本申请涉及涂布设备，尤其涉及一种涂布装置及涂布方法。
背景技术：
1、钙钛矿叠层电池的制备过程中，晶硅钙钛矿叠层电池涂布装置将钙钛矿溶液涂布于电池基板上。随着新能源的快速发展，钙钛矿电池的生产周期较长，无法满足钙钛矿电池的高通量生产需求，如何提高钙钛矿电池涂布装置的效率，是一件亟需解决的问题。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种涂布装置及涂布方法，旨提升涂布装置的涂布效率。
2、本申请第一方面的实施例提供了一种涂布装置，包括基板载台、涂布机构、第一传感器和第二传感器，基板载台具有涂布区域和位于涂布区域沿第一方向至少一侧的检测区域，涂布区域用于承载基板；涂布机构包括涂布头，涂布头沿第二方向和第三方向可移动设置；第一传感器，设置于涂布头并用于检测涂布头与检测区域之间的间距；第二传感器，设置于涂布头并用于检测涂布头与涂布区域之间的间距；其中，第一传感器的测量长度范围大于第二传感器的测量长度范围；第三方向垂直于涂布区域所在平面，第一方向、第二方向和第三方向两两相交设置。
3、根据本申请的实施例中，第一传感器设置在涂布头沿第一方向的至少一侧。
4、根据本申请的实施例中，第二传感器设置于涂布头沿第二方向的至少一侧。
5、根据本申请的实施例中，第一传感器在基板载台上的正投影至少部分位于检测区域。
6、根据本申请的实施例中，第二传感器在基板载台上的正投影至少部分位于涂布区域。
7、根据本申请的实施例中，涂布头朝向基板载台的一端开设有涂布开口，涂布装置还包括观察设备，观察设备用于观察涂布开口的出液情况；和/或，观察设备用于观察位于涂布区域的基板的涂布效果。
8、根据本申请的实施例中，涂布装置还包括供液系统和储液腔，储液腔设置于涂布头内，储液腔连通涂布开口，供液系统被配置为控制储液腔对涂布开口的供液量。
9、根据本申请的实施例中，涂布开口沿第一方向延伸设置，观察设备位于涂布头沿第二方向的一侧。
10、根据本申请的实施例中，涂布头包括沿第一方向间隔设置的多个涂布开口，观察设备位于涂布头沿第二方向的一侧。
11、根据本申请的实施例中，观察设备沿第三方向可移动设置。
12、根据本申请的实施例中，观察设备在第一位置用于观察涂布开口的出液情况，在第一位置，观察设备与基板载台之间沿第三方向具有第一间距，观察设备在第二位置用于观察位于涂布区域的基板的涂布效果，在第二位置，观察设备与基板载台之间沿第三方向具有第二间距，第二间距大于第一间距。
13、根据本申请的实施例中，涂布装置还包括第一升降机构，第一升降机构用于驱动观察设备沿第三方向移动。
14、根据本申请的实施例中，观察设备活动连接于第一升降机构以调整观察设备的观察方向。
15、根据本申请的实施例中，第一升降机构包括第一升降机和第二升降机，第二升降机位于第一升降机背离基板载台的一侧，第一升降机设置有第一连接部，第二升降机设置有第二连接部，观察设备可活动地连接于第一连接部和第二连接部，第一升降机用于驱动第一连接部沿第三方向移动，第二升降机用于驱动第二连接部沿第三方向移动。
16、根据本申请的实施例中，观察设备位于第一位置，第一连接部与基板载台之间沿第三方向的间距等于第二连接部与基板载台之间沿第三方向的间距。
17、根据本申请的实施例中，观察设备位于第二位置，第一连接部与基板载台之间沿第三方向的间距小于第二连接部与基板载台之间沿第三方向的间距。
18、根据本申请的实施例中，涂布装置还包括驱动机构，驱动机构用于驱动涂布头沿第二方向和第三方向移动。
19、根据本申请的实施例中，驱动机构包括竖向支撑组件和横向支撑组件，竖向支撑组件沿第二方向可移动设置，横向支撑组件沿第三方向可移动的连接于竖向支撑组件，涂布头连接于横向支撑组件。
20、根据本申请的实施例中，涂布装置还包括图像处理模块，图像处理模块电连接驱动机构和观察设备。
21、根据本申请的实施例中，图像处理模块被配置为观察设备观察涂布开口出液正常时，图像处理模块将第一电信号发送至驱动机构，驱动机构驱动涂布头沿第二方向对基板进行涂布。
