本发明涉及半导体设备，尤其是指一种防尘机械臂驱动机构及方法。
背景技术：
1、拖链又名电线电缆保护拖链，是一种束缚电缆或电线或空压管及油压管以方便其转动及运动的装置。拖链应用于往复运动的场合，能够对内置的电缆、油管、气管、水管等起到牵引和保护的作用。
2、在半导体加工中，拖链与半导体加工设备处于同一环境，由于难以防止拖链移动过程中灰尘飞溅，防尘效果差，影响半导体加工精度。
技术实现思路
1、本发明针对现有技术的不足，提供一种防尘机械臂驱动机构，满足不同高度晶圆抓取需求，防止灰尘进入拖链本体和密封仓，提升防尘效果，保障加工精度。
2、为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
3、本发明提供一种防尘机械臂驱动机构，包括密封仓、连接于密封仓的第一防尘组件及与第一防尘组件驱动连接的第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动连接搬运臂，所述密封仓安装有拖链本体，所述第一防尘组件设置有连通拖链本体和第一驱动机构的安装口；
4、所述第一驱动机构带动搬运臂上下移动，带动所述第一防尘组件与搬运臂同步移动，以使得第一防尘组件遮挡拖链本体。
5、其中，所述密封仓内部设置有安装腔，所述拖链本体安装于安装腔，所述安装腔的一端安装有进风网，所述安装腔的另一端连通有排尘管，所述进风网与安装腔连通；
6、所述排尘管的外端穿出安装腔后连接有抽尘风机，所述抽尘风机的输出端连接有导尘管。
7、其中，所述密封仓设置有与安装腔连通的活动口，所述第一防尘组件包括滑动连接于活动口的移动件和与移动件连接的防尘件，所述安装口设置于移动件，所述移动件与第一驱动机构驱动连接，所述第一驱动机构带动移动件移动，以使得所述防尘件遮挡活动口。
8、其中，所述防尘机械臂驱动机构还包括安装仓和第二驱动机构，所述密封仓滑动连接于安装仓，所述第二驱动机构与密封仓驱动连接，所述安装仓安装有第二防尘组件，所述第二防尘组件与第二驱动机构驱动连接；
9、所述第二驱动机构带动密封仓水平移动，以使得所述第二防尘组件遮挡密封仓与安装仓连接处。
10、其中，所述密封仓连接有支撑盘，所述支撑盘转动连接有滑动连接于安装仓的安装架，所述密封仓通过安装架与第二驱动机构驱动连接，所述支撑盘设置有穿管孔，所述导尘管的外端穿过穿管孔和第二防尘组件后伸入安装仓，所述第二防尘组件与导尘管转动连接；
11、所述安装架连接有驱动电机，所述驱动电机与支撑盘驱动连接，所述驱动电机带动支撑盘转动，以使得所述密封仓水平转动。
12、其中，所述安装腔内安装有进风风机，所述进风风机负压抽取进风网处的空气以推动密封仓内的空气由排尘管排出。
13、其中，所述安装腔内安装有多个转轴，所述防尘件套设于转轴，所述防尘件的两对立侧均贴合活动口的内侧，所述防尘件与安装腔内壁之间留有间隙，所述防尘件的内侧围成有用于容置拖链本体的空间。
14、其中，所述安装仓的顶端设置有容置腔，所述第二防尘组件包括在容置腔内移动且遮挡容置腔顶端开口的挡尘件，所述导尘管的外端伸入挡尘件内侧，所述导尘管与挡尘件转动连接；
15、所述容置腔内安装有多个支撑轴，所述挡尘件套设于支撑轴，所述容置腔的底部设置有出尘孔，所述挡尘件与容置腔内壁之间留有间隙。
16、本发明还提供一种防尘机械臂驱动方法，包括以下步骤：
17、s01、采用第一驱动机构和/或第二驱动机构带动密封仓移动，以使得搬运臂实现上下移动和/或水平移动；
18、s02、采用驱动电机带动支撑盘转动，带动密封仓水平转动，以使得搬运臂水平转动；
