1.本发明涉及芯片加工技术领域，尤其涉及一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置。
背景技术：2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构，通常将晶圆电路面，即完成芯片功能的那一面称为正面，另外一面即为背面。在晶圆加工过程中，通常要经过切割过程，在品圆切割前，为了在切割晶圆时保护晶圆通常会在晶圆的背面贴附一层薄膜，即贴附切割膜。传统的贴膜工艺，薄膜成卷的设置，薄膜卷旋转后不断放出薄膜，薄膜的面积大于晶圆的面积。将薄膜贴附在晶圆表面后,手持或者利用机械手夹持刀片沿晶圆的边缘切割薄膜，将超出晶圆的多余薄膜切除，从而完成在晶圆表面贴膜的工艺。
3.现有技术中晶圆仍采用人工手动贴膜方式实现，这种贴膜方式费时费力，严重影响生产效率，而且容易贴偏，不仅易造成贴膜浪费，还容易造成划片、装片时方向错误。
4.但是上述的贴膜过程中，由于贴膜操作人员施力大小的不同，时常会造成晶圆与薄膜之间存在气泡。当晶圆表面出现气泡后则需要将已贴的薄膜去除，再进行二次贴膜，不仅浪费原料而且降低了贴膜的效率。
5.有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现要素：6.为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置。
7.为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：
8.一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，包括膜装置支架、第一压送辊单元、第二压送辊单元、第一转向组件、第二转向组件、第三转向组件、第四转向组件、浮动辊一组件、放料辊组件、浮动辊二组件、贴膜基座支架一、贴膜基座支架二、收料辊组件、贴膜检测组件、取膜辊组件和取膜辅助刀组件；
9.膜装置支架包括沿着y轴负方向一侧的贴膜支架电机侧边和沿着y轴正方向一侧的贴膜支架侧边，贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间通过若干个贴膜支架连接杆连接在一起，贴膜支架电机侧边上设置有贴膜支架筋板，贴膜支架筋板和贴膜支架电机侧边之间设置有贴膜支架连接块，贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间的底部位置还连接设置有贴膜支架连接板，贴膜支架侧边顶部沿着x轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板一，贴膜支架电机侧边靠近顶部沿着x轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板二，贴膜支架侧边靠近中部沿着x轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板三，贴膜支架侧边底部设置有若干个贴膜支架靠边；
10.贴膜支架电机侧边沿着x轴正方向一侧的贴膜支架筋板上靠近底部的位置上设置
有三联放大器固定板，三联放大器固定板上安装有三联放大器，贴膜支架侧边沿着x轴负方向一侧靠近顶部的位置上设置有两联放大器固定板，两联放大器固定板上安装有两联放大器；
11.贴膜支架侧边设置在贴膜基座支架一上，贴膜支架电机侧边设置在贴膜基座支架二上，贴膜支架电机侧边靠近顶部的位置上沿着y轴方向设置有放料辊组件，放料辊组件沿着x轴正方向的一侧设置有第一转向组件，第一转向组件通过贴膜支架延伸板二与贴膜支架电机侧边相连接，转向辊组件通过贴膜支架延伸板一与贴膜支架侧边相连接，放料辊组件沿着x轴负方向的一侧依次设置有第二转向组件、浮动辊一组件和第一压送辊单元，第二转向组件、浮动辊一组件和第一压送辊单元均沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间，第一压送辊单元下方的位置依次设置有贴膜检测组件和第三转向组件，第三转向组件沿着x轴负方向的一侧依次设置有取膜辅助刀组件和取膜辊组件，第三转向组件沿着x轴正方向的一侧依次设置有第二压送辊单元、浮动辊二组件、第四转向组件和收料辊组件，贴膜检测组件、第三转向组件、取膜辊组件、取膜辅助刀组件、第二压送辊单元、浮动辊二组件和第四转向组件均沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间，收料辊组件安装在贴膜支架电机侧边靠近底部沿着x轴正方向的一侧位置。
12.作为本发明的进一步改进，第一压送辊单元包括沿着x轴正方向依次设置的压送从辊组件和压送主辊组件；
13.压送从辊组件包括压送从辊转接板一、压送从辊转接板三、压送从辊转接板二、压送从辊滚筒和压送从辊心轴，压送从辊转接板二沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间，压送从辊转接板二上沿着x轴负方向的一侧安装有压送从辊转接板三，压送从辊转接板三沿着y轴方向两侧的底部均连接有压送从辊转接板一，两个压送从辊转接板一之间沿着y轴方向安装有压送从辊滚筒，压送从辊转接板二沿着x轴正方向一侧的贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边上均设置有速度控制阀和滑台气缸，滑台气缸可驱动压送从辊转接板二沿着x轴方向移动，压送从辊滚筒的内侧通过压送从辊轴承与压送从辊心轴相连接，压送从辊心轴沿着y轴方向上的两侧分别安装在两个压送从辊转接板一上，压送从辊轴承外侧的压送从辊心轴上设置有压送从辊固定环；
14.压送主辊组件包括包括压送主辊伺服电机、压送主辊减速器、压送主辊支撑立柱、压送主辊电机板和压送主辊包胶辊，压送主辊伺服电机和压送主辊减速器通过压送主辊电机板和若干个压送主辊支撑立柱安装在贴膜支架电机侧边上，压送主辊伺服电机和压送主辊减速器通过压送主辊联轴器与压送主辊包胶辊相连接，压送主辊包胶辊通过压送主辊法兰一安装在贴膜支架电机侧边上，压送主辊包胶辊通过压送主辊法兰二安装在贴膜支架侧边上，压送主辊包胶辊通过压送主辊轴承与压送主辊法兰一和压送主辊法兰二相连接，压送主辊包胶辊位于压送从辊滚筒沿着x轴正方向的一侧。
15.作为本发明的进一步改进，第二压送辊单元包括沿着z轴负方向依次设置的压送从辊组件和压送主辊组件；
16.压送从辊组件包括压送从辊转接板一、压送从辊转接板三、压送从辊转接板二、压送从辊滚筒和压送从辊心轴，压送从辊转接板二沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间，压送从辊转接板二上沿着z轴正方向的一侧安装有压送从辊转接板三，压送从辊转接板三沿着y轴方向两侧的底部均连接有压送从辊转接板一，两个压送从辊转
接板一之间沿着y轴方向安装有压送从辊滚筒，压送从辊转接板二沿着z轴负方向一侧的贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边上均设置有速度控制阀和滑台气缸，滑台气缸可驱动压送从辊转接板二沿着z轴方向移动，压送从辊滚筒的内侧通过压送从辊轴承与压送从辊心轴相连接，压送从辊心轴沿着y轴方向上的两侧分别安装在两个压送从辊转接板一上，压送从辊轴承外侧的压送从辊心轴上设置有压送从辊固定环，压送从辊转接板三和压送从辊转接板二之间设置有压送从辊调整块；
17.压送主辊组件包括包括压送主辊伺服电机、压送主辊减速器、压送主辊支撑立柱、压送主辊电机板和压送主辊包胶辊，压送主辊伺服电机和压送主辊减速器通过压送主辊电机板和若干个压送主辊支撑立柱安装在贴膜支架电机侧边上，压送主辊伺服电机和压送主辊减速器通过压送主辊联轴器与压送主辊包胶辊相连接，压送主辊包胶辊通过压送主辊法兰一安装在贴膜支架电机侧边上，压送主辊包胶辊通过压送主辊法兰二安装在贴膜支架侧边上，压送主辊包胶辊通过压送主辊轴承与压送主辊法兰一和压送主辊法兰二相连接，压送主辊包胶辊位于压送从辊滚筒的正下方位置。
18.作为本发明的进一步改进，第一转向组件、第二转向组件、第三转向组件和第四转向组件均为转向辊组件，转向辊组件包括转向辊轴和转向辊辊筒，转向辊辊筒通过转向辊轴承与内侧的转向辊轴相连接，转向辊轴沿着y轴负方向的一侧通过转向辊固定环安装在贴膜支架电机侧边上，转向辊轴沿着y轴正方向的一侧通过转向辊法兰安装在贴膜支架侧边上，沿着y轴正方向一侧的转向辊轴承外侧的转向辊轴上设置有转向辊固定环，且转向辊辊筒上还设置有膜限位组件。