22、根据本申请的实施例中，图像处理模块被配置为观察设备观察位于涂布区域的基板的涂布情况，基板涂布情况异常时，图像处理模块将第二电信号发送至驱动机构，驱动机构停止运行或者驱动机构驱动涂布头沿背离基板载台方向移动。
23、本申请第二方面实施例还提供一种涂布方法，包括：
24、在基板载台的涂布区域设置基板，涂布区域沿第一方向的至少一侧设置有检测区域；
25、涂布头沿靠近涂布区域方向移动，第一传感器检测涂布头与检测区域之间的间距；
26、涂布头与涂布区域之间的间距小于或等于第二传感器测量长度范围时，通过第二传感器检测涂布头与基板之间的间距，其中，第一传感器的测量长度范围大于第二传感器的测量长度范围。
27、根据本申请的一些实施例中，涂布头朝向基板载台的一端开设有涂布开口；涂布方法还包括：
28、观察设备观察涂布开口出液情况，涂布开口形成液帘后，涂布头沿第二方向移动对基板进行涂布，第一方向和第二方向相交，第一方向和第二方向平行于基板载台所在平面；
29、涂布完成后，观察设备观察位于涂布区域的基板的涂布效果。
30、在本申请的实施例中，第一传感器的测量长度范围大于第二传感器的测量长度范围，在涂布头与基板载台之间的间距较远时，通过第一传感器测量涂布头与检测区域之间的间距，从而在涂布头沿第三方向z靠近基板载台的过程中提供距离数据，从而能够提升涂布头的下落速度，第二传感器的测量程度较小，第二传感器的测量精度高于第一传感器的测量精度，当涂布头靠近涂布区域至第二传感器的测量长度范围时，通过第二传感器测量涂布头与涂布区域之间的间距，从而提升涂布头与位于涂布区域的基板之间间距的控制精度，即提升生产效率，又能提升涂布效果。
1.一种涂布装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述第一传感器设置在所述涂布头沿所述第一方向的至少一侧；
3.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述第二传感器设置于所述涂布头沿所述第二方向的至少一侧；
4.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布头朝向所述基板载台的一端开设有涂布开口，所述涂布装置还包括观察设备，所述观察设备用于观察所述涂布开口的出液情况；
5.根据权利要求4所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布开口沿第一方向延伸设置，所述观察设备位于所述涂布头沿所述第二方向的一侧。
6.根据权利要求4所述的涂布装置，其特征在于，所述观察设备沿所述第三方向可移动设置；
7.根据权利要求6所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布装置还包括第一升降机构，所述第一升降机构用于驱动所述观察设备沿所述第三方向移动；
8.根据权利要求7所述的涂布装置，其特征在于，所述第一升降机构包括第一升降机和第二升降机，所述第二升降机位于所述第一升降机背离所述基板载台的一侧，所述第一升降机设置有第一连接部，所述第二升降机设置有第二连接部，所述观察设备可活动地连接于所述第一连接部和所述第二连接部，所述第一升降机用于驱动所述第一连接部沿所述第三方向移动，所述第二升降机用于驱动所述第二连接部沿所述第三方向移动；
9.根据权利要求4所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布装置还包括驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述涂布头沿所述第二方向和所述第三方向移动；
10.根据权利要求9所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布装置还包括图像处理模块，所述图像处理模块电连接所述驱动机构和所述观察设备；
11.一种涂布方法，其特征在于，包括：
12.根据权利要求11所述的涂布方法，其特征在于，所述涂布头朝向所述基板载台的一端开设有涂布开口；所述涂布方法还包括：