19、s03、在步骤s01中，当第一驱动机构带动搬运臂上下移动，带动第一防尘组件与搬运臂同步移动，以使得第一防尘组件遮挡拖链本体，阻挡灰尘进入拖链本体；
20、当第二驱动机构带动密封仓水平移动，使得第二防尘组件遮挡密封仓与安装仓的连接处，阻挡灰尘沿密封仓与安装仓的连接处进入安装仓。
21、本发明的有益效果：
22、实际应用时，通过第一驱动机构带动搬运臂上下移动，满足搬运臂的不同高度抓取需求，便于顺利抓取晶圆；搬运臂移动的同时带动第一防尘组件同步移动，遮挡拖链本体，防止灰尘进入拖链本体和密封仓，提升防尘效果，保障加工精度。
1.一种防尘机械臂驱动机构，其特征在于，包括密封仓(1)、连接于密封仓(1)的第一防尘组件(2)及与第一防尘组件(2)驱动连接的第一驱动机构(3)，所述第一驱动机构(3)驱动连接搬运臂(01)，所述密封仓(1)安装有拖链本体(100)，所述第一防尘组件(2)设置有连通拖链本体(100)和第一驱动机构(3)的安装口(201)；
2.根据权利要求1所述的防尘机械臂驱动机构，其特征在于，所述密封仓(1)内部设置有安装腔(101)，所述拖链本体(100)安装于安装腔(101)，所述安装腔(101)的一端安装有进风网(11)，所述安装腔(101)的另一端连通有排尘管(12)，所述进风网(11)与安装腔(101)连通；
3.根据权利要求2所述的防尘机械臂驱动机构，其特征在于，所述密封仓(1)设置有与安装腔(101)连通的活动口(102)，所述第一防尘组件(2)包括滑动连接于活动口(102)的移动件(21)和与移动件(21)连接的防尘件(22)，所述安装口(201)设置于移动件(21)，所述移动件(21)与第一驱动机构(3)驱动连接，所述第一驱动机构(3)带动移动件(21)移动，以使得所述防尘件(22)遮挡活动口(102)。
4.根据权利要求2所述的防尘机械臂驱动机构，其特征在于，所述防尘机械臂驱动机构还包括安装仓(4)和第二驱动机构(5)，所述密封仓(1)滑动连接于安装仓(4)，所述第二驱动机构(5)与密封仓(1)驱动连接，所述安装仓(4)安装有第二防尘组件(6)，所述第二防尘组件(6)与第二驱动机构(5)驱动连接；
5.根据权利要求4所述的防尘机械臂驱动机构，其特征在于，所述密封仓(1)连接有支撑盘(15)，所述支撑盘(15)转动连接有滑动连接于安装仓(4)的安装架(16)，所述密封仓(1)通过安装架(16)与第二驱动机构(5)驱动连接，所述支撑盘(15)设置有穿管孔(151)，所述导尘管(14)的外端穿过穿管孔(151)和第二防尘组件(6)后伸入安装仓(4)，所述第二防尘组件(6)与导尘管(14)转动连接；
6.根据权利要求2所述的防尘机械臂驱动机构，其特征在于，所述安装腔(101)内安装有进风风机(1011)，所述进风风机(1011)负压抽取进风网(11)处的空气以推动密封仓(1)内的空气由排尘管(12)排出。
7.根据权利要求3所述的防尘机械臂驱动机构，其特征在于，所述安装腔(101)内安装有多个转轴(1012)，所述防尘件(22)套设于转轴(1012)，所述防尘件(22)的两对立侧均贴合活动口(102)的内侧，所述防尘件(22)与安装腔(101)内壁之间留有间隙，所述防尘件(22)的内侧围成有用于容置拖链本体(100)的空间。
8.根据权利要求5所述的防尘机械臂驱动机构，其特征在于，所述安装仓(4)的顶端设置有容置腔(401)，所述第二防尘组件(6)包括在容置腔(401)内移动且遮挡容置腔(401)顶端开口的挡尘件(61)，所述导尘管(14)的外端伸入挡尘件(61)内侧，所述导尘管(14)与挡尘件(61)转动连接；
9.一种防尘机械臂驱动方法，其特征在于，包括以下步骤：