19.作为本发明的进一步改进，浮动辊一组件包括浮动辊一滑板一、浮动辊一滚筒、浮动辊一导轨、浮动辊一轴和浮动辊一滑板二，浮动辊一滚筒通过浮动辊一轴承与内侧的浮动辊一轴相连接，浮动辊一轴沿着y轴负方向的一侧通过浮动辊一轴套安装在贴膜支架电机侧边上的浮动辊一滑板二上，浮动辊一轴沿着y轴正方向的一侧通过球面轴承安装在贴膜支架侧边上的浮动辊一滑板一上，浮动辊一滑板一与沿着z轴方向安装在贴膜支架侧边上的浮动辊一导轨相连接，浮动辊一滑板二与沿着z轴方向安装在贴膜支架电机侧边上的浮动辊一导轨相连接，沿着y轴负方向一侧的浮动辊一轴套外侧的浮动辊一轴上设置有浮动辊一固定环，浮动辊一滑板二上设置有浮动辊一感应片，浮动辊一滚筒上还设置有膜限位组件；浮动辊一滑板二一侧的贴膜支架电机侧边上还设置有浮动辊一感应组件，浮动辊一感应组件包括沿着z轴方向安装在贴膜支架电机侧边上的浮动辊一感应条，浮动辊一感应器通过浮动辊一感应器滑块可沿着z轴方向移动的安装在浮动辊一感应条上；
20.浮动辊二组件包括浮动辊二滑板一、浮动辊二导轨、浮动辊二辊筒、浮动辊二滑板二和浮动辊二轴，浮动辊二辊筒通过浮动辊二轴承二与内侧的浮动辊二轴相连接，浮动辊二轴沿着y轴负方向的一侧通过浮动辊二轴套安装在贴膜支架电机侧边上的浮动辊二滑板二上，浮动辊二轴沿着y轴正方向的一侧通过浮动辊二轴承一安装在贴膜支架侧边上的浮动辊二滑板一上，浮动辊二滑板一与沿着z轴方向安装在贴膜支架侧边上的浮动辊二导轨相连接，浮动辊二滑板二与沿着z轴方向安装在贴膜支架电机侧边上的浮动辊二导轨相连接，浮动辊二滑板二上设置有浮动辊二感应片，浮动辊二辊筒上还设置有膜限位组件；浮动辊二滑板二一侧的贴膜支架电机侧边上还设置有浮动辊二感应组件，浮动辊二感应组件包括沿着z轴方向安装在贴膜支架电机侧边上的浮动辊二感应条，浮动辊二感应器通过浮动
辊二感应器滑块可沿着z轴方向移动的安装在浮动辊二感应条上。
21.作为本发明的进一步改进，放料辊组件包括放料辊辊轴、免键同步带轮、放料辊减速器、同步带、同步带轮、放料辊辊筒和放料辊伺服电机；
22.放料辊伺服电机依次通过同步带轮、同步带和免键同步带轮与放料辊辊轴相连接，放料辊辊轴沿着y轴正方向的一侧设置有放料辊辊筒，放料辊辊筒和免键同步带轮之间的放料辊辊轴上设置有放料辊轴承套，放料辊轴承套通过放料辊轴承与放料辊辊轴相连接，放料辊轴承套和放料辊辊筒之间的放料辊辊轴上设置有放料辊挡圈二、放料辊挡圈一和放料辊挡圈三，放料辊辊轴沿着y轴负方向的一侧设置有管接头一，放料辊辊筒凹槽内沿着y轴正方向依次设置有放料辊转接头和膜片式夹紧气缸，放料辊转接头上设置有管接头二，膜片式夹紧气缸沿着y轴负方向的一侧设置有微型管接头，放料辊轴承套和免键同步带轮之间的放料辊辊轴上设置有放料辊固定轴环；放料辊组件沿着x轴负方向一侧的贴膜支架电机侧边上设置有光纤传感器固定板，光纤传感器固定板上安装有光纤传感器和反射挡板。
23.作为本发明的进一步改进，收料辊组件包括收料辊电机、收料辊减速器、收料辊辊轴和收料辊滚筒，收料辊电机和收料辊减速器通过收料辊固定板和若干个收料辊支撑杆安装在贴膜支架电机侧边上，收料辊电机和收料辊减速器通过收料辊联轴器与收料辊辊轴相连接，收料辊辊轴通过收料辊轴承与收料辊法兰相连接，收料辊法兰安装在贴膜支架电机侧边上，收料辊轴承和收料辊联轴器之间的收料辊辊轴上设置有收料辊固定环。
24.作为本发明的进一步改进，贴膜基座支架一从下往上依次包括贴膜基座一支架一、贴膜基座一垫板一、贴膜基座一滑板一和贴膜基座一转接块二，贴膜基座一支架一上设置有贴膜基座一垫板一，贴膜基座一垫板一上沿着x轴方向上设置有若干个贴膜基座一导轨，贴膜基座一导轨沿着y轴方向设置，贴膜基座一导轨沿着y轴方向两侧的贴膜基座一垫板一上均设置有贴膜基座一挡块，贴膜基座一滑板一的底部通过贴膜基座一滑块与下方的贴膜基座一导轨相连接，贴膜基座一滑板一沿着x轴方向两侧的贴膜基座一垫板一上均设置有用于对贴膜基座一滑板一固定的贴膜基座一固定块一，贴膜基座一滑板一上沿着x轴方向设置有贴膜基座一转接块二，贴膜基座一转接块二底部沿着x轴方向的两侧均通过贴膜基座一轴与设置在贴膜基座一滑板一上的贴膜基座一轴座一相连接，贴膜基座一转接块二可依次通过贴膜基座一转接块三和贴膜基座一转接块一固定安装在贴膜基座一滑板一上，贴膜基座一转接块二上从下往上依次设置有贴膜基座一调整块一和贴膜基座一调整块二，贴膜基座一调整块一和贴膜基座一调整块二通过双向螺栓连接在一起，贴膜基座一调整块二与上方的贴膜支架侧边相连接，贴膜基座一转接块二位于两个贴膜支架靠边之间；
25.贴膜基座支架二从下往上依次包括贴膜基座二支架二、贴膜基座二垫板二和贴膜基座二垫板二，贴膜基座二支架二上设置有贴膜基座二垫板二，贴膜基座二垫板二上沿着x轴方向均匀的设置有若干个贴膜基座二导轨，贴膜基座二垫板二的底部通过贴膜基座二滑块与下方的贴膜基座二导轨相连接，贴膜基座二垫板二沿着x轴方向的两侧均通过贴膜基座二轴二和贴膜基座二轴座二与贴膜支架筋板相连接，贴膜基座二垫板二可通过贴膜基座二转接块四固定安装在贴膜支架筋板上，贴膜支架筋板外侧的贴膜基座二垫板二上设置有贴膜基座二固定块二，贴膜基座二固定块二上方的贴膜支架筋板上设置有贴膜基座二柱塞块二，贴膜基座二固定块二和贴膜基座二柱塞块二之间通过贴膜基座二旋钮柱塞和贴膜基
座二柱塞块一连接在一起。
26.作为本发明的进一步改进，贴膜检测组件包括贴膜检测固定板一、贴膜检测固定板二、贴膜检测固定板五和贴膜检测固定板六，贴膜检测固定板一通过贴膜检测调整杆和贴膜检测调整螺母沿着z轴方向可移动的安装在贴膜支架电机侧边上，贴膜检测固定板二通过若干个贴膜检测固定板三沿着y轴方向与贴膜检测固定板一相连接，贴膜检测固定板二沿着x轴负方向的一侧从上往下依次设置有贴膜检测固定板五和贴膜检测固定板六，贴膜检测固定板五和贴膜检测固定板六均沿着y轴方向与贴膜检测固定板一相连接，且贴膜检测固定板五和贴膜检测固定板六之间连接设置有贴膜检测固定板四，贴膜检测固定板五沿着y轴正方向一侧的底部设置有贴膜检测气缸，贴膜检测气缸的驱动端与沿着x轴正方向一侧的贴膜检测固定板七相连接，贴膜检测固定板七的底部安装有贴膜检测压板，贴膜检测气缸正下方的贴膜检测固定板六上设置有贴膜检测感应器板，贴膜检测感应器板上沿着x轴方向安装有贴膜检测感应器，贴膜检测感应器沿着x轴正方向一侧的贴膜检测固定板二上开设有感应孔，感应孔沿着x轴正方向一侧的贴膜检测固定板二上设置有贴膜感应器挡板，贴膜感应器挡板通过贴膜感应器连接板安装在贴膜检测固定板二上。
27.作为本发明的进一步改进，取膜辊组件从上往下依次包括取膜辊固定板三和取膜辊固定板一，取膜辊固定板三沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间，取膜辊固定板三上设置有取膜辊固定板二，取膜辊固定板二上沿着y轴方向的中间位置设置有薄型气缸，薄型气缸底部的驱动端通过气缸浮动接头与下方的取膜辊固定板一相连接，取膜辊固定板一的底部沿着y轴方向安装有取膜包胶辊，取膜包胶辊通过取膜辊轴承和取膜辊轴承座安装在取膜辊固定板一上，取膜辊固定板三上沿着x轴负方向的一侧通过取膜离子风支架安装有静电消除器，取膜辊固定板二和取膜辊固定板一之间连接设置有若干个导向机构，导向机构包括取膜辊导向轴、取膜辊直线轴承和取膜辊限位块，取膜辊导向轴靠近顶部的一侧通过取膜辊直线轴承安装在取膜辊固定板二上，取膜辊导向轴底部的一侧与取膜辊固定板一相连接，取膜辊导向轴的顶部设置有取膜辊限位块，取膜辊固定板二沿着y轴方向两侧的取膜辊固定板三上均设置有取膜辊靠边，取膜辊固定板一沿着x轴正方向一侧的底部中间位置设置有取膜辊感应器安装板，取膜辊感应器安装板的底部安装有朝向取膜包胶辊设置的取膜辊感应器；
28.取膜辅助刀组件包括取膜刀固定板、取膜刀座、取膜刀板，取膜刀座通过取膜刀固定板沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边和贴膜支架侧边之间，取膜刀座上安装有朝向取膜包胶辊设置的取膜刀板。
29.借由上述方案，本发明至少具有以下优点：
30.本发明意在提供一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，以解决现有技术中对晶圆贴膜过程中存在的容易出现气泡的问题，便于后续加工工序进行，同时可实现自动贴膜，省时省力，可提高生产效率，主要包括以下优点：
31.1、通过设置多级多道膜辊组件，对晶圆膜进行传输，能够有效保证膜传输的稳定性；
32.2、通过设置可浮动的浮动辊使得膜始终保持在涨紧的状态；
33.3、通过设置取膜辊组件与取膜辅助刀组件能够有效实现对切割后的膜进行取膜，使得膜在膜料上分离，进而贴到晶圆上，完成贴膜；
34.4、在对膜进行传输过程中对传输辊进行了带有电机驱动的主辊和不带电机驱动的从辊，主辊能够提供动力，保证膜的传输，从辊提供方向，使得膜按照预定的路线进行传输；
