旋转传输设备的制作方法

专利2026-07-19  7


本申请属于真空互联设备,具体地讲,涉及一种旋转传输设备。


背景技术:

1、传统集成电路微纳制造通常在超净间模式下进行。而未来集成电路原子级制造由于涉及超薄二维沟道材料,对其表界面状态十分敏感,必须在真空下进行。在常规大气压环境下下,材料表面仅需几纳秒时间便会吸附上各种气体分子而改变性质;而在超高真空环境下,该吸附时间可延长至数个小时,将有充足的时间对超薄二维沟道材料进行加工制造。因此真空互联设备对于未来的集成电路制造具有重要意义。

2、在真空互联设备中,样品传输装置是常见且重要的部件,对于工艺流程中各类材料的传输起到关键作用。因此,提供一种可灵活便捷移动的样品传输装置具有重要意义。


技术实现思路

1、本申请解决的技术问题是:如何提供一种可灵活便捷移动的旋转传输设备。

2、本申请公开了一种旋转传输设备,所述旋转传输设备包括:

3、伸展组件,所述伸展组件用于转动连接于主腔体;

4、取样头,所述取样头与所述伸展组件转动连接;

5、导向板,所述导向板与所述取样头滑动连接并且与所述伸展组件活动连接,所述伸展组件用于驱动所述导向板滑动并驱动所述取样头在沿着所述导向板的滑动方向上远离或靠近所述主腔体。

6、可选地,所述伸展组件包括第一主动杆、第一从动杆、第二主动杆和第二从动杆,所述第一从动杆的两端分别转动连接于所述第一主动杆和所述取样头,所述第二从动杆的两端分别转动连接于所述第二主动杆和所述取样头,所述导向板与所述第一从动杆、所述第二从动杆活动连接,所述第一主动杆和所述第二主动杆用于转动连接于主腔体。

7、可选地,所述伸展组件还包括主轴,所述第一主动杆与所述第二主动杆均转动连接于所述主轴,所述主轴用于转动连接于主腔体。

8、可选地,所述导向板开设有直条形滑槽,所述取样头设置有导向部,所述导向部与所述直条形滑槽滑动连接。

9、可选地,所述导向板开设有第一弧形滑槽和第二弧形滑槽,所述直条形滑槽位于所述第一弧形滑槽和所述第二弧形滑槽之间;所述第一从动杆设置有第一导向柱,所述第一导向柱与所述第一弧形滑槽滑动连接;所述第二从动杆设置有第二导向柱,所述第二导向柱与所述第二弧形滑槽滑动连接。

10、可选地,所述旋转传输设备还包括主腔体,所述伸展组件转动连接于所述主腔体,所述主腔体设置有取样窗,所述取样窗用于通过所述取样头。

11、可选地,所述取样窗的数量为多个,多个所述取样窗环绕设置于所述主腔体的侧壁。

12、可选地,所述旋转传输设备还包括第一驱动机构,所述第一驱动机构用于驱动所述主轴转动。

13、可选地,所述旋转传输设备还包括第二驱动机构,所述第二驱动机构用于驱动所述第一主动杆、所述第二主动杆绕所述主轴转动。

14、本申请提供的一种旋转传输设备,具有如下技术效果:

15、利用伸展组件来带动取样头进行伸缩运动和转动,从而可以使得取样头从不同位置获取样品并传送至其他不同位置,具有较大的灵活度和便捷度,并且旋转传输设备结构简单,可靠性强。



技术特征:

1.一种旋转传输设备,其特征在于,所述旋转传输设备包括:

2.根据权利要求1所述的旋转传输设备,其特征在于,所述伸展组件包括第一主动杆、第一从动杆、第二主动杆和第二从动杆,所述第一从动杆的两端分别转动连接于所述第一主动杆和所述取样头,所述第二从动杆的两端分别转动连接于所述第二主动杆和所述取样头,所述导向板与所述第一从动杆、所述第二从动杆活动连接,所述第一主动杆和所述第二主动杆用于转动连接于主腔体。

3.根据权利要求2所述的旋转传输设备,其特征在于,所述伸展组件还包括主轴,所述第一主动杆与所述第二主动杆均转动连接于所述主轴,所述主轴用于转动连接于主腔体。

4.根据权利要求2所述的旋转传输设备,其特征在于,所述导向板开设有直条形滑槽,所述取样头设置有导向部,所述导向部与所述直条形滑槽滑动连接。

5.根据权利要求4所述的旋转传输设备,其特征在于,所述导向板开设有第一弧形滑槽和第二弧形滑槽,所述直条形滑槽位于所述第一弧形滑槽和所述第二弧形滑槽之间;所述第一从动杆设置有第一导向柱,所述第一导向柱与所述第一弧形滑槽滑动连接;所述第二从动杆设置有第二导向柱,所述第二导向柱与所述第二弧形滑槽滑动连接。

6.根据权利要求1所述的旋转传输设备,其特征在于,所述旋转传输设备还包括主腔体,所述伸展组件转动连接于所述主腔体,所述主腔体设置有取样窗,所述取样窗用于通过所述取样头。

7.根据权利要求6所述的旋转传输设备,其特征在于,所述取样窗的数量为多个,多个所述取样窗环绕设置于所述主腔体的侧壁。

8.根据权利要求3所述的旋转传输设备,其特征在于,所述旋转传输设备还包括第一驱动机构,所述第一驱动机构用于驱动所述主轴转动。

9.根据权利要求3所述的旋转传输设备,其特征在于,所述旋转传输设备还包括第二驱动机构,所述第二驱动机构用于驱动所述第一主动杆、所述第二主动杆绕所述主轴转动。


技术总结
本申请提供了一种旋转传输设备,旋转传输设备包括伸展组件、取样头、导向板,伸展组件用于转动连接于主腔体,取样头与伸展组件转动连接,导向板与取样头滑动连接并且与伸展组件活动连接,伸展组件用于驱动导向板滑动并驱动取样头在沿着导向板的滑动方向上远离或靠近主腔体。利用伸展组件来带动取样头进行伸缩运动和转动,从而可以使得取样头从不同位置获取样品并传送至其他不同位置,具有较大的灵活度和便捷度,并且旋转传输设备结构简单,可靠性强。

技术研发人员:陈志敏,王欣然,丁孙安
受保护的技术使用者:苏州实验室
技术研发日:
技术公布日:2024/11/11
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