本技术涉及硅片清洗，特别涉及一种硅片拿取装置。
背景技术：
1、硅片是制作集成电路的重要材料，在生产过程中需要经过表面整形、定向、切割、研磨、腐蚀、抛光、清洗等工序，硅片清洗机是硅片清洗工序中需要频繁使用的仪器，而硅片清洗装置是硅片清洗机中的重要组成结构，在硅片进行清洗时，需要通过拿取装置对硅片进行夹取，申请号202021680566.0公开了一种光刻机的硅片拿取装置，包括第一夹杆、第二夹杆、第一夹板和第二夹板，第一夹杆上设置有固定装置，固定装置上开设有滑动槽，固定装置内设置有固定片，固定片上连接有第二连接柱，第二连接柱上设置有第二突出块，第二夹杆上设置有固定柱，固定柱上开设有固定槽，第一夹杆与固定柱对应处开设有圆孔；第一夹板上设置有第一连接块，第一连接块上设置有第一凹槽，第二夹板上设置有第二连接块，本实用新型的一种光刻机的硅片拿取装置，能够让使用者省力的夹持硅片，便于使用，并能更换损坏的部件，提高了资源的利用率。
2、上述公开的夹取装置，仅仅设置两个夹臂装置，在进行硅片夹取时，只能进行单片夹取，而在通过清洗箱进行清洗时，一次清洗的硅片一般为十几片，单次夹取的话，较为费时费力，因此需要进行改进。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种硅片拿取装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
3、一种硅片拿取装置，包括清洗箱体、升降板、硅片支板、移动架、夹取座、夹板和位移套座，所述清洗箱体的顶部边侧设置有下料板，所述下料板的顶部活动设置有移动架，所述移动架的内侧活动设置有转杆，所述移动架的内侧通过转杆活动安装有夹取座，所述夹取座的内部开设有多个硅片夹取槽，所述硅片夹取槽的内部活动设置有夹板，所述夹取座的边侧开设有横向滑槽，所述横向滑槽的内部固定设置有导向杆，所述导向杆的外部滑动套设有多个位移套座，所述位移套座的一侧固定连接有安装座，所述安装座的内部开设有安装槽，所述夹板的一端固定在安装槽的内部。
4、优选的，所述下料板的顶端开设有位移滑槽，所述位移滑槽的内部滑动连接有位移滑板，所述位移滑板的顶端通过轴承活动安装有旋转杆体，且所述旋转杆体的顶端与移动架的底端边侧固定连接。
5、优选的，所述清洗箱体的内部活动设置有升降板，所述升降板的顶部固定设置有多个硅片支板，且多个所述硅片支板均匀设置。
6、优选的，其中一个所述位移套座的一侧固定连接有推动架，所述推动架的一端固定连接有连接杆，所述连接杆的一侧通过连接块与其他所述位移套座的顶部一侧固定连接。
7、优选的，所述夹取座的端头处固定设置有气缸板，所述气缸板的外侧固定设置有推动气缸，所述推动气缸的输出端与推动架的一侧固定连接。
8、优选的，所述清洗箱体底部一侧设置有放水管，所述硅片夹取槽内的一侧设置有橡胶垫片。
9、本实用新型的技术效果和优点：
10、本申请在清洗箱体的顶部一侧设置下料板，其下料板上设置可移动的移动架结构，将夹取座活动设置在移动架的内部，下料夹取时，通过升降板带动硅片支板上固定的硅片上升，然后朝向升降板推动移动架，使得硅片支板上的硅片进入到硅片夹取槽内部，推动气缸可推动推动架进行移动，进而使得与推动架连接的位移套座在导向杆的导向下，在横向滑槽的内部滑动，进而带动位移套座一侧的夹板朝向硅片一侧运动，将硅片夹取槽内部的硅片通过夹板进行固定限位，这样可一次性夹取多组硅片，不需要反复进行夹取，硅片夹取更加高效。
1.一种硅片拿取装置，包括清洗箱体(1)、升降板(2)、硅片支板(3)、移动架(5)、夹取座(7)、夹板(10)和位移套座(15)，其特征在于，所述清洗箱体(1)的顶部边侧设置有下料板(4)，所述下料板(4)的顶部活动设置有移动架(5)，所述移动架(5)的内侧活动设置有转杆(6)，所述移动架(5)的内侧通过转杆(6)活动安装有夹取座(7)，所述夹取座(7)的内部开设有多个硅片夹取槽(8)，所述硅片夹取槽(8)的内部活动设置有夹板(10)，所述夹取座(7)的边侧开设有横向滑槽(12)，所述横向滑槽(12)的内部固定设置有导向杆(17)，所述导向杆(17)的外部滑动套设有多个位移套座(15)，所述位移套座(15)的一侧固定连接有安装座(18)，所述安装座(18)的内部开设有安装槽，所述夹板(10)的一端固定在安装槽的内部。
2.根据权利要求1所述的一种硅片拿取装置，其特征在于，所述下料板(4)的顶端开设有位移滑槽，所述位移滑槽的内部滑动连接有位移滑板(19)，所述位移滑板(19)的顶端通过轴承活动安装有旋转杆体，且所述旋转杆体的顶端与移动架(5)的底端边侧固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片拿取装置，其特征在于，所述清洗箱体(1)的内部活动设置有升降板(2)，所述升降板(2)的顶部固定设置有多个硅片支板(3)，且多个所述硅片支板(3)均匀设置。
4.根据权利要求1所述的一种硅片拿取装置，其特征在于，其中一个所述位移套座(15)的一侧固定连接有推动架(13)，所述推动架(13)的一端固定连接有连接杆(16)，所述连接杆(16)的一侧通过连接块(11)与其他所述位移套座(15)的顶部一侧固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种硅片拿取装置，其特征在于，所述夹取座(7)的端头处固定设置有气缸板，所述气缸板的外侧固定设置有推动气缸(14)，所述推动气缸(14)的输出端与推动架(13)的一侧固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种硅片拿取装置，其特征在于，所述清洗箱体(1)底部一侧设置有放水管，所述硅片夹取槽(8)内的一侧设置有橡胶垫片(9)。
