本技术涉及供液柜装置领域，特别是一种在线式供液柜装置。
背景技术：
1、供液柜即用于供给液体的柜子，目前，半导体供液系统中都离不开供液柜的作用，属于主设备的附属设备，对工艺生产中发挥着至关作用。在半导体行业中，供液柜被广泛应用于各种生产流程中，如光刻、刻蚀、清洗等。这些工艺步骤中，需要使用各种化学液体，如光刻胶、有机溶剂、酸碱溶液等，供液柜能够提供稳定、可靠的液体供应，保障生产流程的顺利进行。
2、供液柜在半导体行业中的使用包括以下几个方面：1.存储和供应化学液体：供液柜可以作为化学液体存储和供应的设备，为各种半导体生产设备提供稳定的液体供应。这些化学液体通常需要储存在清洁、无尘的环境中，供液柜能够满足这一要求。2.确保生产安全：供液柜的设计和制造符合相关标准和规范，能够保证操作安全，防止泄漏和事故发生。在半导体行业中，生产过程中使用的化学液体往往具有腐蚀性、有毒性等特点，供液柜能够确保生产过程的安全性。3.提高生产效率：供液柜能够提供稳定的液体供应，避免了因液体供应不足或不稳定而引起的生产中断或质量问题，提高了生产效率。4.降低生产成本：供液柜的维护保养要求较低，能够保证设备的长期稳定运行，降低了设备维护成本。同时，稳定的液体供应也能够减少生产过程中的浪费和损失，降低了生产成本。
3、现有的供液柜通常都会出现药液桶抽不干净的问题，抽液的原理是将管内的空气排出，桶内的空气压强大于管内的压强，桶内的液体被吸入管内，药液桶底端的药水液面低于抽液管口的高度时，液面无法密封管口，使桶内的空气进入管内，导致剩余低于管口高度的液体无法被抽走。
技术实现思路
1、为了克服现有技术方案的不足，本实用新型提供一种在线式供液柜装置，能够有效解决桶底的药液抽不干净的技术问题。
2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种在线式供液柜装置，包括机箱，机箱内设置有电控腔和容纳腔，电控腔内设置有电控盒，容纳腔内设置有药液桶，所述电控腔设置于容纳腔的上端，容纳腔内设置有药桶底座和供液管路，药桶底座上设置有定位凹槽，定位凹槽内设置有用于放置药液桶的支撑底板，支撑底板与定位凹槽之间设置有支撑脚，支撑脚设置于支撑底板的一端使放置底板的表面倾斜；
4、供液管路包括药液输出阀、药液检测器、供液泵、药桶输出阀和药桶接头，机箱的表面设置有出液口，出液口、药液输出阀、药液检测器、供液泵和药桶输出阀通过固定管道依次连通，药桶输出阀远离供液泵的一端通过软管与药桶接头连接，药液桶的桶口设置有桶盖，桶盖上设置有抽液管，抽液管的一端与药桶接头连接，另一端伸入药液桶内，药液输出阀、药液检测器、供液泵和药桶输出阀均与电控盒进行电性连接。
5、进一步地，所述药桶底座的侧壁设置有液面传感器，液面传感器与电控盒电性连接，液面传感器用于检测药液桶内设置液面高度，并将电信号传送给电控盒，电控盒接收到感应信号后控制药液输出阀、供液泵和药桶输出阀的工作状态。
6、进一步地，所述药桶底座的侧壁设置有用于安装液面传感器的传感器底座，液面传感器的一端穿过传感器底座延伸至定位凹槽内。
7、进一步地，所述机箱上设置有一对用于盖合容纳腔的门板，门板的表面设置有用于通风的透气孔，门板的内侧设置有吸铁石，容纳腔的边缘设置有与吸铁石相互吸附配合的定位磁条。
8、进一步地，所述机箱上设置有用于盖合电控腔的盖板，盖板通过上翻铰链与机箱连接，盖板的表面设置有翻开盖板的提把。
9、进一步地，所述电控盒上设置有控制面板，控制面板延伸至机箱的表面。
10、进一步地，所述药桶输出阀与药桶接头之间的软管为pu弹簧软管。
11、进一步地，所述容纳腔的内壁设置有挂钩，桶盖的表面设置有与挂钩相互配合的挂环。
12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：启动供液泵后，桶内的药液依次经过药桶接头、药桶输出阀、供液泵、药液检测器、药液输出阀，最后通过出液口将药液送至生产设备，设置有支撑底板，支撑脚设置于支撑底板的一端使放置底板的表面倾斜，保证药液面聚集于抽液管的管口处，有效的减少了桶内会残留无法抽走的药液，减少药液的浪费，节省生产成本。
1.一种在线式供液柜装置，包括机箱，机箱内设置有电控腔和容纳腔，电控腔内设置有电控盒，容纳腔内设置有药液桶，其特征在于：所述电控腔设置于容纳腔的上端，容纳腔内设置有药桶底座和供液管路，药桶底座上设置有定位凹槽，定位凹槽内设置有用于放置药液桶的支撑底板，支撑底板与定位凹槽之间设置有支撑脚，支撑脚设置于支撑底板的一端使放置底板的表面倾斜；
2.根据权利要求1所述的一种在线式供液柜装置，其特征在于：所述药桶底座的侧壁设置有液面传感器，液面传感器与电控盒电性连接，液面传感器用于检测药液桶内设置液面高度，并将电信号传送给电控盒，电控盒接收到感应信号后控制药液输出阀、供液泵和药桶输出阀的工作状态。
3.根据权利要求2所述的一种在线式供液柜装置，其特征在于：所述药桶底座的侧壁设置有用于安装液面传感器的传感器底座，液面传感器的一端穿过传感器底座延伸至定位凹槽内。
4.根据权利要求1所述的一种在线式供液柜装置，其特征在于：所述机箱上设置有一对用于盖合容纳腔的门板，门板的表面设置有用于通风的透气孔，门板的内侧设置有吸铁石，容纳腔的边缘设置有与吸铁石相互吸附配合的定位磁条。
5.根据权利要求1所述的一种在线式供液柜装置，其特征在于：所述机箱上设置有用于盖合电控腔的盖板，盖板通过上翻铰链与机箱连接，盖板的表面设置有翻开盖板的提把。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的一种在线式供液柜装置，其特征在于：所述电控盒上设置有控制面板，控制面板延伸至机箱的表面。
7.根据权利要求1-5任意一项所述的一种在线式供液柜装置，其特征在于：所述药桶输出阀与药桶接头之间的软管为pu弹簧软管。
8.根据权利要求1-5任意一项所述的一种在线式供液柜装置，其特征在于：所述容纳腔的内壁设置有挂钩，桶盖的表面设置有与挂钩相互配合的挂环。
