一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置及其磨削方法与流程

专利2026-06-13  0


本发明涉及晶棒加工设备,具体为一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置及其磨削方法。


背景技术:

1、晶棒(或称为晶体棒)加工是半导体制造过程中一个关键的步骤。晶棒通常是指由半导体材料制成的大型晶体,这些晶体经过加工后可以切割成多个单晶硅片,用于制造各种电子器件,晶棒工件加工过程中,例如切割、表面磨削、抛光等工序均需要一一应有加工设备。

2、在晶棒完成分段后,还需要对其外壁以及两个侧面进行初级磨削,去除侧面大部分不平整区域,但受限晶棒在分段后多呈现圆柱形,在完成一面加工后,需要将晶棒进行转向,再对另外一端进行磨削处理,在此过程中晶棒需要进行转向、定位、磨削等工序,效率极为低下,针对以上问题,提出下列方案。


技术实现思路

1、为解决上述技术问题,本发明提供一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置,包括底座,底座的顶部固定连接有马达,底座的顶部固定连接有横向磨削机,底座的顶部固定连接有支撑杆,支撑杆的侧壁处固定连接有竖向磨削机,支撑杆的侧壁处固定连接有控制组件;

2、转向机构,转向机构包括固定连接在马达输出轴的转动盘,转动盘的侧壁处固定连接由于转动板,转动盘的侧壁处开设有八个方形槽,转动板的侧壁处开设有八个入料圆槽,入料圆槽的内壁与方形槽的内壁为贯通状态,入料圆槽的内壁处开设有斜面槽,转动板的侧壁处开设有八个滑动槽,方形槽的内壁处放置有晶棒,转动盘的侧壁处固定连接有夹持组件。

3、优选的,控制组件包括固定连接在支撑杆侧壁处的弧形挡板,滑动槽的内壁处固定连接有弹簧伸缩杆一,弹簧伸缩杆一的另一端与l型滑杆的侧壁固定连接,利用晶棒完成切割后呈现圆柱形的特点,在设备内部设置有转动盘,在使用前,将该设备安装在所需位置,并接通马达的电源,马达带动转动盘进行顺时针旋转,而外部设备通过图4中晶棒的位置进行入料,晶棒通过入料圆槽放入方形槽内部后,跟随转动盘的旋转同步移动,在晶棒刚放入方形槽内部时,方形槽的出口处于顶部,而方形槽的底部为一个弧形面,该弧形面将拖着晶棒进行移动,而随着转动盘的旋转,晶棒裸露在外的一侧与竖向磨削机的磨盘接触,完成晶棒一侧的初步磨削,在磨削的过程中,转动盘仍然旋转,并带动晶棒继续移动,此时方形槽的出口逐渐转向下方,且方形槽的弧形面无法再为晶棒提供一个托起的力,再加上晶棒受自身重量的影响,晶棒的外壁与入料圆槽的内壁接触,晶棒将以上接触点作为中心点向下转动,呈现如图5所示的状态,使晶棒未磨削加工的一端从方形槽的出口向下延伸,使得晶棒未磨削的一端与横向磨削机的磨盘接触,完成晶棒另一侧的初步磨削,通过上述组件的应用,实现对晶棒两侧的初步磨削,提高加工效率。

4、优选的,控制组件还包括固定连接在弹簧伸缩杆一侧壁处的拖架,支撑杆的侧壁处固定连接有异型环,l型滑杆的外壁与滑动槽的内壁滑动连接,利用上述转动盘规律性旋转的特点,在设备内部设置有l型滑杆与异型环,在转动板旋转过程中,转动板将同步运行,转动板将带动内壁处的若干个l型滑杆与滚珠进行转动,在弹簧伸缩杆一的拉扯下,滚珠的外壁与异型环的内壁接触,使得滚珠沿着异型环的内壁进行转动,这个过程中,弹簧伸缩杆一将带动l型滑杆与拖架向对应的晶棒移动,拖架的推力与入料圆槽的内壁形成夹持力,对移动、磨削过程中的晶棒进行限位,避免磨削过程中,晶棒发生错位,影响磨削效果。

5、优选的,控制组件还包括转动连接在l型滑杆远离拖架一端的滚珠,弧形挡板的内壁与转动盘的侧壁滑动连接,利用上述滚珠沿着异型环内壁滚动的特点,在异型环底部位置设置有平面板,如图8所示,在晶棒完成磨削后,转动板带动滚珠到达异型环底部平面时,异型环底部的平面板将带动滚珠与l型滑杆沿着滑动槽的内壁,向转动板中心点移动,使拖架远离晶棒的外壁,呈现如图8所示的状态,而拖架远离晶棒,晶棒与入料圆槽形成的夹持力消失,且随着拖架的远离,为晶棒翻转提供更大的转动空间,避免晶棒在向下翻转过程中,晶棒的另一端向上翘起,与拖架外壁接触,影响晶棒翻转效率,避免晶棒翻转时,发生卡壳现象,影响磨削速度。

6、优选的,夹持组件包括开设在八个方形槽内壁侧壁的滑槽,方形槽的内壁处开设有横向槽,滑槽的内壁处滑动连接有滑动杆,滑动杆的侧壁处固定连接有拉扯弹簧。

7、优选的,夹持组件还包括转动连接在滑动杆内壁处的滚轮,滑动杆远离滚轮的一端固定连接有弹簧伸缩杆二,弹簧伸缩杆二远离滑动杆的一端固定连接有滑动挡板。

8、优选的,夹持组件还包括转动连接在滑动杆侧壁处的折叠架,折叠架远离滑动杆的一端与滑动挡板的侧壁转动连接,底座的顶部固定连接有限位弧板,滑动挡板的侧壁与横向槽内壁滑动连接,拉扯弹簧远离滑动杆的一端与转动盘的侧壁固定连接,利用上述晶棒到达转动盘底部后,将进行二次磨削的特点,在转动盘将带动晶棒到达底部时,滚轮的外壁与外部的限位弧板外壁接触,滚轮受挤压将推动滑动杆沿着滑槽的内壁向内移动,滑动杆通过弹簧伸缩杆二推动滑动挡板横移,而滑动挡板在横向槽内壁同步横移,在滑动挡板横移至最外围时,滑动挡板受限横向槽长度影响,不再移动,而滑动杆继续移动,使滑动杆与滑动挡板之间距离缩小,而折叠架受压将向下移动,而折叠架的折叠位置将压迫晶棒的顶部,形成如图11的状态,为晶棒提供一个向下压的力,通过上述组件的应用,避免晶棒进行磨削时,晶棒发生抖动,横向磨削机对晶棒底部的磨削效果。

9、一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置的磨削方法,包括以下几个步骤:

10、s1:在使用前,将该设备安装在所需位置,并接通马达的电源,马达带动转动盘进行顺时针旋转,晶棒通过入料圆槽放入方形槽内部后,跟随转动盘的旋转同步移动;

11、s2:在晶棒刚放入方形槽内部时,方形槽的出口处于顶部,而方形槽的底部为一个弧形面,该弧形面将拖着晶棒进行移动,而随着转动盘的旋转,晶棒裸露在外的一侧与竖向磨削机的磨盘接触,进行一侧的初步磨削;

12、s3:转动盘仍然旋转,并带动晶棒继续移动,此时方形槽的出口逐渐转向下方,且方形槽的弧形面无法再为晶棒提供一个托起的力,再加上晶棒受自身重量的影响,晶棒的外壁与入料圆槽的内壁接触,使晶棒产生翻转。

13、本发明具有以下有益效果:

14、(1)本发明利用晶棒完成切割后呈现圆柱形的特点,在设备内部设置有转动盘,在使用前,将该设备安装在所需位置,并接通马达的电源,马达带动转动盘进行顺时针旋转,而外部设备通过图4中晶棒的位置进行入料,晶棒通过入料圆槽放入方形槽内部后,跟随转动盘的旋转同步移动,在晶棒刚放入方形槽内部时,方形槽的出口处于顶部,而方形槽的底部为一个弧形面,该弧形面将拖着晶棒进行移动,而随着转动盘的旋转,晶棒裸露在外的一侧与竖向磨削机的磨盘接触,完成晶棒一侧的初步磨削,在磨削的过程中,转动盘仍然旋转,并带动晶棒继续移动,此时方形槽的出口逐渐转向下方,且方形槽的弧形面无法再为晶棒提供一个托起的力,再加上晶棒受自身重量的影响,晶棒的外壁与入料圆槽的内壁接触,晶棒将以上接触点作为中心点向下转动,呈现如图5所示的状态,使晶棒未磨削加工的一端从方形槽的出口向下延伸,使得晶棒未磨削的一端与横向磨削机的磨盘接触,完成晶棒另一侧的初步磨削,通过上述组件的应用,实现对晶棒两侧的初步磨削,提高加工效率。

15、(2)本发明利用上述转动盘规律性旋转的特点,在设备内部设置有l型滑杆与异型环,在转动板旋转过程中,转动板将同步运行,转动板将带动内壁处的若干个l型滑杆与滚珠进行转动,在弹簧伸缩杆一的拉扯下,滚珠的外壁与异型环的内壁接触,使得滚珠沿着异型环的内壁进行转动,这个过程中,弹簧伸缩杆一将带动l型滑杆与拖架向对应的晶棒移动,拖架的推力与入料圆槽的内壁形成夹持力,对移动、磨削过程中的晶棒进行限位,避免磨削过程中,晶棒发生错位,影响磨削效果。

16、(3)本发明利用上述滚珠沿着异型环内壁滚动的特点,在异型环底部位置设置有平面板,如图8所示,在晶棒完成磨削后,转动板带动滚珠到达异型环底部平面时,异型环底部的平面板将带动滚珠与l型滑杆沿着滑动槽的内壁,向转动板中心点移动,使拖架远离晶棒的外壁,呈现如图8所示的状态,而拖架远离晶棒,晶棒与入料圆槽形成的夹持力消失,且随着拖架的远离,为晶棒翻转提供更大的转动空间,避免晶棒在向下翻转过程中,晶棒的另一端向上翘起,与拖架外壁接触,影响晶棒翻转效率,避免晶棒翻转时,发生卡壳现象,影响磨削速度。

17、(4)本发明利用上述晶棒到达转动盘底部后,将进行二次磨削的特点,在转动盘将带动晶棒到达底部时,滚轮的外壁与外部的限位弧板外壁接触,滚轮受挤压将推动滑动杆沿着滑槽的内壁向内移动,滑动杆通过弹簧伸缩杆二推动滑动挡板横移,而滑动挡板在横向槽内壁同步横移,在滑动挡板横移至最外围时,滑动挡板受限横向槽长度影响,不再移动,而滑动杆继续移动,使滑动杆与滑动挡板之间距离缩小,而折叠架受压将向下移动,而折叠架的折叠位置将压迫晶棒的顶部,形成如图11的状态,为晶棒提供一个向下压的力,通过上述组件的应用,避免晶棒进行磨削时,晶棒发生抖动,横向磨削机对晶棒底部的磨削效果。


技术特征:

1.一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置,底座(1),所述底座(1)的顶部固定连接有马达(11),所述底座(1)的顶部固定连接有横向磨削机(12),所述底座(1)的顶部固定连接有支撑杆(13),所述支撑杆(13)的侧壁处固定连接有竖向磨削机(14),支撑杆(13)的侧壁处固定连接有控制组件(3),其特征在于,还包括:

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置,其特征在于:所述控制组件(3)包括固定连接在支撑杆(13)侧壁处的弧形挡板(32),所述滑动槽(26)的内壁处固定连接有弹簧伸缩杆一(33),所述弹簧伸缩杆一(33)的另一端与l型滑杆(34)的侧壁固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置,其特征在于:所述控制组件(3)还包括固定连接在弹簧伸缩杆一(33)侧壁处的拖架(35),所述支撑杆(13)的侧壁处固定连接有异型环(36),所述l型滑杆(34)的外壁与滑动槽(26)的内壁滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置,其特征在于:所述控制组件(3)还包括转动连接在l型滑杆(34)远离拖架(35)一端的滚珠(37),所述弧形挡板(32)的内壁与转动盘(21)的侧壁滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置,其特征在于:所述夹持组件(4)包括开设在八个方形槽(23)内壁侧壁的滑槽(41),所述方形槽(23)的内壁处开设有横向槽(47),所述滑槽(41)的内壁处滑动连接有滑动杆(42),所述滑动杆(42)的侧壁处固定连接有拉扯弹簧(43)。

6.根据权利要求5所述的一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置,其特征在于:所述夹持组件(4)还包括转动连接在滑动杆(42)内壁处的滚轮(44),所述滑动杆(42)远离滚轮(44)的一端固定连接有弹簧伸缩杆二(45),所述弹簧伸缩杆二(45)远离滑动杆(42)的一端固定连接有滑动挡板(46)。

7.根据权利要求6所述的一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置,其特征在于:所述夹持组件(4)还包括转动连接在滑动杆(42)侧壁处的折叠架(48),所述折叠架(48)远离滑动杆(42)的一端与滑动挡板(46)的侧壁转动连接,所述底座(1)的顶部固定连接有限位弧板(49),所述滑动挡板(46)的侧壁与横向槽(47)内壁滑动连接,所述拉扯弹簧(43)远离滑动杆(42)的一端与转动盘(21)的侧壁固定连接。

8.一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置的磨削方法,采用如权利要求7所述的晶棒磨削的装置,其特征在于:包括以下步骤,


技术总结
本发明涉及晶棒加工技术领域,且公开了一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置及其磨削方法,包括底座,底座的顶部固定连接有马达,底座的顶部固定连接有横向磨削机,在使用前,接通马达的电源,晶棒通过入料圆槽放入方形槽内部后,跟随转动盘的旋转同步移动,而随着转动盘的旋转,晶棒裸露在外的一侧与竖向磨削机的磨盘接触,完成晶棒一侧的初步研磨,转动盘继续旋转,并带动晶棒继续移动,此时方形槽的出口逐渐转向下方,晶棒受自身重量的影响,使晶棒的外壁与入料圆槽的内壁接触,晶棒将以上接触点作为中心点向下转动,使得晶棒未研磨的一端与横向磨削机的磨盘接触,完成晶棒另一侧的初步研磨,实现对晶棒两侧的初步研磨,提高加工效率。

技术研发人员:裴忠,苏静洪,张钦亮,翟潇杰,王宏琳,马宇良,褚姚俊
受保护的技术使用者:天通日进精密技术有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/11/11
转载请注明原文地址: https://tieba.8miu.com/read-21704.html

最新回复(0)