本申请涉及泵送，具体而言，涉及一种真空泵组及配置有该真空泵组的废气处理系统。
背景技术：
1、在半导体、平面屏幕或光伏制造等行业中，由真空泵组构成的废气处理系统广泛应用于被称为“粉末”工艺的过程中，例如刻蚀、抛光等。这些“粉末”工艺过程所产生的工艺气体中含有大量固体副产品。
2、目前行业内真空泵组中的前级泵与主泵之间采用由波纹管连接或过渡管硬构成的管道连接机构进行串接，以协同泵送工艺气体。而工艺气体中含有的粉末状物质易于在真空泵组中会发生沉积。特别是当上述连接于两泵间的管道连接机构中具有高度弯曲区段时，该管道连接机构中易于堆积沉积物。沉积物的存在将限制用于气体的通道尺寸，从而导致泵送能力的损失，严重地，在没有维护操作的情况下会影响真空泵组的使用寿命。
3、为此，需要经常拆除上述管道连接机构以进行清洁，维护频率高。然而受限于真空泵组中主泵与前级泵之间的位置约束，管道连接机构拆装极不便利，导致维护复杂且耗时。本申请旨在对真空泵组中连通主泵与前级泵的泵间连接机构进行改进设计，以改善连接机构处易发生沉积物堆积的问题，降低维护频率。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种真空泵组，通过对真空泵组中连通主泵与前级泵的泵间连接机构进行优化，从而能够有效减少粉末在泵间连接机构中的堆积，减少真空泵组泵送能力的损失，同时也能够降低真空泵组维护频次，提高了设备运行工作效率。
2、为此，本申请第一方面提出了一种真空泵组，包括主泵、前级泵以及连通所述主泵与所述前级泵的泵间连接机构；所述主泵与所述前级泵呈卧式布置，所述主泵位于所述前级泵的上方，且所述主泵与所述前级泵平行；所述主泵包括一主泵输出口，所述前级泵包括一前级泵吸入口，所述主泵输出口与所述前级泵吸入口上下对齐设置；所述泵间连接机构包括异径直管，所述异径直管垂直连接于所述主泵输出口与所述前级泵吸入口之间。
3、根据本申请实施例的真空泵组，通过垂直布置的异径直管，使得主泵输出口与前级泵吸入口上下直通，被泵送气体中含有的粉末物质在重力作用下更容易随被泵送气体而被带走，减少在主泵输出口以及泵间连接机构中沉积。从而，有效解决了现有技术中粉末物质易在弯折管道内堆积而影响真空泵组泵送能力的问题。
4、进一步地，所述异径直管包括呈漏斗型的第一区段和呈圆柱型的第二区段；所述第一区段中直径较大的一端与所述主泵输出口连接，所述第一区段中直径较小的一端与所述第二区段连接；所述第二区段与所述前级泵吸入口连接。如此设置，一方面，第一区段形成的大直径入口便于将从主泵输出口输出的气体能够平稳地过渡到前级泵吸入口内，粉尘随被泵送气体进入异径直管，避免粉尘在主泵输出口中堆积；另一方面，由于第二区段的直径小于第一区段的直径，从而在第一区段与第二区段连接处形成了局部限流，使得气体在连接处附近加速，从而使得粉末更加容易由被泵送气体带走。
5、进一步地，所述泵间连接机构还包括第一接合部和第二接合部，所述第一接合部与所述第一区段固定连接，所述第二接合部与所述第二区段固定连接。
6、进一步地，所述主泵输出口设有第三接合部，所述前级泵吸入口设有第四接合部，所述第一接合部与所述第三接合部固定连接，所述第二接合部与所述第四接合部固定连接。借助于第一接合部和第三接合部实现了异径直管与主泵输出口固定连接；借助于第二接合部和第四接合部实现了异径直管与前级泵吸入口固定连接，从而实现了主泵与前级泵的结合，构成真空泵组。
7、进一步地，所述第一接合部和所述第二接合部均与所述异径直管一体成型设置；所述第三接合部与所述主泵输出口一体成型设置，所述第四接合部与所述前级泵吸入口一体成型设置。
8、进一步地，所述第一接合部与所述第三接合部之间以及所述第二接合部与所述第四接合部之间的至少一处设有密封件，以确保气密性，从而能够维持真空环境。
9、进一步地，所述第一接合部与所述第三接合部之间设有第一密封件，所述第一接合部面向所述第三接合部的端面上或所述第三接合部面向所述第一接合部的端面上形成有第一凹槽，所述第一密封件设置于所述第一凹槽内。