35.5、在放料辊组件上方安装有膜监测传感器，能够监测放料辊上膜料的有无；
36.6、在压送主辊组件上设有气缸、在压送从辊组件上也设有气缸，这些气缸能够对压送主从辊组件上的滚筒进行调节，可以对膜料进行压紧，有效输送主辊的力，松开后可以对膜料进行调节；
37.7、在整个安装架下方设有调整基座支架导轨，可以用来调整两边主从辊的安装距离，能够有效保证贴膜装置的安装的准确性，进而保证贴膜的准确性。
38.上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
39.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
40.图1是本发明第一侧的结构示意图；
41.图2是本发明第二侧的结构示意图；
42.图3是本发明第三侧的结构示意图；
43.图4是图1中膜装置支架第一侧的结构示意图；
44.图5是图1中膜装置支架第二侧的结构示意图；
45.图6是图1中压送从辊组件的结构示意图；
46.图7是图6的内部结构示意图；
47.图8是图1中压送主辊组件的结构示意图；
48.图9是图8的内部结构示意图；
49.图10是图1中转向辊组件的结构示意图；
50.图11是图10的内部结构示意图；
51.图12是图1中浮动辊一组件的结构示意图；
52.图13是图12的内部结构示意图；
53.图14是图1中放料辊组件的结构示意图；
54.图15是图14的内部结构示意图；
55.图16是图1中浮动辊二组件的结构示意图；
56.图17是图16的内部结构示意图；
57.图18是图1中贴膜基座支架一的结构示意图；
58.图19是图1中贴膜基座支架二的结构示意图；
59.图20是图1中收料辊组件的结构示意图；
60.图21是图1中贴膜检测组件第一侧的结构示意图；
61.图22是图1中贴膜检测组件第二侧的结构示意图；
62.图23是图1中取膜辊组件的结构示意图；
63.图24是图1中取膜辅助刀组件的结构示意图；
64.图25是图1中浮动辊一感应组件的结构示意图；
65.图26是图1中浮动辊二感应组件的结构示意图；
66.图27是本发明中膜限位组件的结构示意图；
67.图28是本发明膜传动路线图。
68.其中，图中各附图标记的含义如下。
69.膜装置支架1、压送从辊组件2、两联放大器固定板3、两联放大器4、压送主辊组件5、转向辊组件6、浮动辊一组件7、放料辊组件8、浮动辊二组件9、贴膜基座支架一10、贴膜基座支架二11、收料辊组件12、三联放大器固定板13、三联放大器14、光纤传感器15、光纤传感器固定板16、反射挡板17、贴膜检测组件18、取膜辊组件19、取膜辅助刀组件20、浮动辊一感应组件21、浮动辊二感应组件22、膜限位组件23；
70.膜装置支架1：贴膜支架连接杆101、贴膜支架筋板102、贴膜支架延伸板二103、贴膜支架电机侧边104、贴膜支架靠边105、贴膜支架侧边106、贴膜支架连接板107、贴膜支架延伸板三108、贴膜支架延伸板一109、贴膜支架连接块110；
71.压送从辊组件2：速度控制阀201、滑台气缸202、压送从辊调整块203、压送从辊转接板一204、压送从辊转接板三205、压送从辊转接板二206、压送从辊滚筒207、压送从辊固定环208、压送从辊心轴209、压送从辊轴承210；
72.压送主辊组件5：压送主辊伺服电机501、压送主辊减速器502、压送主辊支撑立柱503、压送主辊联轴器504、压送主辊法兰一505、压送主辊轴承506、压送主辊电机板507、压送主辊包胶辊508、压送主辊法兰二509；
73.转向辊组件6：转向辊轴承601、转向辊法兰602、转向辊轴603、转向辊固定环604、转向辊辊筒605、膜限位组件23；
74.浮动辊一组件7：浮动辊一滑板一701、球面轴承702、浮动辊一固定环703、浮动辊一滚筒704、浮动辊一轴承705、浮动辊一导轨706、浮动辊一轴707、浮动辊一轴套708、浮动辊一滑板二709、浮动辊一感应片710、膜限位组件23；
75.放料辊组件8：放料辊挡圈三801、微型管接头802、放料辊转接头803、放料辊轴承804、管接头一805、放料辊辊轴806、放料辊固定轴环807、免键同步带轮808、放料辊减速器809、同步带810、同步带轮811、放料辊轴承套812、管接头二813、膜片式夹紧气缸814、放料辊辊筒815、放料辊挡圈一816、放料辊挡圈二817、放料辊伺服电机818；
76.浮动辊二组件9：浮动辊二滑板一901、浮动辊二导轨902、浮动辊二辊筒903、浮动辊二轴套904、浮动辊二滑板二905、膜限位组件23、浮动辊二轴906、浮动辊二感应片907、浮动辊二轴承一908、浮动辊二轴承二909；
77.贴膜基座支架一10：贴膜基座一轴座一1001、贴膜基座一转接块一1002、贴膜基座一转接块三1003、贴膜基座一转接块二1004、贴膜基座一调整块二1005、贴膜基座一滑块1006、贴膜基座一滑板一1007、贴膜基座一固定块一1008、贴膜基座一垫板一1009、贴膜基座一支架一1010、贴膜基座一导轨1011、贴膜基座一调整块一1012、贴膜基座一挡块1013；
78.贴膜基座支架二11：贴膜基座二固定块二1101、贴膜基座二转接块四1102、贴膜基座二导轨1103、贴膜基座二垫板二1104、贴膜基座二滑块1105、贴膜基座二轴座二1106、贴
膜基座二轴二1107、贴膜基座二柱塞块二1108、贴膜基座二垫板二1109、贴膜基座二支架二1110、贴膜基座二柱塞块一1111、贴膜基座二旋钮柱塞1112；
79.收料辊组件12：收料辊电机1201、收料辊减速器1202、收料辊固定板1203、收料辊联轴器1204、收料辊支撑杆1205、收料辊固定环1206、收料辊法兰1207、收料辊辊轴1208、收料辊轴承1209、收料辊滚筒1210；
80.贴膜检测组件18：贴膜检测压板1801、贴膜检测固定板七1802、贴膜检测固定板二1803、贴膜检测气缸1804、贴膜检测固定板五1805、贴膜检测调整杆1806、贴膜检测调整螺母1807、贴膜检测感应器板1808、贴膜检测感应器1809、贴膜检测固定板六1810、贴膜检测固定板四1811、贴膜检测固定板一1812、贴膜检测固定板三1813、贴膜感应器挡板1814、贴膜感应器连接板1815；
81.取膜辊组件19：取膜辊固定板三1901、取膜辊轴承座1902、取膜辊轴承1903、取膜包胶辊1904、取膜辊靠边1905、取膜辊固定板一1906、取膜辊导向轴1907、取膜辊直线轴承1908、取膜辊固定板二1909、薄型气缸1910、取膜辊感应器安装板1911、取膜辊感应器1912、气缸浮动接头1913、取膜辊限位块1914、静电消除器1915、取膜离子风支架1916；
82.取膜辅助刀组件20：取膜刀固定板2001、取膜刀座2002、取膜刀板2003；
83.浮动辊一感应组件21：浮动辊一感应器滑块2101、浮动辊一感应器2102、浮动辊一感应条2103；
84.浮动辊二感应组件22：浮动辊二感应器滑块2201、浮动辊二感应器2202、浮动辊二感应条2203；
85.膜限位组件23：膜限位顶丝2301、膜限位螺母2302、膜限位块上部2303、膜限位块下部2304、膜限位螺栓2305。
具体实施方式
86.下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
87.为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
88.实施例
89.如图1～图28所示，
90.一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，包括膜装置支架1、第一压送辊单元、第二压送辊单元、第一转向组件、第二转向组件、第三转向组件、第四转向组件、浮动辊一组件7、放料辊组件8、浮动辊二组件9、贴膜基座支架一10、贴膜基座支架二11、收料辊组件12、贴膜检测组件18、取膜辊组件19和取膜辅助刀组件20；
91.膜装置支架1包括沿着y轴负方向一侧的贴膜支架电机侧边104和沿着y轴正方向
