本技术涉及晶圆盒承载,尤其涉及集成电路晶圆盒承载装置。
背景技术:
1、集成电路晶圆是指用于制造集成电路的硅晶圆,在制造集成电路时,将多个电子电路组成各式二极管、晶体管等电子组件,然后集成在一个微小面积的硅晶圆上,完成某一特定逻辑功能,达成预先设定好的电路功能要求的电路系统。
2、在生产中我们会对wafer产品用晶舟盒来进行存放,在使用晶舟盒的过程中通常会进行开盒、上片,再由机器进行操作后进行下片、关盒这一系列操作,但在这一过程中传统的平面承载台盖回料盒时会不慎撞击wafer而发生破片,未制作防呆治具防范,未限制上盖方向,未正确操作,经料盒裸露wafer上方放盖,为了使这一过程中减少异常工作导致的破片等情况,提出集成电路晶圆盒承载装置。
技术实现思路
1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的集成电路晶圆盒承载装置。
2、为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:集成电路晶圆盒承载装置,包括u型挡板治具,所述u型挡板治具包括左侧板,所述左侧板下端固定连接有底板。
3、作为上述技术方案的进一步描述:
4、所述底板右端固定连接有右侧板。
5、作为上述技术方案的进一步描述:
6、所述底板上固定连接有楔块,所述楔块上放置有晶舟盒体。
7、作为上述技术方案的进一步描述:
8、所述左侧板、底板和右侧板构成u形挡板。
9、作为上述技术方案的进一步描述:
10、所述晶舟盒体上设有卡槽。
11、作为上述技术方案的进一步描述:
12、所述晶舟盒体通过卡槽卡接有晶舟盒盖。
13、本实用新型具有如下有益效果:
14、1、本实用新型中,u形挡板限制了晶舟盒的上料方向只能从两侧移入挡板中再进行操作,降低了对晶舟盒的生产操作带来的一些异常风险。
15、2、本实用新型中,由于挡板和晶舟盒之间的距离较小,限制了操作员在进行操作时只能左右开关盒,减少了在执行过程中出现操作员误操作的情况。
16、3、本实用新型中,在底板上增加一个楔块,晶舟盒与平面形成一个夹角,使得可以看到盒盖前后位置,避免关盒操作过程中因只注意到正前方盒盖是否偏移,但前后并不能准确判断而导致wafer裸露的地方出现异常。
1.集成电路晶圆盒承载装置,包括u型挡板治具,其特征在于:所述u型挡板治具包括左侧板(1),所述左侧板(1)下端固定连接有底板(3)。
2.根据权利要求1所述的集成电路晶圆盒承载装置,其特征在于:所述底板(3)右端固定连接有右侧板(4)。
3.根据权利要求1所述的集成电路晶圆盒承载装置,其特征在于:所述底板(3)上固定连接有楔块(2),所述楔块(2)上放置有晶舟盒体(5)。
4.根据权利要求3所述的集成电路晶圆盒承载装置,其特征在于:所述左侧板(1)、底板(3)和右侧板(4)构成u形挡板。
5.根据权利要求4所述的集成电路晶圆盒承载装置,其特征在于:所述晶舟盒体(5)上设有卡槽。
6.根据权利要求5所述的集成电路晶圆盒承载装置,其特征在于:所述晶舟盒体(5)通过卡槽卡接有晶舟盒盖(6)。
