本技术涉及半导体清洗装置，具体为镂空式清洗花篮。
背景技术：
1、当晶圆完成正面器件制作后，通过背面工艺对晶圆进行减薄作业，例如将晶圆厚度从750um减薄到200um左右，减薄后的晶圆经过背面湿法化学处理，然后在背面沉积ti、ni或ag等金属，从而能够有效降低所制成芯片的导通电阻与热效应，减少能源的损耗并保证芯片的可靠性，减薄作业通常采用机械研磨的方式，研磨时会在晶圆的背面形成损伤层，此时可以将多片待处理的晶圆放置于清洗花篮中，再将清洗花篮浸没于酸槽中进行蚀刻，从而将晶圆背面去除一定厚度，达到去除损伤层的目的。
2、公开号为“cn210640198u”的实用新型专利申请文件公开了一种pfa清洗花篮，主要有第一侧板、第二侧板、第一槽齿板和第二槽齿板，该技术方案解决了现有花篮强度低，易破碎的问题，而且通过在结构上进行改进，使得液体在清洗空间内的流动性更好，通风性更好，达到较好的清洗半导体的目的。
3、上述文件公开的pfa清洗花篮存在以下缺陷：该pfa清洗花篮在清洗晶圆过程中晶圆可能因浮力因素导致晶圆从清洗花篮中滑出，导致成品的质量下降。
4、由此可知，现有的pfa清洗花篮不具备对晶圆固定的结构，需要对现有不足进行改进，提供镂空式清洗花篮。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供镂空式清洗花篮，以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
3、本实用新型为镂空式清洗花篮，包括清洗花篮主体，所述清洗花篮主体的顶部设有限位结构和支撑结构，所述限位结构包括第一横板、第一竖板、挡板、滑块、弹簧、导向杆和限位杆，所述第一横板的两端均设有第一竖板，两个所述第一竖板下表面均设有挡板，两个所述挡板的一侧均设有滑块，所述第一横板的上表面设有导向杆，所述导向杆固定为两个且对称设置，两个所述导向杆的外表面均套设有弹簧，两个所述挡板之间设有若干个限位杆，所述支撑结构包括第二横板、第二竖板和连接杆，所述第二横板的两端均设有第二竖板，两个所述第二竖板的下表面均设有连接杆。
4、进一步地，所述第二横板的上表面开设有通孔，所述通孔固定为两个且对称设置，两个所述通孔的内部均滑动连接有导向杆，两个所述第二竖板的一侧均开设有滑槽，两个所述滑槽的内部均滑动连接有滑块，所述弹簧的一端安装在第一横板的上表面，所述弹簧的另一端安装在第二横板的下表面。
5、进一步地，两个所述导向杆的上表面均安装有限位块。
6、进一步地，所述第一横板的外表面设有矩形块，所述矩形块的下表面开设有开口，所述开口的内表面设有海绵块，通过设置的矩形块方便使用人员的手部拉动第一横板，同时配合海绵块可以进一步增加使用人员的舒适感，减少手部与矩形块的摩擦。
7、进一步地，所述清洗花篮主体的两侧均开设有卡槽，两个所述卡槽的内部均卡接有连接杆。
8、进一步地，所述清洗花篮主体的内部开设有若干个容槽，所述清洗花篮主体两侧均开设有若干个通口，所述通口与容槽一一对应且相互连通。
9、进一步地，所述容槽的内部安装有晶圆块，所述晶圆块的外表面与限位杆的外表面相抵接，所述清洗花篮主体的两侧均开设有扣位。
10、本实用新型具有以下有益效果：
11、(1)本实用新型通过限位结构与支撑结构的配合使用，可以对清洗花篮主体内部的晶圆块进行限位固定，避免晶圆在清洗的过程中从清洗花篮主体的内部滑出。
12、(2)本实用新型通过清洗花篮主体两侧均开设的通口，使清洗花篮主体的两侧形成镂空，进而方便清洗刷干时，更好的循环，而且底部不会残留水迹。
13、当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
1.镂空式清洗花篮，包括清洗花篮主体(1)，其特征在于：所述清洗花篮主体(1)的顶部设有限位结构(2)和支撑结构(3)；
2.根据权利要求1所述的镂空式清洗花篮，其特征在于：所述第二横板(301)的上表面开设有通孔(30101)，所述通孔(30101)固定为两个且对称设置，两个所述通孔(30101)的内部均滑动连接有导向杆(206)，两个所述第二竖板(302)的一侧均开设有滑槽(30201)，两个所述滑槽(30201)的内部均滑动连接有滑块(204)，所述弹簧(205)的一端安装在第一横板(201)的上表面，所述弹簧(205)的另一端安装在第二横板(301)的下表面。
3.根据权利要求1所述的镂空式清洗花篮，其特征在于：两个所述导向杆(206)的上表面均安装有限位块(4)。
4.根据权利要求1所述的镂空式清洗花篮，其特征在于：所述第一横板(201)的外表面设有矩形块(20101)，所述矩形块(20101)的下表面开设有开口，所述开口的内表面设有海绵块。
5.根据权利要求1所述的镂空式清洗花篮，其特征在于：所述清洗花篮主体(1)的两侧均开设有卡槽(101)，两个所述卡槽(101)的内部均卡接有连接杆(303)。
6.根据权利要求1所述的镂空式清洗花篮，其特征在于：所述清洗花篮主体(1)的内部开设有若干个容槽，所述清洗花篮主体(1)两侧均开设有若干个通口(102)，所述通口(102)与容槽一一对应且相互连通。
7.根据权利要求6所述的镂空式清洗花篮，其特征在于：所述容槽的内部安装有晶圆块(5)，所述晶圆块(5)的外表面与限位杆(207)的外表面相抵接，所述清洗花篮主体(1)的两侧均开设有扣位(103)。