一侧的贴膜支架侧边106，贴膜支架电机侧边104和贴膜支架侧边106之间通过若干个贴膜支架连接杆101连接在一起，贴膜支架电机侧边104上设置有贴膜支架筋板102，贴膜支架筋板102和贴膜支架电机侧边104之间设置有贴膜支架连接块110，贴膜支架电机侧边104和贴膜支架侧边106之间的底部位置还连接设置有贴膜支架连接板107，贴膜支架侧边106顶部沿着x轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板一109，贴膜支架电机侧边104靠近顶部沿着x轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板二103，贴膜支架侧边106靠近中部沿着x轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板三108，贴膜支架侧边106底部设置有若干个贴膜支架靠边105；
92.贴膜支架电机侧边104沿着x轴正方向一侧的贴膜支架筋板102上靠近底部的位置上设置有三联放大器固定板13，三联放大器固定板13上安装有三联放大器14，贴膜支架侧边106沿着x轴负方向一侧靠近顶部的位置上设置有两联放大器固定板3，两联放大器固定板3上安装有两联放大器4；
93.贴膜支架侧边106设置在贴膜基座支架一10上，贴膜支架电机侧边104设置在贴膜基座支架二11上，贴膜支架电机侧边104靠近顶部的位置上沿着y轴方向设置有放料辊组件8，放料辊组件8沿着x轴正方向的一侧设置有第一转向组件，第一转向组件通过贴膜支架延伸板二103与贴膜支架电机侧边104相连接，转向辊组件6通过贴膜支架延伸板一109与贴膜支架侧边106相连接，放料辊组件8沿着x轴负方向的一侧依次设置有第二转向组件、浮动辊一组件7和第一压送辊单元，第二转向组件、浮动辊一组件7和第一压送辊单元均沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边104和贴膜支架侧边106之间，第一压送辊单元下方的位置依次设置有贴膜检测组件18和第三转向组件，第三转向组件沿着x轴负方向的一侧依次设置有取膜辅助刀组件20和取膜辊组件19，第三转向组件沿着x轴正方向的一侧依次设置有第二压送辊单元、浮动辊二组件9、第四转向组件和收料辊组件12，贴膜检测组件18、第三转向组件、取膜辊组件19、取膜辅助刀组件20、第二压送辊单元、浮动辊二组件9和第四转向组件均沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边104和贴膜支架侧边106之间，收料辊组件12安装在贴膜支架电机侧边104靠近底部沿着x轴正方向的一侧位置。
94.优选的，第一压送辊单元包括沿着x轴正方向依次设置的压送从辊组件2和压送主辊组件5；
95.压送从辊组件2包括压送从辊转接板一204、压送从辊转接板三205、压送从辊转接板二206、压送从辊滚筒207和压送从辊心轴209，压送从辊转接板二206沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边104和贴膜支架侧边106之间，压送从辊转接板二206上沿着x轴负方向的一侧安装有压送从辊转接板三205，压送从辊转接板三205沿着y轴方向两侧的底部均连接有压送从辊转接板一204，两个压送从辊转接板一204之间沿着y轴方向安装有压送从辊滚筒207，压送从辊转接板二206沿着x轴正方向一侧的贴膜支架电机侧边104和贴膜支架侧边106上均设置有速度控制阀201和滑台气缸202，滑台气缸202可驱动压送从辊转接板二206沿着x轴方向移动，压送从辊滚筒207的内侧通过压送从辊轴承210与压送从辊心轴209相连接，压送从辊心轴209沿着y轴方向上的两侧分别安装在两个压送从辊转接板一204上，压送从辊轴承210外侧的压送从辊心轴209上设置有压送从辊固定环208；
96.压送主辊组件5包括包括压送主辊伺服电机501、压送主辊减速器502、压送主辊支撑立柱503、压送主辊电机板507和压送主辊包胶辊508，压送主辊伺服电机501和压送主辊
减速器502通过压送主辊电机板507和若干个压送主辊支撑立柱503安装在贴膜支架电机侧边104上，压送主辊伺服电机501和压送主辊减速器502通过压送主辊联轴器504与压送主辊包胶辊508相连接，压送主辊包胶辊508通过压送主辊法兰一505安装在贴膜支架电机侧边104上，压送主辊包胶辊508通过压送主辊法兰二509安装在贴膜支架侧边106上，压送主辊包胶辊508通过压送主辊轴承506与压送主辊法兰一505和压送主辊法兰二509相连接，压送主辊包胶辊508位于压送从辊滚筒207沿着x轴正方向的一侧。
97.优选的，第二压送辊单元包括沿着z轴负方向依次设置的压送从辊组件2和压送主辊组件5；
98.压送从辊组件2包括压送从辊转接板一204、压送从辊转接板三205、压送从辊转接板二206、压送从辊滚筒207和压送从辊心轴209，压送从辊转接板二206沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边104和贴膜支架侧边106之间，压送从辊转接板二206上沿着z轴正方向的一侧安装有压送从辊转接板三205，压送从辊转接板三205沿着y轴方向两侧的底部均连接有压送从辊转接板一204，两个压送从辊转接板一204之间沿着y轴方向安装有压送从辊滚筒207，压送从辊转接板二206沿着z轴负方向一侧的贴膜支架电机侧边104和贴膜支架侧边106上均设置有速度控制阀201和滑台气缸202，滑台气缸202可驱动压送从辊转接板二206沿着z轴方向移动，压送从辊滚筒207的内侧通过压送从辊轴承210与压送从辊心轴209相连接，压送从辊心轴209沿着y轴方向上的两侧分别安装在两个压送从辊转接板一204上，压送从辊轴承210外侧的压送从辊心轴209上设置有压送从辊固定环208，压送从辊转接板三205和压送从辊转接板二206之间设置有压送从辊调整块203；
99.压送主辊组件5包括包括压送主辊伺服电机501、压送主辊减速器502、压送主辊支撑立柱503、压送主辊电机板507和压送主辊包胶辊508，压送主辊伺服电机501和压送主辊减速器502通过压送主辊电机板507和若干个压送主辊支撑立柱503安装在贴膜支架电机侧边104上，压送主辊伺服电机501和压送主辊减速器502通过压送主辊联轴器504与压送主辊包胶辊508相连接，压送主辊包胶辊508通过压送主辊法兰一505安装在贴膜支架电机侧边104上，压送主辊包胶辊508通过压送主辊法兰二509安装在贴膜支架侧边106上，压送主辊包胶辊508通过压送主辊轴承506与压送主辊法兰一505和压送主辊法兰二509相连接，压送主辊包胶辊508位于压送从辊滚筒207的正下方位置。
100.优选的，第一转向组件、第二转向组件、第三转向组件和第四转向组件均为转向辊组件6，转向辊组件6包括转向辊轴603和转向辊辊筒605，转向辊辊筒605通过转向辊轴承601与内侧的转向辊轴603相连接，转向辊轴603沿着y轴负方向的一侧通过转向辊固定环604安装在贴膜支架电机侧边104上，转向辊轴603沿着y轴正方向的一侧通过转向辊法兰602安装在贴膜支架侧边106上，沿着y轴正方向一侧的转向辊轴承601外侧的转向辊轴603上设置有转向辊固定环604，且转向辊辊筒605上还设置有膜限位组件23。
101.优选的，浮动辊一组件7包括浮动辊一滑板一701、浮动辊一滚筒704、浮动辊一导轨706、浮动辊一轴707和浮动辊一滑板二709，浮动辊一滚筒704通过浮动辊一轴承705与内侧的浮动辊一轴707相连接，浮动辊一轴707沿着y轴负方向的一侧通过浮动辊一轴套708安装在贴膜支架电机侧边104上的浮动辊一滑板二709上，浮动辊一轴707沿着y轴正方向的一侧通过球面轴承702安装在贴膜支架侧边106上的浮动辊一滑板一701上，浮动辊一滑板一701与沿着z轴方向安装在贴膜支架侧边106上的浮动辊一导轨706相连接，浮动辊一滑板二
709与沿着z轴方向安装在贴膜支架电机侧边104上的浮动辊一导轨706相连接，沿着y轴负方向一侧的浮动辊一轴套708外侧的浮动辊一轴707上设置有浮动辊一固定环703，浮动辊一滑板二709上设置有浮动辊一感应片710，浮动辊一滚筒704上还设置有膜限位组件23；浮动辊一滑板二709一侧的贴膜支架电机侧边104上还设置有浮动辊一感应组件21，浮动辊一感应组件21包括沿着z轴方向安装在贴膜支架电机侧边104上的浮动辊一感应条2103，浮动辊一感应器2102通过浮动辊一感应器滑块2101可沿着z轴方向移动的安装在浮动辊一感应条2103上；
