本发明涉及柔性发光材料蒸镀，尤其涉及一种可以使柔性基板旋转的蒸镀设备。
背景技术：
1、在oled（organic light-emitting diode，有机发光二极管）制造过程中，会涉及到成千上万道工序。而oled 的基板镀膜工序就是成千上万道工序中的一种。在oled的基板镀膜过程中，会将柔性基板先固定安装于蒸发舟的上方。再借助到蒸发舟对置于蒸发舟内的液体物料进行加热，使之蒸发并附着于柔性基板的底面上。随着oled的尺寸不断地增大，需要在较大面积的柔性基板上形成蒸镀膜。
2、然而，当较大面积的柔性基板安装于蒸发舟的上方时，受重力作用，产生变形，中部进行下垂，中部在竖直方向上的高度明显低于四周的高度，导致蒸镀膜在柔性基板的各部位的膜厚不一致，严重影响镀膜质量。
技术实现思路
1、本发明提供一种可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，用以解决当较大面积的柔性基板安装于蒸发舟的上方时，易导致蒸镀膜在柔性基板的各部位的膜厚不一致的问题。
2、本发明提供一种可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，包括：
3、蒸镀室；
4、托盘，安装于蒸镀室内，顶面用于承载柔性基板，能够绕自身轴线旋转，以带动柔性基板旋转；
5、蒸镀组件，安装于蒸镀室内，且位于托盘的上方，能够向下释放气态物料，以在柔性基板的顶面形成蒸镀膜。
6、在其中一些实施例中，蒸镀组件包括：
7、液态物料盛装皿，用于盛装液态物料，顶部形成有入料口；
8、第一加热器，安装于液态物料盛装皿的底部，能够发热，以加热液态物料蒸发皿；
9、第二加热器，安装于液态物料盛装皿的顶部，能够发热；
10、气流引导管，为多个，分别贯穿第一加热器和液态物料盛装皿的底部后穿入液态物料盛装皿内。
11、在其中一些实施例中，蒸镀组件还包括：
12、均温板，安装于液态物料盛装皿的底面与第一加热器的顶面之间。
13、在其中一些实施例中，蒸镀组件还包括：
14、第一测温探头，嵌设于均温板内；
15、和/或，第二测温探头，嵌设于第二加热器内。
16、在其中一些实施例中，第一加热器包括：
17、加热丝；
18、绝缘壳，形成于所述加热丝的外部。
19、在其中一些实施例中，还包括：
20、第三加热器，安装于托盘的下方，能够发热，以加热托盘。
21、在其中一些实施例中，还包括：
22、保温筒，罩设于第三加热器和托盘外，顶部形成有避让口。
23、在其中一些实施例中，还包括：
24、转轴，顶端与托盘的底端面的中部固定连接，底端穿过蒸镀室的底端延伸至蒸镀室外；
25、旋转驱动器，轴线竖直设置，输出轴与转轴的底端固定连接。
26、在其中一些实施例中，还包括：
27、磁流体密封轴承，套接于转轴的底端，顶端与蒸镀室的外底面固定连接。
28、在其中一些实施例中，蒸镀室设置有抽气口，通过抽气口能够与真空泵连通。
29、本发明的有益效果如下：本发明的可以使柔性基板旋转的蒸镀设备通过设置蒸镀室，蒸镀前，借助真空泵对蒸镀室进行抽真空处理，使蒸镀室内出现真空腔，降低残余气体粒子与蒸发粒子相撞几率，使得蒸发粒子能够沿直线移动。托盘安装于蒸镀室内，顶面用于承载柔性基板。蒸镀组件固定安装于蒸镀室内，且位于托盘的上方。蒸镀组件能够向下释放气态物料，以在柔性基板的顶面形成蒸镀膜。整体上，实现了向下蒸镀的方式，相对于传统的向上蒸镀的方式，借助托盘，使得面积较大的柔性基板的各部位在竖直方向上的高度一致，有利于在柔性基板的顶面上形成厚度较为均一的蒸镀膜，改善镀膜质量。安装柔性基板时，无需再借助夹具等工具，柔性基板在蒸镀过程中完全不会下坠，保障了蒸镀过程中柔性基板位置的稳定性。柔性基板的安装和拆卸极为方便，有利于柔性基板对准蒸镀组件，保障蒸镀效率，可实现批量化生产。而且，在蒸镀过程中，托盘能够绕自身轴线旋转，以带动柔性基板旋转，更加有利于在柔性基板的顶面上形成厚度较为均一的蒸镀膜，进一步地改善镀膜质量。
1.一种可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀组件包括：
3.根据权利要求2所述的可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀组件还包括：
4.根据权利要求3所述的可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀组件还包括：
5.根据权利要求2所述的可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，其特征在于，所述第一加热器包括：
6.根据权利要求1至5任一项所述的可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求6所述的可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求1至5任一项所述的可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，其特征在于，还包括：
9.根据权利要求8所述的可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，其特征在于，还包括：
10.根据权利要求1至5任一项所述的可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀室设置有抽气口，通过所述抽气口能够与真空泵连通。
