本技术涉及缓冲罐,具体为一种硅晶圆提炼缓冲罐。
背景技术:
1、缓冲罐主要用于各种系统中缓冲系统的压力波动,使系统工作更平稳。缓冲罐的缓冲性能主要通过压缩罐内的压缩空气来实现。
2、现有的硅晶圆提炼缓冲罐,缓冲罐本身用于对气体管路进行气压稳定,但是如果缓冲罐内的压强不稳定时,则无法有效地对气体管路进行压强稳定。
技术实现思路
1、鉴于现有一种硅晶圆提炼缓冲罐中存在的问题,提出了本实用新型。
2、因此,本实用新型的目的是提供一种硅晶圆提炼缓冲罐,解决了现有的硅晶圆提炼缓冲罐,缓冲罐本身用于对气体管路进行气压稳定,但是如果缓冲罐内的压强不稳定时,则无法有效地对气体管路进行压强稳定的问题。
3、为解决上述技术问题,根据本实用新型的一个方面,本实用新型提供了如下技术方案:
4、一种硅晶圆提炼缓冲罐,包括缓冲罐本体,所述缓冲罐本体的顶端和底端设有进出气口,还包括与缓冲罐本体对接的辅助罐;
5、所述辅助罐和缓冲罐本体之间设置有抽气机构,所述抽气机构能够将缓冲罐本体中的气体抽入到辅助罐中,也能够将辅助罐中的气体抽入到缓冲罐本体中。
6、作为本实用新型所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐的一种优选方案,其中:所述缓冲罐本体上设有第一稳压进出气口和第二稳压进出气口,所述第一稳压进出气口通过导管一连接辅助罐,所述第二稳压进出气口通过导管二连接辅助罐。
7、作为本实用新型所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐的一种优选方案,其中:所述导管一上安装有第一气泵,所述导管二上安装有第二气泵,所述导管一和导管二上均安装有阀门。
8、作为本实用新型所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐的一种优选方案,其中:所述抽气机构包括筒体,所述筒体的左右两端的顶部和底部均设有进出气口,右上角所述进出气口通过第一导管连接辅助罐,右下角所述进出气口通过第二导管连接辅助罐;
9、左上角所述进出气口通过第三导管连接第一稳压进出气口,左下角所述进出气口通过第四导管连接第二稳压进出气口;
10、所述筒体内壁滑动连接有活塞,所述活塞的一端固定连接有活塞杆,所述活塞杆的相对另一端连接有推进组件。
11、作为本实用新型所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐的一种优选方案,其中:所述推进组件包括牵引杆,所述牵引杆和筒体之间可拆卸安装有电动伸缩杆。
12、作为本实用新型所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐的一种优选方案,其中:所述第一导管、第二导管、第三导管和第四导管上安装有阀门。
13、作为本实用新型所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐的一种优选方案,其中:所述筒体的顶端焊接有第一支撑连接座,所述第一支撑连接座的内壁插接电动伸缩杆,电动伸缩杆和第一支撑连接座之间通过螺栓固定。
14、作为本实用新型所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐的一种优选方案,其中:所述牵引杆的上焊接有第二支撑连接座,所述第二支撑连接座内壁插接电动伸缩杆,电动伸缩杆和第二支撑连接座之间通过螺栓固定。
15、与现有技术相比:
16、通过设置抽气机构和辅助罐,并利用管道将辅助罐与缓冲罐本体之间对接,当缓冲罐本体中的气压偏低时,将辅助罐中的气体抽入到缓冲罐本体中;当缓冲罐本体中的气压偏高时,将缓冲罐本体中的气体抽入到辅助罐中,从而能够维持缓冲罐本体中的气压平衡。
1.一种硅晶圆提炼缓冲罐,包括缓冲罐本体(1),所述缓冲罐本体(1)的顶端和底端设有进出气口(2,3),其特征在于:还包括与缓冲罐本体(1)对接的辅助罐(11);
2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐,其特征在于,所述缓冲罐本体(1)上设有第一稳压进出气口(5)和第二稳压进出气口(6),所述第一稳压进出气口(5)通过导管一(9)连接辅助罐(11),所述第二稳压进出气口(6)通过导管二(10)连接辅助罐(11)。
3.根据权利要求2所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐,其特征在于,所述导管一(9)上安装有第一气泵(7),所述导管二(10)上安装有第二气泵(8),所述导管一(9)和导管二(10)上均安装有阀门。
4.根据权利要求1所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐,其特征在于,所述抽气机构包括筒体(16),所述筒体(16)的左右两端的顶部和底部均设有进出气口,右上角所述进出气口通过第一导管(12)连接辅助罐(11),右下角所述进出气口通过第二导管(13)连接辅助罐(11);
5.根据权利要求4所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐,其特征在于,所述推进组件包括牵引杆(17),所述牵引杆(17)和筒体(16)之间可拆卸安装有电动伸缩杆(19)。
6.根据权利要求4或5所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐,其特征在于,所述第一导管(12)、第二导管(13)、第三导管(14)和第四导管(15)上安装有阀门。
7.根据权利要求5所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐,其特征在于,所述筒体(16)的顶端焊接有第一支撑连接座(21),所述第一支撑连接座(21)的内壁插接电动伸缩杆(19),电动伸缩杆(19)和第一支撑连接座(21)之间通过螺栓固定。
8.根据权利要求5所述的一种硅晶圆提炼缓冲罐,其特征在于,所述牵引杆(17)的上焊接有第二支撑连接座(22),所述第二支撑连接座(22)内壁插接电动伸缩杆(19),电动伸缩杆(19)和第二支撑连接座(22)之间通过螺栓固定。
