本申请涉及探针测试机领域，尤其是涉及一种用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构。
背景技术：
1、随着半导体行业的发展，晶圆级可靠性测试变得越来越重要。探针作为测试中的重要组件，其安装结构的稳定性和精确性直接影响到测试结果的准确性。
2、目前，常见的探针安装结构多采用夹持或粘接的方式，这种方式虽简单易行，但在长时间测试或复杂环境下，容易出现探针松动、偏移等问题，存在明显不足。
技术实现思路
1、为了提高探针安装的稳固性，本申请提供一种用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构。
2、本申请提供的一种用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构采用如下的技术方案：
3、一种用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，包括安装架和布置在安装架上的束针组件，所述束针组件包括两个关于安装架竖直中心线对称分布的卷线部，探针同轴于安装架的竖直中心线；所述卷线部包括转块和绞线臂，所述转块背向探针的一侧向靠近探针的方向开有安装盲槽，所述安装盲槽内放置有安装片，所述安装片上布置有转动穿过安装架且连接于绞线臂的转杆，两个绞线臂之间系有两个相互相互平行的弹性束针线，探针位于两个弹性束针线之间，探针上布置有用于与弹性束针线配合对其实现轴向限位的限位束珠；两个转块上分别连接有第一绕线轮，两个第一绕线轮之间绕卷有联动拉线，所述联动拉线在两个第一绕线轮上的绕卷方向相同，其中一个第一绕线轮同轴布置有手柄，所述安装架上布置有侧边支架，所述手柄上螺纹连接有抵紧于侧边支架的紧固螺栓，另一个第一绕线轮同轴布置有第二绕线轮，所述安装架上转动布置有第三绕线轮，所述第二绕线轮和第三绕线轮之间系有弹性复位线，当手柄所在第一绕线轮绕卷联动拉线时，所述第二绕线轮同步收卷弹性复位线。
4、通过采用上述技术方案，工人手动将探针竖向放置于两个弹性束针线之间，之后转动手柄，手柄带动对应的第一绕线轮对联动拉线实现绕卷，另一个第一绕线轮对联动拉线实现放卷，以此两个转块分别带动对应的绞线臂同步且反向转动，两个弹性束针线绞为一股且探针被绞在两个弹性束针线之间。与此同时，第三绕线轮上的弹性复位线被绕卷至第二绕线轮上且被不断拉伸，后续只需拧紧紧固螺栓使其抵紧侧边支架，便实现了探针的稳固安装。相较于夹持和粘接，本申请中探针的安装方式简便且牢固，不容易出现松动和偏移等问题。
5、可选的，所述卷线部在支撑架上沿着从上往下的方向两两布置有多组，所述转块上通过键槽和平键滑动套设有联动齿轮，位于探针同一侧竖向相邻两个转块上的联动齿轮啮合。
6、通过采用上述技术方案，多组两两配合的卷线部共同对探针轴向位置的多处实现绞紧，进一步提高了探针安装的稳固性。
7、可选的，所述安装盲槽内相对安装片朝向探针的一侧布置有弹性弧片，所述弹性弧片的两端均抵触安装盲槽的封闭端，所述转杆滑动且转动穿过弹性弧片。
8、通过采用上述技术方案，当探针下降进行测试时，探针的针尖会插至晶圆的焊垫上，弹性弧板能够将探针与焊垫之间的接触转变为柔性接触，一方面提高接触的稳固性，另一方面能够减小了晶圆因探针的刚性接触而受损的可能性。
9、可选的，所述限位束珠的直径沿着顶端和底端至其高度的中点处逐渐变小，所述限位束珠对应的两个弹性束针线绞于其直径最小处。
10、通过采用上述技术方案，将绞线位置布置于限位束珠直径的最小处，以此限位束珠直径的较大位置能够限制探针相对绞线位置轴向移动的可能性。
11、可选的，所述安装架上开有平行于探针的滑槽，所述滑槽滑动配合有滑架，所述滑架和滑槽的端部之间布置有复位拉簧，所述滑架上转动布置有束针架，探针滑动穿过束针架。
12、通过采用上述技术方案，安装探针时，工人向下拉动束针架并转动一定角度，将探针穿过束针架后回转，直至探针保持竖直，松开束针架后，复位拉簧拉动束针架向上实现复位。
13、可选的，所述束针架的端部呈l型，所述安装架的底部开有用于与束针架的端部插接配合的限位插孔。
14、通过采用上述技术方案，束针架端部与限位插孔插接配合，有利于探针保持竖直。
15、可选的，所述绞线臂上开有环槽，所述绞线臂上绑有用于将弹性束针线的端部扎于环槽内的扎线。
16、通过采用上述技术方案，工人使用扎线将弹性束针线的端部绑扎至环槽内，操作方便。
17、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
18、1.工人手动将探针竖向放置于两个弹性束针线之间，之后转动手柄，手柄带动对应的第一绕线轮对联动拉线实现绕卷，另一个第一绕线轮对联动拉线实现放卷，以此两个转块分别带动对应的绞线臂同步且反向转动，两个弹性束针线绞为一股且探针被绞在两个弹性束针线之间。与此同时，第三绕线轮上的弹性复位线被绕卷至第二绕线轮上且被不断拉伸，后续只需拧紧紧固螺栓使其抵紧侧边支架，便实现了探针的稳固安装。相较于夹持和粘接，本申请中探针的安装方式简便且牢固，不容易出现松动和偏移等问题。
19、2.当探针下降进行测试时，探针的针尖会插至晶圆的焊垫上，弹性弧板能够将探针与焊垫之间的接触转变为柔性接触，一方面提高接触的稳固性，另一方面能够减小了晶圆因探针的刚性接触而受损的可能性。
1.一种用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：包括安装架(2)和布置在安装架(2)上的束针组件，所述束针组件包括两个关于安装架(2)竖直中心线对称分布的卷线部，探针(1)同轴于安装架(2)的竖直中心线；
2.根据权利要求1所述的用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：所述卷线部在支撑架上沿着从上往下的方向两两布置有多组，所述转块(31)上通过键槽和平键滑动套设有联动齿轮(13)，位于探针(1)同一侧竖向相邻两个转块(31)上的联动齿轮(13)啮合。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：所述安装盲槽(310)内相对安装片(33)朝向探针(1)的一侧布置有弹性弧片(14)，所述弹性弧片(14)的两端均抵触安装盲槽(310)的封闭端，所述转杆(34)滑动且转动穿过弹性弧片(14)。
4.根据权利要求1所述的用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：所述限位束珠(4)的直径沿着顶端和底端至其高度的中点处逐渐变小，所述限位束珠(4)对应的两个弹性束针线(35)绞于其直径最小处。
5.根据权利要求1所述的用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：所述安装架(2)上开有平行于探针(1)的滑槽(21)，所述滑槽(21)滑动配合有滑架(15)，所述滑架(15)和滑槽(21)的端部之间布置有复位拉簧(17)，所述滑架(15)上转动布置有束针架(16)，探针(1)滑动穿过束针架(16)。
6.根据权利要求5所述的用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：所述束针架(16)的端部呈l型，所述安装架(2)的底部开有用于与束针架(16)的端部插接配合的限位插孔(22)。
7.根据权利要求1所述的用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：所述绞线臂(32)上开有环槽(321)，所述绞线臂(32)上绑有用于将弹性束针线(35)的端部扎于环槽(321)内的扎线(18)。