102.浮动辊二组件9包括浮动辊二滑板一901、浮动辊二导轨902、浮动辊二辊筒903、浮动辊二滑板二905和浮动辊二轴906，浮动辊二辊筒903通过浮动辊二轴承二909与内侧的浮动辊二轴906相连接，浮动辊二轴906沿着y轴负方向的一侧通过浮动辊二轴套904安装在贴膜支架电机侧边104上的浮动辊二滑板二905上，浮动辊二轴906沿着y轴正方向的一侧通过浮动辊二轴承一908安装在贴膜支架侧边106上的浮动辊二滑板一901上，浮动辊二滑板一901与沿着z轴方向安装在贴膜支架侧边106上的浮动辊二导轨902相连接，浮动辊二滑板二905与沿着z轴方向安装在贴膜支架电机侧边104上的浮动辊二导轨902相连接，浮动辊二滑板二905上设置有浮动辊二感应片907，浮动辊二辊筒903上还设置有膜限位组件23；浮动辊二滑板二905一侧的贴膜支架电机侧边104上还设置有浮动辊二感应组件22，浮动辊二感应组件22包括沿着z轴方向安装在贴膜支架电机侧边104上的浮动辊二感应条2203，浮动辊二感应器2202通过浮动辊二感应器滑块2201可沿着z轴方向移动的安装在浮动辊二感应条2203上。
103.优选的，放料辊组件8包括放料辊辊轴806、免键同步带轮808、放料辊减速器809、同步带810、同步带轮811、放料辊辊筒815和放料辊伺服电机818；
104.放料辊伺服电机818依次通过同步带轮811、同步带810和免键同步带轮808与放料辊辊轴806相连接，放料辊辊轴806沿着y轴正方向的一侧设置有放料辊辊筒815，放料辊辊筒815和免键同步带轮808之间的放料辊辊轴806上设置有放料辊轴承套812，放料辊轴承套812通过放料辊轴承804与放料辊辊轴806相连接，放料辊轴承套812和放料辊辊筒815之间的放料辊辊轴806上设置有放料辊挡圈二817、放料辊挡圈一816和放料辊挡圈三801，放料辊辊轴806沿着y轴负方向的一侧设置有管接头一805，放料辊辊筒815凹槽内沿着y轴正方向依次设置有放料辊转接头803和膜片式夹紧气缸814，放料辊转接头803上设置有管接头二813，膜片式夹紧气缸814沿着y轴负方向的一侧设置有微型管接头802，放料辊轴承套812和免键同步带轮808之间的放料辊辊轴806上设置有放料辊固定轴环807；放料辊组件8沿着x轴负方向一侧的贴膜支架电机侧边104上设置有光纤传感器固定板16，光纤传感器固定板16上安装有光纤传感器15和反射挡板17。
105.优选的，收料辊组件12包括收料辊电机1201、收料辊减速器1202、收料辊辊轴1208和收料辊滚筒1210，收料辊电机1201和收料辊减速器1202通过收料辊固定板1203和若干个收料辊支撑杆1205安装在贴膜支架电机侧边104上，收料辊电机1201和收料辊减速器1202通过收料辊联轴器1204与收料辊辊轴1208相连接，收料辊辊轴1208通过收料辊轴承1209与收料辊法兰1207相连接，收料辊法兰1207安装在贴膜支架电机侧边104上，收料辊轴承1209和收料辊联轴器1204之间的收料辊辊轴1208上设置有收料辊固定环1206。
106.优选的，贴膜基座支架一10从下往上依次包括贴膜基座一支架一1010、贴膜基座
一垫板一1009、贴膜基座一滑板一1007和贴膜基座一转接块二1004，贴膜基座一支架一1010上设置有贴膜基座一垫板一1009，贴膜基座一垫板一1009上沿着x轴方向上设置有若干个贴膜基座一导轨1011，贴膜基座一导轨1011沿着y轴方向设置，贴膜基座一导轨1011沿着y轴方向两侧的贴膜基座一垫板一1009上均设置有贴膜基座一挡块1013，贴膜基座一滑板一1007的底部通过贴膜基座一滑块1006与下方的贴膜基座一导轨1011相连接，贴膜基座一滑板一1007沿着x轴方向两侧的贴膜基座一垫板一1009上均设置有用于对贴膜基座一滑板一1007固定的贴膜基座一固定块一1008，贴膜基座一滑板一1007上沿着x轴方向设置有贴膜基座一转接块二1004，贴膜基座一转接块二1004底部沿着x轴方向的两侧均通过贴膜基座一轴与设置在贴膜基座一滑板一1007上的贴膜基座一轴座一1001相连接，贴膜基座一转接块二1004可依次通过贴膜基座一转接块三1003和贴膜基座一转接块一1002固定安装在贴膜基座一滑板一1007上，贴膜基座一转接块二1004上从下往上依次设置有贴膜基座一调整块一1012和贴膜基座一调整块二1005，贴膜基座一调整块一1012和贴膜基座一调整块二1005通过双向螺栓连接在一起，贴膜基座一调整块二1005与上方的贴膜支架侧边106相连接，贴膜基座一转接块二1004位于两个贴膜支架靠边105之间；
107.贴膜基座支架二11从下往上依次包括贴膜基座二支架二1110、贴膜基座二垫板二1109和贴膜基座二垫板二1104，贴膜基座二支架二1110上设置有贴膜基座二垫板二1109，贴膜基座二垫板二1109上沿着x轴方向均匀的设置有若干个贴膜基座二导轨1103，贴膜基座二垫板二1104的底部通过贴膜基座二滑块1105与下方的贴膜基座二导轨1103相连接，贴膜基座二垫板二1104沿着x轴方向的两侧均通过贴膜基座二轴二1107和贴膜基座二轴座二1106与贴膜支架筋板102相连接，贴膜基座二垫板二1104可通过贴膜基座二转接块四1102固定安装在贴膜支架筋板102上，贴膜支架筋板102外侧的贴膜基座二垫板二1109上设置有贴膜基座二固定块二1101，贴膜基座二固定块二1101上方的贴膜支架筋板102上设置有贴膜基座二柱塞块二1108，贴膜基座二固定块二1101和贴膜基座二柱塞块二1108之间通过贴膜基座二旋钮柱塞1112和贴膜基座二柱塞块一1111连接在一起。
108.优选的，贴膜检测组件18包括贴膜检测固定板一1812、贴膜检测固定板二1803、贴膜检测固定板五1805和贴膜检测固定板六1810，贴膜检测固定板一1812通过贴膜检测调整杆1806和贴膜检测调整螺母1807沿着z轴方向可移动的安装在贴膜支架电机侧边104上，贴膜检测固定板二1803通过若干个贴膜检测固定板三1813沿着y轴方向与贴膜检测固定板一1812相连接，贴膜检测固定板二1803沿着x轴负方向的一侧从上往下依次设置有贴膜检测固定板五1805和贴膜检测固定板六1810，贴膜检测固定板五1805和贴膜检测固定板六1810均沿着y轴方向与贴膜检测固定板一1812相连接，且贴膜检测固定板五1805和贴膜检测固定板六1810之间连接设置有贴膜检测固定板四1811，贴膜检测固定板五1805沿着y轴正方向一侧的底部设置有贴膜检测气缸1804，贴膜检测气缸1804的驱动端与沿着x轴正方向一侧的贴膜检测固定板七1802相连接，贴膜检测固定板七1802的底部安装有贴膜检测压板1801，贴膜检测气缸1804正下方的贴膜检测固定板六1810上设置有贴膜检测感应器板1808，贴膜检测感应器板1808上沿着x轴方向安装有贴膜检测感应器1809，贴膜检测感应器1809沿着x轴正方向一侧的贴膜检测固定板二1803上开设有感应孔，感应孔沿着x轴正方向一侧的贴膜检测固定板二1803上设置有贴膜感应器挡板1814，贴膜感应器挡板1814通过贴膜感应器连接板1815安装在贴膜检测固定板二1803上。
109.优选的，取膜辊组件19从上往下依次包括取膜辊固定板三1901和取膜辊固定板一1906，取膜辊固定板三1901沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边104和贴膜支架侧边106之间，取膜辊固定板三1901上设置有取膜辊固定板二1909，取膜辊固定板二1909上沿着y轴方向的中间位置设置有薄型气缸1910，薄型气缸1910底部的驱动端通过气缸浮动接头1913与下方的取膜辊固定板一1906相连接，取膜辊固定板一1906的底部沿着y轴方向安装有取膜包胶辊1904，取膜包胶辊1904通过取膜辊轴承1903和取膜辊轴承座1902安装在取膜辊固定板一1906上，取膜辊固定板三1901上沿着x轴负方向的一侧通过取膜离子风支架1916安装有静电消除器1915，取膜辊固定板二1909和取膜辊固定板一1906之间连接设置有若干个导向机构，导向机构包括取膜辊导向轴1907、取膜辊直线轴承1908和取膜辊限位块1914，取膜辊导向轴1907靠近顶部的一侧通过取膜辊直线轴承1908安装在取膜辊固定板二1909上，取膜辊导向轴1907底部的一侧与取膜辊固定板一1906相连接，取膜辊导向轴1907的顶部设置有取膜辊限位块1914，取膜辊固定板二1909沿着y轴方向两侧的取膜辊固定板三1901上均设置有取膜辊靠边1905，取膜辊固定板一1906沿着x轴正方向一侧的底部中间位置设置有取膜辊感应器安装板1911，取膜辊感应器安装板1911的底部安装有朝向取膜包胶辊1904设置的取膜辊感应器1912；
110.取膜辅助刀组件20包括取膜刀固定板2001、取膜刀座2002、取膜刀板2003，取膜刀座2002通过取膜刀固定板2001沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边104和贴膜支架侧边106之间，取膜刀座2002上安装有朝向取膜包胶辊1904设置的取膜刀板2003。
111.本发明的具体实施例：贴膜装置是由底部的贴膜装置支架1承载整个贴膜装置，在贴膜装置支架1下面一侧有贴膜基座支架二11，另一侧设有贴膜基座支架一10，通过调整贴膜基座支架一10上的贴膜基座一导轨1011与贴膜基座支架二11上的贴膜基座二导轨1103，来调整两边主从辊的安装距离，能够有效保证贴膜装置的安装的准确性，上部的贴膜装置支架1安装各个运行的膜输送辊。
112.图28是膜传动路线图，膜的传动依次经过第一转向组件、第二转向组件、浮动辊一组件7、压送主辊组件5、压送从辊组件2、放料辊组件8、取膜辊组件19、第三转向组件、压送主辊组件5、压送从辊组件2、浮动辊二组件9、第四转向组件和收料辊组件12。
113.膜首先是由切膜装置对成卷的膜进行切割后，传输到贴膜装置上的位置第一转向组件，由第一转向组件对膜进行转向，是膜按照预定的方向进行传输，膜由第一转向组件进入到第二转向组件，然后传输到浮动辊一组件7，浮动辊一组件7通过浮动辊一轴707安装贴膜装置支架1上，然后膜经由压送从辊组件2与压送主辊组件5，对膜进行传输，其中的压送主辊组件5含有驱动电机，能够为整个膜的运行提供动力，保证膜的运行流畅，不出现中间的卡膜，膜经由贴膜检测组件18来识别贴膜的起点位置，膜经由第三转向组件后，在取膜辅助刀组件20的上方与取膜辊组件19之后，完整的膜片被慢慢从膜带上取下，由后续的取膜载台(图中未画)进行一点一点贴到晶圆上，其中的废膜经由底部的压送从辊组件2与压送主辊组件5进行传输后，经过第四转向组件后，由浮动辊二组件9缠绕到收料辊组件12上，其中浮动辊二组件9能够保证废膜的涨紧。
114.其中，膜限位组件23的膜限位块上部2303和膜限位块下部2304卡在各个需要对膜进行限位的辊筒轴上，使用膜限位螺栓2305进行锁紧，使用膜限位顶丝2301和膜限位螺母2302进行定位。
115.其中，本文中所描述的关于x、y和z轴方向上的说明，均与图1中为基准。
116.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
117.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
118.以上所述仅是本发明的优选实施方式，并不用于限制本发明，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
技术特征：1.一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，包括膜装置支架(1)、第一压送辊单元、第二压送辊单元、第一转向组件、第二转向组件、第三转向组件、第四转向组件、浮动辊一组件(7)、放料辊组件(8)、浮动辊二组件(9)、贴膜基座支架一(10)、贴膜基座支架二(11)、收料辊组件(12)、贴膜检测组件(18)、取膜辊组件(19)和取膜辅助刀组件(20)；所述膜装置支架(1)包括沿着y轴负方向一侧的贴膜支架电机侧边(104)和沿着y轴正方向一侧的贴膜支架侧边(106)，所述贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间通过若干个贴膜支架连接杆(101)连接在一起，所述贴膜支架电机侧边(104)上设置有贴膜支架筋板(102)，所述贴膜支架筋板(102)和贴膜支架电机侧边(104)之间设置有贴膜支架连接块(110)，所述贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间的底部位置还连接设置有贴膜支架连接板(107)，所述贴膜支架侧边(106)顶部沿着x轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板一(109)，所述贴膜支架电机侧边(104)靠近顶部沿着x轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板二(103)，所述贴膜支架侧边(106)靠近中部沿着x轴正方向的一侧设置有贴膜支架延伸板三(108)，所述贴膜支架侧边(106)底部设置有若干个贴膜支架靠边(105)；所述贴膜支架电机侧边(104)沿着x轴正方向一侧的贴膜支架筋板(102)上靠近底部的位置上设置有三联放大器固定板(13)，所述三联放大器固定板(13)上安装有三联放大器(14)，所述贴膜支架侧边(106)沿着x轴负方向一侧靠近顶部的位置上设置有两联放大器固定板(3)，所述两联放大器固定板(3)上安装有两联放大器(4)；所述贴膜支架侧边(106)设置在贴膜基座支架一(10)上，所述贴膜支架电机侧边(104)设置在贴膜基座支架二(11)上，所述贴膜支架电机侧边(104)靠近顶部的位置上沿着y轴方向设置有放料辊组件(8)，所述放料辊组件(8)沿着x轴正方向的一侧设置有第一转向组件，所述第一转向组件通过贴膜支架延伸板二(103)与贴膜支架电机侧边(104)相连接，所述转向辊组件(6)通过贴膜支架延伸板一(109)与贴膜支架侧边(106)相连接，所述放料辊组件(8)沿着x轴负方向的一侧依次设置有第二转向组件、浮动辊一组件(7)和第一压送辊单元，所述第二转向组件、浮动辊一组件(7)和第一压送辊单元均沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间，所述第一压送辊单元下方的位置依次设置有贴膜检测组件(18)和第三转向组件，所述第三转向组件沿着x轴负方向的一侧依次设置有取膜辅助刀组件(20)和取膜辊组件(19)，所述第三转向组件沿着x轴正方向的一侧依次设置有第二压送辊单元、浮动辊二组件(9)、第四转向组件和收料辊组件(12)，所述贴膜检测组件(18)、第三转向组件、取膜辊组件(19)、取膜辅助刀组件(20)、第二压送辊单元、浮动辊二组件(9)和第四转向组件均沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间，所述收料辊组件(12)安装在贴膜支架电机侧边(104)靠近底部沿着x轴正方向的一侧位置。2.如权利要求1所述的一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，所述第一压送辊单元包括沿着x轴正方向依次设置的压送从辊组件(2)和压送主辊组件(5)；所述压送从辊组件(2)包括压送从辊转接板一(204)、压送从辊转接板三(205)、压送从辊转接板二(206)、压送从辊滚筒(207)和压送从辊心轴(209)，所述压送从辊转接板二(206)沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间，所述压送从辊转接板二(206)上沿着x轴负方向的一侧安装有压送从辊转接板三(205)，所述压送从辊
转接板三(205)沿着y轴方向两侧的底部均连接有压送从辊转接板一(204)，两个所述压送从辊转接板一(204)之间沿着y轴方向安装有压送从辊滚筒(207)，所述压送从辊转接板二(206)沿着x轴正方向一侧的贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)上均设置有速度控制阀(201)和滑台气缸(202)，所述滑台气缸(202)可驱动压送从辊转接板二(206)沿着x轴方向移动，所述压送从辊滚筒(207)的内侧通过压送从辊轴承(210)与压送从辊心轴(209)相连接，所述压送从辊心轴(209)沿着y轴方向上的两侧分别安装在两个压送从辊转接板一(204)上，所述压送从辊轴承(210)外侧的压送从辊心轴(209)上设置有压送从辊固定环(208)；所述压送主辊组件(5)包括包括压送主辊伺服电机(501)、压送主辊减速器(502)、压送主辊支撑立柱(503)、压送主辊电机板(507)和压送主辊包胶辊(508)，所述压送主辊伺服电机(501)和压送主辊减速器(502)通过压送主辊电机板(507)和若干个压送主辊支撑立柱(503)安装在贴膜支架电机侧边(104)上，所述压送主辊伺服电机(501)和压送主辊减速器(502)通过压送主辊联轴器(504)与压送主辊包胶辊(508)相连接，所述压送主辊包胶辊(508)通过压送主辊法兰一(505)安装在贴膜支架电机侧边(104)上，所述压送主辊包胶辊(508)通过压送主辊法兰二(509)安装在贴膜支架侧边(106)上，所述压送主辊包胶辊(508)通过压送主辊轴承(506)与压送主辊法兰一(505)和压送主辊法兰二(509)相连接，所述压送主辊包胶辊(508)位于压送从辊滚筒(207)沿着x轴正方向的一侧。3.