10、进一步地，所述第二接合部与所述第四接合部之间设置有第二密封件，所述第二接合部面向所述第四接合部的端面上或所述第四接合部面向所述第二接合部的端面上形成有第二凹槽，所述第二密封件设置于所述第二凹槽内。
11、进一步地，所述异径直管还包括可伸缩区段，所述可伸缩区段连接于所述第一区段与所述第二区段之间。可伸缩区段的存在，使得异径直管具有长度调节功能。因此，通过调节异径直管的长度，使得泵间连接机构在真空泵组中的安装与拆除操作更加便利，与此同时，使得泵间连接机构可适配真空泵组中主泵输出口与前级泵吸入口之间的不同距离要求，能够有效地进行间隙补偿。
12、本申请第二方面提出了一种废气处理系统，包括上述真空泵组。真空泵组是废气处理系统中的核心部件，其工作稳定性直接影响废气处理系统的工作稳定性。在真空泵组的泵送能力损失减少以及维护频次降低的情况下，配置有该真空泵组的废气处理系统的泵送能力损失同样得以减少、维护频次同样得以降低，从而可提升废气处理系统的效能。
13、与现有技术相比，本申请至少具有如下有益效果：
14、根据本申请实施例的真空泵组及废气处理系统，通过垂直布置的异径直管，使得主泵输出口与前级泵吸入口上下直通，被泵送气体中含有的粉末物质在重力作用下更容易随被泵送气体而被带走，减少在主泵输出口以及泵间连接机构中沉积。从而，有效解决了现有技术中粉末物质易在泵间连接机构的弯折管道内堆积而影响泵送能力的问题。
1.一种真空泵组，其特征在于，包括主泵、前级泵以及连通所述主泵与所述前级泵的泵间连接机构；所述主泵与所述前级泵呈卧式布置，所述主泵位于所述前级泵的上方，且所述主泵与所述前级泵平行；所述主泵包括一主泵输出口，所述前级泵包括一前级泵吸入口，所述主泵输出口与所述前级泵吸入口上下对齐设置；所述泵间连接机构包括异径直管，所述异径直管垂直连接于所述主泵输出口与所述前级泵吸入口之间。
2.根据权利要求1所述的真空泵组，其特征在于，所述异径直管包括呈漏斗型的第一区段和呈圆柱型的第二区段；所述第一区段中直径较大的一端与所述主泵输出口连接，所述第一区段中直径较小的一端与所述第二区段连接；所述第二区段与所述前级泵吸入口连接。
3.根据权利要求2所述的真空泵组，其特征在于，所述泵间连接机构还包括第一接合部和第二接合部，所述第一接合部与所述第一区段固定连接，所述第二接合部与所述第二区段固定连接。
4.根据权利要求3所述的真空泵组，其特征在于，所述主泵输出口设有第三接合部，所述前级泵吸入口设有第四接合部，所述第一接合部与所述第三接合部固定连接，所述第二接合部与所述第四接合部固定连接。
5.根据权利要求4所述的真空泵组，其特征在于，所述第一接合部和所述第二接合部均与所述异径直管一体成型设置；所述第三接合部与所述主泵输出口一体成型设置，所述第四接合部与所述前级泵吸入口一体成型设置。
6.根据权利要求4所述的真空泵组，其特征在于，所述第一接合部与所述第三接合部之间以及所述第二接合部与所述第四接合部之间的至少一处设置有密封件。
7.根据权利要求6所述的真空泵组，其特征在于，所述第一接合部与所述第三接合部之间设有第一密封件，所述第一接合部面向所述第三接合部的端面上或所述第三接合部面向所述第一接合部的端面上形成有第一凹槽，所述第一密封件设置于所述第一凹槽内。
8.根据权利要求6所述的真空泵组，其特征在于，所述第二接合部与所述第四接合部之间设有第二密封件，所述第二接合部面向所述第四接合部的端面上或所述第四接合部面向所述第二接合部的端面上形成有第二凹槽，所述第二密封件设置于所述第二凹槽内。
9.根据权利要求2所述的真空泵组，其特征在于，所述异径直管还包括可伸缩区段，所述可伸缩区段连接于所述第一区段与所述第二区段之间。
10.一种废气处理系统，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的真空泵组。
