。而且,镀膜靶材往往为阴极,镀膜腔的内壁往往为阳极,待镀膜物搭在镀膜靶材与镀膜腔的内壁之间,容易造成阴极与阳极短路,生产无法进行,严重情况下短路电流还会造成镀膜靶材的损坏。
2、相关技术中,在待镀膜物搭在镀膜靶材与镀膜腔的内壁之间的情况下,需要将设备停机,打开镀膜腔,人工将待镀膜物从镀膜靶材上移开,效率较低。
技术实现思路
1、本申请提供一种镀膜设备和电池生产线,能够提高生产效率。
2、第一方面,本申请提供一种镀膜设备,镀膜设备包括镀膜室、输送线、靶材件和撞击件。输送线设置于镀膜室内,输送线的延伸方向与竖直方向具有夹角,输送线用于沿延伸方向输送待镀膜物;靶材件设置于镀膜室内,且位于输送线的下侧,且对应输送线的输出端处设置,以对输送线输送的待镀膜物的下侧面镀膜;撞击件设置于镀膜室内,且设置于输送线的下侧,以能够击碎从输送线上掉落的待镀膜物;撞击件与靶材件在第一水平方向上错开,撞击件与靶材件在第一水平方向上的距离小于待镀膜物的长度。
3、在本申请的一种实现方式中,输送线的延伸方向为第一水平方向。
4、在本申请的一种实现方式中,输送线包括承载部,承载部用于承载待镀膜物,沿竖直方向,待镀膜物向承载部的投影的轮廓与承载部的轮廓相匹配;沿第二水平方向,承载部与靶材件的中部对应设置,第二水平方向与第一水平方向垂直。
5、在本申请的一种实现方式中,沿第一水平方向,靶材件的相对两侧均设置有撞击件。
6、在本申请的一种实现方式中,撞击件高于靶材件,或沿竖直方向与靶材件平齐。
7、在本申请的一种实现方式中,撞击件与镀膜室转动连接,以使撞击件能够在一动力的作用下相对镀膜室转动,以击碎待镀膜物。
8、在本申请的一种实现方式中,靶材件与撞击件在第二水平方向上的长度相匹配,第二水平方向与第一水平方向垂直,撞击件相对镀膜室转动的轴线与第二水平方向平行。
9、在本申请的一种实现方式中,撞击件呈板状结构,第二水平方向与板状结构的厚度方向垂直。
10、在本申请的一种实现方式中,输送线包括辊道,辊道的辊筒的轴线与撞击件相对镀膜室转动的轴线平行,辊筒与撞击件传动连接,以驱动撞击件相对镀膜室转动。
11、在本申请的一种实现方式中,撞击件与对应的辊筒通过第一同步带传动连接,以驱动撞击件相对镀膜室转动。
12、在本申请的一种实现方式中,输送线用于输送硅片,靶材件包括透明导电氧化物材料,以对输送线输送的硅片镀覆透明导电氧化物膜。
13、第二方面,本申请提供一种电池生产线,电池生产线包括输送机构、丝网印刷设备和本申请第一方面提供的镀膜设备。输送机构的输入端与镀膜设备连接,以输送由镀膜设备已镀膜的硅片;丝网印刷设备设置于输送机构的输出端,以对输送机构输送的已镀膜的硅片进行丝网印刷,以制成电极。
14、本申请提供的镀膜设备,在输送线的下侧设置了撞击件,撞击件与靶材件在第一水平方向上错开,且与靶材件在第一水平方向上的距离小于待镀膜物的长度,使得撞击件一方面不容易对靶材件的溅射产生遮挡,使生产正常进行,另一方面又能够对掉落在靶材件附近的待镀膜物进行击碎,降低待镀膜物的长度,使待镀膜物的长度不足以搭在镀膜室的内壁与靶材件之间,这样,就不需要打开镀膜室,人工将待镀膜物从靶材件上移开,生产能够持续进行,有利于提高生产效率。
1.一种镀膜设备,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的镀膜设备,其特征在于,所述输送线(6)的延伸方向为所述第一水平方向(a)。
3.根据权利要求2所述的镀膜设备,其特征在于,所述输送线(6)包括承载部(641),所述承载部(641)用于承载所述待镀膜物(01),沿竖直方向(c),所述待镀膜物(01)向所述承载部(641)的投影的轮廓与所述承载部(641)的轮廓相匹配;沿第二水平方向(b),所述承载部(641)与所述靶材件(3)的中部对应设置,所述第二水平方向(b)与所述第一水平方向(a)垂直。
4.根据权利要求2所述的镀膜设备,其特征在于,沿所述第一水平方向(a),所述靶材件(3)的相对两侧均设置有所述撞击件(4)。
5.根据权利要求1所述的镀膜设备,其特征在于,所述撞击件(4)高于所述靶材件(3),或沿竖直方向(c)与所述靶材件(3)平齐。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的镀膜设备,其特征在于,所述撞击件(4)与所述镀膜室(1)转动连接,以使所述撞击件(4)能够在一动力的作用下相对所述镀膜室(1)转动,以击碎所述待镀膜物(01)。
7.根据权利要求6所述的镀膜设备,其特征在于,所述靶材件(3)与所述撞击件(4)在第二水平方向(b)上的长度相匹配,所述第二水平方向(b)与所述第一水平方向(a)垂直,所述撞击件(4)相对所述镀膜室(1)转动的轴线与所述第二水平方向(b)平行。
8.根据权利要求7所述的镀膜设备,其特征在于,所述撞击件(4)呈板状结构,所述第二水平方向(b)与所述板状结构的厚度方向垂直。
9.根据权利要求6所述的镀膜设备,其特征在于,所述输送线(6)包括辊道,所述辊道的辊筒(61)的轴线与所述撞击件(4)相对所述镀膜室(1)转动的轴线平行,所述辊筒(61)与所述撞击件(4)传动连接,以驱动所述撞击件(4)相对所述镀膜室(1)转动。
10.根据权利要求9所述的镀膜设备,其特征在于,所述撞击件(4)与对应的所述辊筒(61)通过第一同步带(7)传动连接,以驱动所述撞击件(4)相对所述镀膜室(1)转动。
11.根据权利要求1~5中任一项所述的镀膜设备,其特征在于,所述输送线(6)用于输送硅片,所述靶材件(3)包括透明导电氧化物材料,以对所述输送线(6)输送的所述硅片镀覆透明导电氧化物膜。
12.一种电池生产线,其特征在于,包括:
