基板上下料装置及微发光二极管巨量转移设备的制作方法

专利2026-05-14  0


本申请属于微发光二极管巨量转移,更具体地说,涉及一种基板上下料装置及微发光二极管巨量转移设备。


背景技术:

1、micro led(微发光二极管)技术被认为是消费电子领域下一个世代的显示技术,其所展现出的高分辨、快响应、低能耗、长寿命等突出特点,能满足超小和超大显示的需求,展现出巨大的应用潜力。目前,micro led巨量焊接和micro led巨量转移设备还未量产化。micro led巨量焊接和micro led巨量转移设备会涉及到基板(暂态基板和承载基板)的上下料,具体是将基板转移至上载具以进行后续工艺加工或将完成加工的基板从上载具转移走。暂态基板的上下料的精度和效率将直接影响设备精度和效率。

2、目前,暂态基板的上下料通过人工实现,导致生产效率较低。


技术实现思路

1、本申请的实施例提供一种基板上下料装置及微发光二极管巨量转移设备,能提高生产效率。

2、第一方面,本申请的实施例提供一种基板上下料装置,包括:

3、基板吸附载具;

4、旋转驱动组件,连接于所述基板吸附载具,以驱动所述基板吸附载具旋转;

5、升降组件,连接于所述旋转驱动组件。

6、在第一方面的一些可能的实施方式中,所述基板上下料装置还包括:

7、缓冲部件,位于所述基板吸附载具与所述旋转驱动组件之间,且连接于所述基板吸附载具和所述旋转驱动组件;

8、所述旋转驱动组件通过所述缓冲部件连接于所述基板吸附载具。

9、在第一方面的一些可能的实施方式中,所述基板上下料装置还包括:

10、第一接头组件,设置于所述旋转驱动组件,通过气管连接于所述基板吸附载具且能跟随所述基板吸附载具旋转;

11、第二接头组件,能连通于所述第一接头组件且能相对所述第一接头组件转动。

12、在第一方面的一些可能的实施方式中,所述基板上下料装置还包括:

13、背光板,设置于所述基板吸附载具。

14、在第一方面的一些可能的实施方式中,所述基板吸附载具包括:

15、载具主体,连接于所述旋转驱动组件;

16、吸附部,位于所述载具主体。

17、在第一方面的一些可能的实施方式中,所述吸附部包括:

18、第一吸附部;

19、第二吸附部,沿所述载具主体的径向,位于所述第一吸附部的外围。

20、在第一方面的一些可能的实施方式中,所述升降组件包括:

21、升降架,连接于所述旋转驱动组件;

22、升降驱动机构,连接于所述升降架,以驱动所述升降架沿升降方向上升或下降。

23、第二方面,本申请的实施例提供一种微发光二极管巨量转移设备,包括上述任一项所述的基板上下料装置。

24、在第二方面的一些可能的实施方式中,所述微发光二极管巨量转移设备还包括:

25、上载具,沿所述升降组件的升降方向,位于所述基板上下料装置的上方。

26、在第二方面的一些可能的实施方式中,所述微发光二极管巨量转移设备还包括:

27、相机,沿所述升降组件的升降方向,位于所述基板吸附载具的上方。

28、本申请的实施例存在的有益效果是:

29、基板吸附载具吸附基板,连接于基板吸附载具的旋转驱动组件驱动基板吸附载具旋转,调整基板的角度,实现角度对位,由升降组件带动基板吸附载具沿升降方向升高或降低,实现基板的上下料,能实现自动上下料,能提高生产效率。



技术特征:

1.一种基板上下料装置,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的基板上下料装置,其特征在于,所述基板上下料装置还包括:

3.如权利要求1所述的基板上下料装置,其特征在于,所述基板上下料装置还包括:

4.如权利要求1所述的基板上下料装置,其特征在于,所述基板吸附载具包括:

5.如权利要求4所述的基板上下料装置,其特征在于,所述吸附部包括:

6.如权利要求5所述的基板上下料装置,其特征在于,所述基板上下料装置还包括:

7.如权利要求1至6任一项所述的基板上下料装置,其特征在于,所述升降组件包括:

8.一种微发光二极管巨量转移设备,其特征在于,包括如权利要求1至7任一项所述的基板上下料装置。

9.如权利要求8所述的微发光二极管巨量转移设备,其特征在于,所述微发光二极管巨量转移设备还包括:

10.如权利要求8或9所述的微发光二极管巨量转移设备,其特征在于,所述微发光二极管巨量转移设备还包括:


技术总结
本申请适用于微发光二极管巨量转移技术领域,提供一种基板上下料装置及微发光二极管巨量转移设备,所述基板上下料装置包括:基板吸附载具;旋转驱动组件,连接于所述基板吸附载具,以驱动所述基板吸附载具旋转;升降组件,连接于所述旋转驱动组件。本申请的实施例提供的基板上下料装置能提高生产效率。

技术研发人员:郝阳光,潘凯,庄昌辉,尹建刚
受保护的技术使用者:深圳市大族半导体装备科技有限公司
技术研发日:20231124
技术公布日:2024/11/11
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