一种具有防护功能的探针卡的制作方法

专利2026-08-28  24


本技术涉及探针卡,具体为一种具有防护功能的探针卡。


背景技术:

1、探针台是一种用于对集成电路芯片进行测试的机械装置,它能够移动晶圆,以便对芯片进行电学参数测试,探针台通常与探针卡配合使用,探针卡是一种测试接口,主要用于对裸芯进行测试,在测试准备阶段,将晶圆放置在探针卡下方的工作台上,确保探针卡上的探针与晶圆表面pad接触良好,在进行晶圆测试时,当探针台监测到探针卡与芯片pad接触良好时,会发送信号告知测试设备已做好测试准备,测试设备会进行一系列的电学参数测试,当一颗芯片完成电学参数测试以后,测试设备会发出指令要求探针台移动晶圆,以便测试下一颗芯片的电学参数。

2、现有公告号为cn209387694u的中国专利公开了一种探针台用探针卡固定机构,包括安装架,所述安装架底部外壁上设有空缺部,顶板,所述顶板固接在安装架顶部,其上设有连通至所述空缺部上的避空槽,支架,所述支架设置在避空槽内且其长度方向横跨空缺部,其由一个顶板及两个侧板组成,滑柱,所述滑柱对应设有两个,分别水平穿透所述支架两侧板且能自由滑动。

3、上述方案虽然可以对探针卡进行快速固定,但是设备保养或维修时设备工程师需穿着宽松的无尘衣,经常发生人员在维护或维修设备时造成无尘衣勾住探针,从而造成探针卡的损坏,需要更换新的探针卡,导致浪费人力及影响产能,因此不满足现有的需求,对此我们提出了一种具有防护功能的探针卡。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种具有防护功能的探针卡,以解决上述背景技术中提出的探针卡使用时容易被无尘衣勾住而损坏影响正常使用的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有防护功能的探针卡,包括探针台,所述探针台的上端一侧安装有探针卡;

3、还包括第一挡板座,其设置在所述探针卡下方的一侧,且第一挡板座与探针台相连接,所述第一挡板座的内部开设有传动腔,所述传动腔内部的后侧转动设置有螺纹杆,所述螺纹杆的外部螺纹连接有移动块,所述移动块的一侧焊接有第一挡板,所述第一挡板的一端延伸至传动腔的外部,且第一挡板与传动腔滑动配合;

4、还包括第二挡板座,其焊接在所述第一挡板位于传动腔外部的一端,所述第二挡板座的内部设置有升降板,所述升降板的上端设置有第二挡板,所述第二挡板的一端延伸至第二挡板座的外部,且第二挡板均与第二挡板座滑动配合。

5、优选的,所述传动腔内部的一侧设置有电机,且电机的输出端与螺纹杆通过联轴器传动连接。

6、优选的,所述传动腔内部的前侧焊接有第一导向杆,所述第一导向杆贯穿移动块,且第一导向杆与移动块滑动配合。

7、优选的,所述第二挡板座内部的前后侧焊接有第二导向杆,所述第二导向杆均贯穿升降板,且第二导向杆均与升降板滑动配合。

8、优选的,所述升降板前后端的下侧均设置有拉块,所述拉块的内侧均焊接有限位块,所述限位块均贯穿并延伸至第二挡板座的内部,所述升降板的前后端均开设有限位槽,且限位槽均与限位块相适配。

9、优选的,所述限位块位于第二挡板座内部一端内的外壁粘连固定有磁性铁片。

10、优选的,所述第二导向杆外部的下侧均套设有复位弹簧,所述复位弹簧的一端均与第二挡板座相连接,且复位弹簧的另一端均与升降板相连接。

11、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

12、1. 本实用新型通过在探针卡下方的一侧设置有第一挡板座,当对设备维护或维修时,工作人员可以启动电机,电机会带动螺纹杆转动,螺纹杆会带动移动块使第一挡板移出第一挡板座,从而通过第一挡板可以对探针卡进行防护,避免宽松的无尘衣勾到探针导致损坏的问题发生,而通过使电机反转可以使第一挡板移入传动腔,从而不会影响探针卡的正常使用。

13、2. 本实用新型通过在第一挡板的一侧焊接有第一挡板座,当对探针卡进行防护时在复位弹簧的弹性作用下,升降板会带动第二挡板上移并移出第二挡板座的内部,从而可以对探针卡的前方进行防护,使对探针卡的防护进一步提高,且操作简单,使用方便。

14、3. 本实用新型通过在第二挡板两侧的下侧设置有拉块,通过拉动拉块可以使限位块移出限位槽的内部,从而可以进行第二挡板的上移,而不使用时通过磁性铁片的磁力吸附可以使其吸附在升降板的一端,磁性铁片会带动限位块卡入限位槽的内部,从而可以对升降板进行限位,方便的完成对第二挡板的收纳。



技术特征:

1.一种具有防护功能的探针卡,包括探针台(1),所述探针台(1)的上端一侧安装有探针卡(2),其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的探针卡,其特征在于:所述传动腔(4)内部的一侧设置有电机(5),且电机(5)的输出端与螺纹杆(6)通过联轴器传动连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的探针卡,其特征在于:所述传动腔(4)内部的前侧焊接有第一导向杆(7),所述第一导向杆(7)贯穿移动块(8),且第一导向杆(7)与移动块(8)滑动配合。

4.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的探针卡,其特征在于:所述第二挡板座(10)内部的前后侧焊接有第二导向杆(11),所述第二导向杆(11)均贯穿升降板(13),且第二导向杆(11)均与升降板(13)滑动配合。

5.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的探针卡,其特征在于:所述升降板(13)前后端的下侧均设置有拉块(18),所述拉块(18)的内侧均焊接有限位块(16),所述限位块(16)均贯穿并延伸至第二挡板座(10)的内部,所述升降板(13)的前后端均开设有限位槽(15),且限位槽(15)均与限位块(16)相适配。

6.根据权利要求5所述的一种具有防护功能的探针卡,其特征在于:所述限位块(16)位于第二挡板座(10)内部一端内的外壁粘连固定有磁性铁片(17)。

7.根据权利要求4所述的一种具有防护功能的探针卡,其特征在于:所述第二导向杆(11)外部的下侧均套设有复位弹簧(12),所述复位弹簧(12)的一端均与第二挡板座(10)相连接,且复位弹簧(12)的另一端均与升降板(13)相连接。


技术总结
本技术公开了一种具有防护功能的探针卡,包括探针台,所述探针台的上端一侧安装有探针卡,还包括第一挡板座,其设置在所述探针卡下方的一侧,且第一挡板座与探针台相连接,所述第一挡板座的内部开设有传动腔,所述传动腔内部的后侧转动设置有螺纹杆,所述螺纹杆的外部螺纹连接有移动块,所述移动块的一侧焊接有第一挡板,所述第一挡板的一端延伸至传动腔的外部,且第一挡板与传动腔滑动配合,还包括第二挡板座,其焊接在所述第一挡板位于传动腔外部的一端,所述第二挡板座的内部设置有升降板,所述升降板的上端设置有第二挡板。该具有防护功能的探针卡通过第一挡板和第二挡板的伸出,可以避免宽松的无尘衣勾到探针导致损坏的问题发生。

技术研发人员:申萌,韩召召,刘帅
受保护的技术使用者:苏州知睿精工科技有限公司
技术研发日:20231228
技术公布日:2024/11/11
转载请注明原文地址: https://tieba.8miu.com/read-24142.html

最新回复(0)