如权利要求1所述的一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，所述第二压送辊单元包括沿着z轴负方向依次设置的压送从辊组件(2)和压送主辊组件(5)；所述压送从辊组件(2)包括压送从辊转接板一(204)、压送从辊转接板三(205)、压送从辊转接板二(206)、压送从辊滚筒(207)和压送从辊心轴(209)，所述压送从辊转接板二(206)沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间，所述压送从辊转接板二(206)上沿着z轴正方向的一侧安装有压送从辊转接板三(205)，所述压送从辊转接板三(205)沿着y轴方向两侧的底部均连接有压送从辊转接板一(204)，两个所述压送从辊转接板一(204)之间沿着y轴方向安装有压送从辊滚筒(207)，所述压送从辊转接板二(206)沿着z轴负方向一侧的贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)上均设置有速度控制阀(201)和滑台气缸(202)，所述滑台气缸(202)可驱动压送从辊转接板二(206)沿着z轴方向移动，所述压送从辊滚筒(207)的内侧通过压送从辊轴承(210)与压送从辊心轴(209)相连接，所述压送从辊心轴(209)沿着y轴方向上的两侧分别安装在两个压送从辊转接板一(204)上，所述压送从辊轴承(210)外侧的压送从辊心轴(209)上设置有压送从辊固定环(208)，所述压送从辊转接板三(205)和压送从辊转接板二(206)之间设置有压送从辊调整块(203)；所述压送主辊组件(5)包括包括压送主辊伺服电机(501)、压送主辊减速器(502)、压送主辊支撑立柱(503)、压送主辊电机板(507)和压送主辊包胶辊(508)，所述压送主辊伺服电机(501)和压送主辊减速器(502)通过压送主辊电机板(507)和若干个压送主辊支撑立柱(503)安装在贴膜支架电机侧边(104)上，所述压送主辊伺服电机(501)和压送主辊减速器(502)通过压送主辊联轴器(504)与压送主辊包胶辊(508)相连接，所述压送主辊包胶辊(508)通过压送主辊法兰一(505)安装在贴膜支架电机侧边(104)上，所述压送主辊包胶辊(508)通过压送主辊法兰二(509)安装在贴膜支架侧边(106)上，所述压送主辊包胶辊(508)
通过压送主辊轴承(506)与压送主辊法兰一(505)和压送主辊法兰二(509)相连接，所述压送主辊包胶辊(508)位于压送从辊滚筒(207)的正下方位置。4.如权利要求1所述的一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，所述第一转向组件、第二转向组件、第三转向组件和第四转向组件均为转向辊组件(6)，所述转向辊组件(6)包括转向辊轴(603)和转向辊辊筒(605)，所述转向辊辊筒(605)通过转向辊轴承(601)与内侧的转向辊轴(603)相连接，所述转向辊轴(603)沿着y轴负方向的一侧通过转向辊固定环(604)安装在贴膜支架电机侧边(104)上，所述转向辊轴(603)沿着y轴正方向的一侧通过转向辊法兰(602)安装在贴膜支架侧边(106)上，沿着y轴正方向一侧的所述转向辊轴承(601)外侧的转向辊轴(603)上设置有转向辊固定环(604)，且所述转向辊辊筒(605)上还设置有膜限位组件(23)。5.如权利要求1所述的一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，所述浮动辊一组件(7)包括浮动辊一滑板一(701)、浮动辊一滚筒(704)、浮动辊一导轨(706)、浮动辊一轴(707)和浮动辊一滑板二(709)，所述浮动辊一滚筒(704)通过浮动辊一轴承(705)与内侧的浮动辊一轴(707)相连接，所述浮动辊一轴(707)沿着y轴负方向的一侧通过浮动辊一轴套(708)安装在贴膜支架电机侧边(104)上的浮动辊一滑板二(709)上，所述浮动辊一轴(707)沿着y轴正方向的一侧通过球面轴承(702)安装在贴膜支架侧边(106)上的浮动辊一滑板一(701)上，所述浮动辊一滑板一(701)与沿着z轴方向安装在贴膜支架侧边(106)上的浮动辊一导轨(706)相连接，所述浮动辊一滑板二(709)与沿着z轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)上的浮动辊一导轨(706)相连接，沿着y轴负方向一侧的所述浮动辊一轴套(708)外侧的浮动辊一轴(707)上设置有浮动辊一固定环(703)，所述浮动辊一滑板二(709)上设置有浮动辊一感应片(710)，所述浮动辊一滚筒(704)上还设置有膜限位组件(23)；所述浮动辊一滑板二(709)一侧的贴膜支架电机侧边(104)上还设置有浮动辊一感应组件(21)，所述浮动辊一感应组件(21)包括沿着z轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)上的浮动辊一感应条(2103)，浮动辊一感应器(2102)通过浮动辊一感应器滑块(2101)可沿着z轴方向移动的安装在所述浮动辊一感应条(2103)上；所述浮动辊二组件(9)包括浮动辊二滑板一(901)、浮动辊二导轨(902)、浮动辊二辊筒(903)、浮动辊二滑板二(905)和浮动辊二轴(906)，所述浮动辊二辊筒(903)通过浮动辊二轴承二(909)与内侧的浮动辊二轴(906)相连接，所述浮动辊二轴(906)沿着y轴负方向的一侧通过浮动辊二轴套(904)安装在贴膜支架电机侧边(104)上的浮动辊二滑板二(905)上，所述浮动辊二轴(906)沿着y轴正方向的一侧通过浮动辊二轴承一(908)安装在贴膜支架侧边(106)上的浮动辊二滑板一(901)上，所述浮动辊二滑板一(901)与沿着z轴方向安装在贴膜支架侧边(106)上的浮动辊二导轨(902)相连接，所述浮动辊二滑板二(905)与沿着z轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)上的浮动辊二导轨(902)相连接，所述浮动辊二滑板二(905)上设置有浮动辊二感应片(907)，所述浮动辊二辊筒(903)上还设置有膜限位组件(23)；所述浮动辊二滑板二(905)一侧的贴膜支架电机侧边(104)上还设置有浮动辊二感应组件(22)，所述浮动辊二感应组件(22)包括沿着z轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)上的浮动辊二感应条(2203)，浮动辊二感应器(2202)通过浮动辊二感应器滑块(2201)可沿着z轴方向移动的安装在所述浮动辊二感应条(2203)上。6.如权利要求1所述的一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，所述放料辊
组件(8)包括放料辊辊轴(806)、免键同步带轮(808)、放料辊减速器(809)、同步带(810)、同步带轮(811)、放料辊辊筒(815)和放料辊伺服电机(818)；所述放料辊伺服电机(818)依次通过同步带轮(811)、同步带(810)和免键同步带轮(808)与放料辊辊轴(806)相连接，所述放料辊辊轴(806)沿着y轴正方向的一侧设置有放料辊辊筒(815)，所述放料辊辊筒(815)和免键同步带轮(808)之间的放料辊辊轴(806)上设置有放料辊轴承套(812)，所述放料辊轴承套(812)通过放料辊轴承(804)与放料辊辊轴(806)相连接，所述放料辊轴承套(812)和放料辊辊筒(815)之间的放料辊辊轴(806)上设置有放料辊挡圈二(817)、放料辊挡圈一(816)和放料辊挡圈三(801)，所述放料辊辊轴(806)沿着y轴负方向的一侧设置有管接头一(805)，所述放料辊辊筒(815)凹槽内沿着y轴正方向依次设置有放料辊转接头(803)和膜片式夹紧气缸(814)，所述放料辊转接头(803)上设置有管接头二(813)，所述膜片式夹紧气缸(814)沿着y轴负方向的一侧设置有微型管接头(802)，所述放料辊轴承套(812)和免键同步带轮(808)之间的放料辊辊轴(806)上设置有放料辊固定轴环(807)；所述放料辊组件(8)沿着x轴负方向一侧的贴膜支架电机侧边(104)上设置有光纤传感器固定板(16)，所述光纤传感器固定板(16)上安装有光纤传感器(15)和反射挡板(17)。7.