一个或多个实施例涉及用于制造显示装置的装置和方法。更具体地,一个或多个实施例涉及用于制造显示装置的装置和方法,该装置包括用于调节喷嘴的喷射角度的角度限制板。
背景技术:
1、显示装置通过接收关于图像的信息来显示图像。制造显示装置的工艺包括沉积厚度为几纳米至几微米的各种类型的薄膜的工艺。
2、薄膜沉积中的热蒸发可以包括通过加热沉积材料来蒸发和/或升华沉积材料,然后通过使用喷嘴将沉积材料喷射到基板上的工艺。与具有相对低温度的基板接触的沉积材料可以凝结在基板上以形成层。为了沉积材料的顺利蒸发、升华和喷射,蒸发源可能必须保持高温。
3、在蒸发源上方,用于调节喷嘴的喷射角度的角度限制板可以布置在喷嘴的相反侧或围绕喷嘴布置。蒸发源保持高温,因此,可以在布置在蒸发源的上端的角度限制板中发生热传递。因此,角度限制板的表面的温度可能升高。
4、由喷嘴喷射的沉积材料的一部分可能被角度限制板阻挡,因此可能不到达基板并且可能设置在角度限制板的表面上。当角度限制板的表面温度由于来自蒸发源的热传递而升高时,设置在角度限制板的表面上的沉积材料可能再次蒸发或升华,并且可能放置在由喷嘴喷射的沉积材料的喷射路径上。在这种情况下,从角度限制板的表面蒸发的沉积材料可能中断由喷嘴喷射的沉积材料的喷射路径,因此,顺利沉积可能变得困难。
技术实现思路
1、一个或多个实施例包括用于制造显示装置的装置和制造显示装置的方法,其中所述装置包括角度限制板,该角度限制板在其中限定多个狭缝以中断热传递,从而有效地降低角度限制板的表面温度。然而,这是一示例,并且本公开的范围不限于此。
2、附加方面将在下面的描述中部分地阐述,并且其一部分将从描述中显而易见,或者可以通过实践本公开的呈现的实施例来习得。
3、根据一个或多个实施例,用于制造显示装置的装置包括:蒸发源,包括配置以喷射沉积材料的喷嘴;第一框架,布置在所述蒸发源上,并且所述第一框架中限定有沟槽;以及第一角度限制板,布置在所述第一框架的所述沟槽中,并且所述第一角度限制板中限定有多个狭缝,其中所述沟槽在所述第一框架的长度方向上延伸。
4、所述第一框架的所述沟槽可以在所述第一框架的厚度方向上穿过所述第一框架。
5、所述第一框架的厚度可以大于所述第一角度限制板的厚度。
6、所述第一角度限制板可以限定从所述第一角度限制板的中心部分朝向所述第一角度限制板的侧表面延伸的第一狭缝,并且所述多个狭缝可以包括所述第一狭缝。
7、所述第一角度限制板可以限定从所述第一角度限制板的第一侧表面朝向所述第一角度限制板的中心部分延伸的第二狭缝,并且所述多个狭缝可以包括所述第二狭缝。
8、所述第一角度限制板可以进一步限定从所述第一角度限制板的第二侧表面朝向所述第一角度限制板的所述中心部分延伸的第三狭缝,所述第二侧表面可以与所述第一侧表面相反,并且所述多个狭缝可以包括所述第三狭缝。
9、所述多个狭缝中的至少一个可以在相对于所述第一角度限制板的厚度方向倾斜的方向上穿过所述第一角度限制板。
10、所述装置可以进一步包括:第二框架,布置在所述蒸发源上以面对所述第一框架,所述喷嘴在所述第二框架与所述第一框架之间,其中所述第二框架中限定有沟槽;以及第二角度限制板,布置在所述第二框架的所述沟槽中,并且所述第二角度限制板中限定有另外的多个狭缝,其中所述第二框架的所述沟槽可以在所述第二框架的长度方向上延伸。
11、所述第一角度限制板和所述第二角度限制板可以在所述第一框架的所述长度方向上呈直线形状,所述蒸发源可以被提供为多个,多个所述蒸发源可以在所述第一框架的所述长度方向上顺次布置并且设置在所述第一角度限制板与所述第二角度限制板之间。
12、所述蒸发源可以包括坩埚,布置在所述喷嘴下面;热源,布置成邻近所述坩埚;以及盖,布置在所述坩埚和所述热源上并限定与所述喷嘴重叠的开口。
13、所述喷嘴和所述盖可以布置成彼此间隔开。
