一种PFA清洗花篮的制作方法

专利2026-06-21  2


本技术涉及清洗花篮,具体为一种pfa清洗花篮。


背景技术:

1、pfa清洗花篮是一种用于清洗硅片、导电玻璃等材料的工具,这种花篮采用pfa(聚四氟乙烯)材质,具有优异的耐腐蚀性和耐候性,能够抵抗化学清洗剂的侵蚀,保证清洗过程的稳定性和清洗效果。

2、目前,现有的清洗花篮缺乏灵活性,例如,一些清洗花篮可能没有可调节宽度的功能,因此只能适应特定尺寸和规格的晶圆或其他待清洗物品;此外,现有的清洗花篮在清洗过程中可能会产生多余液体滞留的问题,这不仅会影响工作区域的整洁度,还可能导致清洗液体在花篮中滞留,导致其他清洗花篮可能需要更长的时间来完成清洗任务,影响清洗效果和效率。因此,本实用新型提供了一种pfa清洗花篮。


技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种pfa清洗花篮,具备可调节宽度、提高工作效率等优点,解决了缺乏灵活性、液体管理不善的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述可调节宽度、提高工作效率目的,本实用新型提供如下技术方案:

5、一种pfa清洗花篮,该pfa清洗花篮采用12寸规格,包括清洗花篮结构,清洗花篮结构内部设有槽齿板结构;

6、清洗花篮结构包括主体板,所述主体板连接处设有挡板,所述侧板底部设有底板,所述底板顶部设有侧板,所述侧板之间设有晶圆,所述侧板与晶圆连接处设有槽齿板;

7、槽齿板结构包括位于槽齿板上的容置槽,所述容置槽底部设有连接骨,所述槽齿板底部左侧设有排水口。

8、作为本实用新型的一种优选技术方案,所述主体板顶部左右两侧设有挂耳,所述挂耳内部设有插孔,所述挂耳采用卡接的方式连接主体板的顶部。

9、作为本实用新型的一种优选技术方案,所述挡板采用卡接的方式连接主体板,所述挡板中部设有伸缩杆,所述伸缩杆可带动挡板进行伸缩移动。

10、作为本实用新型的一种优选技术方案,所述主体板固定连接在底板的顶部,所述侧板固定连接在前后主体板之间,所述晶圆放置在侧板内部的槽齿板上。

11、作为本实用新型的一种优选技术方案,位于左右两侧的所述槽齿板呈对称设计,所述槽齿板上共设有三排容置槽,位于底部的容置槽的垂直长度大于顶部的两排容置槽。

12、作为本实用新型的一种优选技术方案,所述主体板、挡板、底板、侧板和槽齿板均采用pfa作为材料,所述容置槽具有一定的深度和宽度。

13、(三)有益效果

14、与现有技术相比,本实用新型提供了一种pfa清洗花篮,具备以下有益效果:

15、该pfa清洗花篮,通过挡板内部伸缩杆的使用,使该清洗花篮能存放市场上的12寸的清洗花篮,同时能够适应不同尺寸和规格的晶圆或其他待清洗物品,能够满足多种清洗需求,同时,通过排水口的使用,能够有效地排除清洗过程中产生的多余液体,避免了清洗液体在花篮中滞留,使清洗花篮能够更快速、更有效地完成清洗任务。



技术特征:

1.一种pfa清洗花篮,该pfa清洗花篮采用12寸规格,包括清洗花篮结构,清洗花篮结构内部设有槽齿板结构;

2.根据权利要求1所述的一种pfa清洗花篮,其特征在于:所述主体板(1)顶部左右两侧设有挂耳(10),所述挂耳(10)内部设有插孔,所述挂耳(10)采用卡接的方式连接主体板(1)的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种pfa清洗花篮,其特征在于:所述挡板(2)采用卡接的方式连接主体板(1),所述挡板(2)中部设有伸缩杆(11),所述伸缩杆(11)可带动挡板(2)进行伸缩移动。

4.根据权利要求1所述的一种pfa清洗花篮,其特征在于:所述主体板(1)固定连接在底板(3)的顶部,所述侧板(4)固定连接在前后主体板(1)之间,所述晶圆(5)放置在侧板(4)内部的槽齿板(6)上。

5.根据权利要求1所述的一种pfa清洗花篮,其特征在于:位于左右两侧的所述槽齿板(6)呈对称设计,所述槽齿板(6)上共设有三排容置槽(7),位于底部的容置槽(7)的垂直长度大于顶部的两排容置槽(7)。

6.根据权利要求1所述的一种pfa清洗花篮,其特征在于:所述主体板(1)、挡板(2)、底板(3)、侧板(4)和槽齿板(6)均采用pfa作为材料,所述容置槽(7)具有一定的深度和宽度。


技术总结
本技术涉及清洗花篮技术领域,且公开了一种PFA清洗花篮,该PFA清洗花篮采用12寸规格,包括清洗花篮结构,清洗花篮结构内部设有槽齿板结构;清洗花篮结构包括主体板,所述主体板连接处设有挡板,所述侧板底部设有底板,所述底板顶部设有侧板,所述侧板之间设有晶圆,所述侧板与晶圆连接处设有槽齿板。该PFA清洗花篮,通过挡板内部伸缩杆的使用,使该清洗花篮能存放市场上的12寸的清洗花篮,同时能够适应不同尺寸和规格的晶圆或其他待清洗物品,能够满足多种清洗需求,同时,通过排水口的使用,能够有效地排除清洗过程中产生的多余液体,避免了清洗液体在花篮中滞留,使清洗花篮能够更快速、更有效地完成清洗任务。

技术研发人员:袁黔云
受保护的技术使用者:深圳市迈捷微科技有限公司
技术研发日:20240327
技术公布日:2024/11/11
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