如权利要求1所述的一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，所述收料辊组件(12)包括收料辊电机(1201)、收料辊减速器(1202)、收料辊辊轴(1208)和收料辊滚筒(1210)，所述收料辊电机(1201)和收料辊减速器(1202)通过收料辊固定板(1203)和若干个收料辊支撑杆(1205)安装在贴膜支架电机侧边(104)上，所述收料辊电机(1201)和收料辊减速器(1202)通过收料辊联轴器(1204)与收料辊辊轴(1208)相连接，所述收料辊辊轴(1208)通过收料辊轴承(1209)与收料辊法兰(1207)相连接，所述收料辊法兰(1207)安装在贴膜支架电机侧边(104)上，所述收料辊轴承(1209)和收料辊联轴器(1204)之间的收料辊辊轴(1208)上设置有收料辊固定环(1206)。8.如权利要求1所述的一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，所述贴膜基座支架一(10)从下往上依次包括贴膜基座一支架一(1010)、贴膜基座一垫板一(1009)、贴膜基座一滑板一(1007)和贴膜基座一转接块二(1004)，所述贴膜基座一支架一(1010)上设置有贴膜基座一垫板一(1009)，所述贴膜基座一垫板一(1009)上沿着x轴方向上设置有若干个贴膜基座一导轨(1011)，所述贴膜基座一导轨(1011)沿着y轴方向设置，所述贴膜基座一导轨(1011)沿着y轴方向两侧的贴膜基座一垫板一(1009)上均设置有贴膜基座一挡块(1013)，所述贴膜基座一滑板一(1007)的底部通过贴膜基座一滑块(1006)与下方的贴膜基座一导轨(1011)相连接，所述贴膜基座一滑板一(1007)沿着x轴方向两侧的贴膜基座一垫板一(1009)上均设置有用于对贴膜基座一滑板一(1007)固定的贴膜基座一固定块一(1008)，所述贴膜基座一滑板一(1007)上沿着x轴方向设置有贴膜基座一转接块二(1004)，所述贴膜基座一转接块二(1004)底部沿着x轴方向的两侧均通过贴膜基座一轴与设置在贴膜基座一滑板一(1007)上的贴膜基座一轴座一(1001)相连接，所述贴膜基座一转接块二(1004)可依次通过贴膜基座一转接块三(1003)和贴膜基座一转接块一(1002)固定安装在贴膜基座一滑板一(1007)上，所述贴膜基座一转接块二(1004)上从下往上依次设置有贴膜基座一调整块一(1012)和贴膜基座一调整块二(1005)，所述贴膜基座一调整块一(1012)和贴膜基座一调整块二(1005)通过双向螺栓连接在一起，所述贴膜基座一调整块二(1005)与
上方的贴膜支架侧边(106)相连接，所述贴膜基座一转接块二(1004)位于两个贴膜支架靠边(105)之间；所述贴膜基座支架二(11)从下往上依次包括贴膜基座二支架二(1110)、贴膜基座二垫板二(1109)和贴膜基座二垫板二(1104)，所述贴膜基座二支架二(1110)上设置有贴膜基座二垫板二(1109)，所述贴膜基座二垫板二(1109)上沿着x轴方向均匀的设置有若干个贴膜基座二导轨(1103)，所述贴膜基座二垫板二(1104)的底部通过贴膜基座二滑块(1105)与下方的贴膜基座二导轨(1103)相连接，所述贴膜基座二垫板二(1104)沿着x轴方向的两侧均通过贴膜基座二轴二(1107)和贴膜基座二轴座二(1106)与贴膜支架筋板(102)相连接，所述贴膜基座二垫板二(1104)可通过贴膜基座二转接块四(1102)固定安装在贴膜支架筋板(102)上，所述贴膜支架筋板(102)外侧的贴膜基座二垫板二(1109)上设置有贴膜基座二固定块二(1101)，所述贴膜基座二固定块二(1101)上方的贴膜支架筋板(102)上设置有贴膜基座二柱塞块二(1108)，所述贴膜基座二固定块二(1101)和贴膜基座二柱塞块二(1108)之间通过贴膜基座二旋钮柱塞(1112)和贴膜基座二柱塞块一(1111)连接在一起。9.如权利要求1所述的一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，所述贴膜检测组件(18)包括贴膜检测固定板一(1812)、贴膜检测固定板二(1803)、贴膜检测固定板五(1805)和贴膜检测固定板六(1810)，所述贴膜检测固定板一(1812)通过贴膜检测调整杆(1806)和贴膜检测调整螺母(1807)沿着z轴方向可移动的安装在贴膜支架电机侧边(104)上，所述贴膜检测固定板二(1803)通过若干个贴膜检测固定板三(1813)沿着y轴方向与贴膜检测固定板一(1812)相连接，所述贴膜检测固定板二(1803)沿着x轴负方向的一侧从上往下依次设置有贴膜检测固定板五(1805)和贴膜检测固定板六(1810)，所述贴膜检测固定板五(1805)和贴膜检测固定板六(1810)均沿着y轴方向与贴膜检测固定板一(1812)相连接，且所述贴膜检测固定板五(1805)和贴膜检测固定板六(1810)之间连接设置有贴膜检测固定板四(1811)，所述贴膜检测固定板五(1805)沿着y轴正方向一侧的底部设置有贴膜检测气缸(1804)，所述贴膜检测气缸(1804)的驱动端与沿着x轴正方向一侧的贴膜检测固定板七(1802)相连接，所述贴膜检测固定板七(1802)的底部安装有贴膜检测压板(1801)，所述贴膜检测气缸(1804)正下方的贴膜检测固定板六(1810)上设置有贴膜检测感应器板(1808)，所述贴膜检测感应器板(1808)上沿着x轴方向安装有贴膜检测感应器(1809)，所述贴膜检测感应器(1809)沿着x轴正方向一侧的贴膜检测固定板二(1803)上开设有感应孔，所述感应孔沿着x轴正方向一侧的贴膜检测固定板二(1803)上设置有贴膜感应器挡板(1814)，所述贴膜感应器挡板(1814)通过贴膜感应器连接板(1815)安装在贴膜检测固定板二(1803)上。10.如权利要求1所述的一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，其特征在于，所述取膜辊组件(19)从上往下依次包括取膜辊固定板三(1901)和取膜辊固定板一(1906)，所述取膜辊固定板三(1901)沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间，所述取膜辊固定板三(1901)上设置有取膜辊固定板二(1909)，所述取膜辊固定板二(1909)上沿着y轴方向的中间位置设置有薄型气缸(1910)，所述薄型气缸(1910)底部的驱动端通过气缸浮动接头(1913)与下方的取膜辊固定板一(1906)相连接，所述取膜辊固定板一(1906)的底部沿着y轴方向安装有取膜包胶辊(1904)，所述取膜包胶辊(1904)通过取膜辊轴承(1903)和取膜辊轴承座(1902)安装在取膜辊固定板一(1906)上，所述取膜辊固定板
三(1901)上沿着x轴负方向的一侧通过取膜离子风支架(1916)安装有静电消除器(1915)，所述取膜辊固定板二(1909)和取膜辊固定板一(1906)之间连接设置有若干个导向机构，所述导向机构包括取膜辊导向轴(1907)、取膜辊直线轴承(1908)和取膜辊限位块(1914)，所述取膜辊导向轴(1907)靠近顶部的一侧通过取膜辊直线轴承(1908)安装在取膜辊固定板二(1909)上，所述取膜辊导向轴(1907)底部的一侧与取膜辊固定板一(1906)相连接，所述取膜辊导向轴(1907)的顶部设置有取膜辊限位块(1914)，所述取膜辊固定板二(1909)沿着y轴方向两侧的取膜辊固定板三(1901)上均设置有取膜辊靠边(1905)，所述取膜辊固定板一(1906)沿着x轴正方向一侧的底部中间位置设置有取膜辊感应器安装板(1911)，所述取膜辊感应器安装板(1911)的底部安装有朝向取膜包胶辊(1904)设置的取膜辊感应器(1912)；所述取膜辅助刀组件(20)包括取膜刀固定板(2001)、取膜刀座(2002)、取膜刀板(2003)，所述取膜刀座(2002)通过取膜刀固定板(2001)沿着y轴方向安装在贴膜支架电机侧边(104)和贴膜支架侧边(106)之间，所述取膜刀座(2002)上安装有朝向取膜包胶辊(1904)设置的取膜刀板(2003)。
技术总结本发明涉及一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，包括膜装置支架、第一压送辊单元、第二压送辊单元、第一转向组件、第二转向组件、第三转向组件、第四转向组件、浮动辊一组件、放料辊组件、浮动辊二组件、贴膜基座支架一、贴膜基座支架二、收料辊组件、贴膜检测组件、取膜辊组件和取膜辅助刀组件。本发明意在提供一种用于半导体晶圆覆膜的贴膜装置，以解决现有技术中对晶圆贴膜过程中存在的容易出现气泡的问题，便于后续加工工序进行，同时可实现自动贴膜，省时省力，可提高生产效率。可提高生产效率。可提高生产效率。
技术研发人员：赵裕兴 王乾宝 高峰
受保护的技术使用者：苏州德龙激光股份有限公司
技术研发日：2022.07.25
技术公布日：2022/11/1