14、根据一个或多个实施例,一种制造显示装置的方法包括:准备待处理的物体;准备能够储存沉积材料的蒸发源;通过使用提供在所述蒸发源中的热源加热所述沉积材料;以及通过朝向所述待处理的物体喷射加热的所述沉积材料而将加热的所述沉积材料沉积在所述待处理的物体上,其中在所述方法中,使用布置在所述蒸发源上并在其中限定沟槽的框架和布置在所述框架的所述沟槽中并限定多个狭缝的角度限制板。
15、在所述通过喷射加热的所述沉积材料而将加热的所述沉积材料沉积在所述待处理的物体上中,可以通过所述角度限制板来限制加热的所述沉积材料的喷射角度。
16、所述角度限制板可以限定从所述角度限制板的中心部分朝向所述角度限制板的侧表面延伸的第一狭缝,并且所述多个狭缝可以包括所述第一狭缝。
17、所述角度限制板可以限定从所述角度限制板的第一侧表面朝向所述角度限制板的中心部分延伸的第二狭缝,并且所述多个狭缝可以包括所述第二狭缝。
18、所述角度限制板可以进一步限定从所述第一角度限制板的第二侧表面朝向所述角度限制板的所述中心部分延伸的第三狭缝,所述第二侧表面可以与所述第一侧表面相反,并且所述多个狭缝可以包括所述第三狭缝。
19、所述多个狭缝可以中断经由所述角度限制板的热传递。
20、所述多个狭缝中的至少一个可以在相对于所述角度限制板的厚度方向倾斜的方向上穿过所述角度限制板。
21、在所述通过喷射加热的所述沉积材料而将加热的所述沉积材料沉积在所述待处理的物体上中,加热的所述沉积材料的至少一部分可以不穿过所述角度限制板的所述多个狭缝。
22、所述角度限制板可以在某一方向上呈直线形状,并且在所述通过喷射加热的所述沉积材料而将加热的所述沉积材料沉积在所述待处理的物体上中,所述待处理的物体可以相对于所述蒸发源在垂直于所述某一方向的方向上移动。
1.一种用于制造显示装置的装置,其特征在于,该装置包括:
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一框架的所述沟槽在所述第一框架的厚度方向上穿过所述第一框架。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一框架的厚度大于所述第一角度限制板的厚度。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一角度限制板限定从所述第一角度限制板的中心部分朝向所述第一角度限制板的侧表面延伸的第一狭缝,并且所述多个狭缝包括所述第一狭缝。
5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一角度限制板限定从所述第一角度限制板的第一侧表面朝向所述第一角度限制板的中心部分延伸的第二狭缝,并且所述多个狭缝包括所述第二狭缝。
6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述第一角度限制板进一步限定从所述第一角度限制板的第二侧表面朝向所述第一角度限制板的所述中心部分延伸的第三狭缝,所述第二侧表面与所述第一侧表面相反,并且所述多个狭缝包括所述第三狭缝。
7.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述多个狭缝中的至少一个在相对于所述第一角度限制板的厚度方向倾斜的方向上穿过所述第一角度限制板。
8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,进一步包括:
9.根据权利要求8所述的装置,其特征在于,所述第一角度限制板和所述第二角度限制板在所述第一框架的所述长度方向上呈直线形状,
10.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述蒸发源包括:
