本发明涉及真空蒸镀，特别涉及一种半导体器件真空蒸镀设备。
背景技术：
1、在半导体器件的制备过程中，可能会产生有毒或有害的气体，如挥发性有机化合物、溶剂蒸气等，现有技术中部分的半导体器件真空蒸镀设备在使用时，仅通过抽取有毒气体这一方式对气体进行处理，但气体内的粉尘依旧残留在设备内，粉尘长时间吸附在设备的部件内，容易对部件造成腐蚀，影响了设备的使用寿命，因此，针对以上问题，现提出一种半导体器件真空蒸镀设备。
技术实现思路
1、本发明的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种半导体器件真空蒸镀设备，能够解决现有技术中部分的半导体器件真空蒸镀设备在使用时，仅通过抽取有毒气体这一方式对气体进行处理，但气体内的粉尘依旧残留在设备内，粉尘长时间吸附在设备的部件内，容易对部件造成腐蚀，影响了设备的使用寿命的问题。
2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体器件真空蒸镀设备，包括工作台、更换组件、抽风组件、过滤组件和收集组件，工作台的顶部固定连接有真空蒸镀箱体，更换组件位于真空蒸镀箱体内，抽风组件位于真空蒸镀箱体上，过滤组件位于抽风组件上，过滤组件包括按压杆、连接环、铰接杆、铰接块、过滤膜袋和复位弹簧，按压杆的底部固定连接有连接环，连接环的两端分别铰接安装有铰接杆，收集组件位于过滤组件的下方。
3、优选的，所述真空蒸镀箱体的一侧设置有真空机，其设置便于对真空蒸镀箱体的内部进行抽真空工作。
4、优选的，所述真空蒸镀箱体的顶部固定连接有驱动电机，真空蒸镀箱体的内侧顶部转动安装有转动杆，真空蒸镀箱体内设置有连接基板，连接基板的顶部与转动杆固定连接，驱动电机的输出轴与转动杆相连接，连接基板上开设有放置槽，放置槽上便于对半导体进行放置工作。
5、优选的，所述真空蒸镀箱体的内侧底部固定连接有蒸发盘，蒸发盘的设置便于对蒸发材料进行放置工作。
6、优选的，所述抽风组件包括抽泵、连接管一、过滤盒、连接管二、吸风盒和吸风头，真空蒸镀箱体的一侧固定连接有吸风盒，吸风盒的一侧固定连接有多组吸风头，真空蒸镀箱体的顶部固定连接有抽泵，抽泵的抽风端固定连接有连接管一，连接管一上设置有过滤盒，过滤盒的一侧与连接管一固定连接，过滤盒的另一侧固定连接有连接管二，连接管二的一端与吸风盒固定连接，通过抽泵、连接管一、过滤盒、连接管二、吸风盒和吸风头的配合使用，能够对装置进行抽风工作，通过抽风可以将设备内部的有害气体排出，降低有害气体的浓度，减少操作人员吸入有害气体的风险，保护其健康安全，从而净化工作环境。
7、优选的，所述抽泵的出风端固定连接有连接管三，其设置便于对过滤后的气体进行后续的处理工作。
8、优选的，所述按压杆滑动安装于过滤盒上，过滤盒的内壁上固定连接有两组过滤膜袋呈相对分布，两组过滤膜袋的相邻侧均固定连接有铰接块，铰接块与铰接杆的一端铰接安装，铰接杆的顶部固定连接有复位弹簧，复位弹簧的一端与过滤盒的内壁相贴合，按压杆的底部固定连接有阻尼器，阻尼器的一端与过滤盒固定连接，通过按压杆、连接环、铰接杆、铰接块、过滤膜袋和复位弹簧的配合使用，能够对设备内排出的有毒气体进行过滤工作，对气体内的粉尘颗粒进行过滤，降低了气体中的颗粒物浓度，避免气体内的粉尘沾附在设备内，避免设备内部件收到的污染和腐蚀，进而影响设备的运行稳定性和寿命，确保蒸镀过程中的洁净性，有利于提高加工质量和产品良率。
9、优选的，所述收集组件包括安装座、收纳盒、抽拉杆和吸附碳纸，真空蒸镀箱体的顶部固定连接有安装座，安装座上滑动安装有收纳盒，收纳盒的一侧固定连接有抽拉杆，收纳盒的内部放置有吸附碳纸，通过安装座、收纳盒、抽拉杆和吸附碳纸的配合使用，能够对过滤后的粉尘颗粒进行收集工作，一方面能够减少工作场所内粉尘浓度，降低操作人员吸入粉尘颗粒的风险，通过收集过滤后的粉尘颗粒，保障操作人员的健康安全，另一方面可以避免它们散布到周围环境中，从而减少对环境的污染。
10、优选的，所述过滤盒固定连接于安装座的顶部，过滤盒和安装座上均开设有弧形开口，弧形开口的直径大于两组过滤膜袋的相邻距离，其设置便于粉尘颗粒的掉落收集。
11、优选的，所述更换组件包括滑块和蒸发孔板，真空蒸镀箱体的相邻侧壁之间均固定连接有滑块，蒸发孔板的两端分别滑动安转于滑块上，通过滑块和蒸发孔板的配合使用，能够根据蒸发材料所需蒸发的颗粒对蒸发孔板进行更换工作，使得装置在使用时可以使用不同孔径、排列方式构成的蒸发孔板，以满足不同蒸发材料的要求，提高了装置使用的灵活性。
12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：
13、(1)、该半导体器件真空蒸镀设备，通过滑块和蒸发孔板的配合使用，能够根据蒸发材料所需蒸发的颗粒对蒸发孔板进行更换工作，使得装置在使用时可以使用不同孔径、排列方式构成的蒸发孔板，以满足不同蒸发材料的要求，提高了装置使用的灵活性。
14、(2)、该半导体器件真空蒸镀设备，通过抽泵、连接管一、过滤盒、连接管二、吸风盒和吸风头的配合使用，能够对装置进行抽风工作，通过抽风可以将设备内部的有害气体排出，降低有害气体的浓度，减少操作人员吸入有害气体的风险，保护其健康安全，从而净化工作环境。
15、(3)、该半导体器件真空蒸镀设备，通过按压杆、连接环、铰接杆、铰接块、过滤膜袋和复位弹簧的配合使用，能够对设备内排出的有毒气体进行过滤工作，对气体内的粉尘颗粒进行过滤，降低了气体中的颗粒物浓度，避免气体内的粉尘沾附在设备内，避免设备内部件收到的污染和腐蚀，进而影响设备的运行稳定性和寿命，确保蒸镀过程中的洁净性，有利于提高加工质量和产品良率。
16、(4)、该半导体器件真空蒸镀设备，通过安装座、收纳盒、抽拉杆和吸附碳纸的配合使用，能够对过滤后的粉尘颗粒进行收集工作，一方面能够减少工作场所内粉尘浓度，降低操作人员吸入粉尘颗粒的风险，通过收集过滤后的粉尘颗粒，保障操作人员的健康安全，另一方面可以避免它们散布到周围环境中，从而减少对环境的污染。
1.一种半导体器件真空蒸镀设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种半导体器件真空蒸镀设备，其特征在于：所述真空蒸镀箱体(2)的一侧设置有真空机(3)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体器件真空蒸镀设备，其特征在于：所述真空蒸镀箱体(2)的顶部固定连接有驱动电机(4)，真空蒸镀箱体(2)的内侧顶部转动安装有转动杆(5)，真空蒸镀箱体(2)内设置有连接基板(6)，连接基板(6)的顶部与转动杆(5)固定连接，驱动电机(4)的输出轴与转动杆(5)相连接。
4.根据权利要求3所述的一种半导体器件真空蒸镀设备，其特征在于：所述真空蒸镀箱体(2)的内侧底部固定连接有蒸发盘(9)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体器件真空蒸镀设备，其特征在于：所述抽风组件包括抽泵(10)、连接管一(11)、过滤盒(12)、连接管二(13)、吸风盒(14)和吸风头(15)，真空蒸镀箱体(2)的一侧固定连接有吸风盒(14)，吸风盒(14)的一侧固定连接有多组吸风头(15)，真空蒸镀箱体(2)的顶部固定连接有抽泵(10)，抽泵(10)的抽风端固定连接有连接管一(11)，连接管一(11)上设置有过滤盒(12)，过滤盒(12)的一侧与连接管一(11)固定连接，过滤盒(12)的另一侧固定连接有连接管二(13)，连接管二(13)的一端与吸风盒(14)固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种半导体器件真空蒸镀设备，其特征在于：所述抽泵(10)的出风端固定连接有连接管三(16)。
7.根据权利要求6所述的一种半导体器件真空蒸镀设备，其特征在于：所述按压杆(22)滑动安装于过滤盒(12)上，过滤盒(12)的内壁上固定连接有两组过滤膜袋(26)呈相对分布，两组过滤膜袋(26)的相邻侧均固定连接有铰接块(25)，铰接块(25)与铰接杆(24)的一端铰接安装，铰接杆(24)的顶部固定连接有复位弹簧(27)，复位弹簧(27)的一端与过滤盒(12)的内壁相贴合。
8.根据权利要求7所述的一种半导体器件真空蒸镀设备，其特征在于：所述收集组件包括安装座(17)、收纳盒(18)、抽拉杆(19)和吸附碳纸(20)，真空蒸镀箱体(2)的顶部固定连接有安装座(17)，安装座(17)上滑动安装有收纳盒(18)，收纳盒(18)的一侧固定连接有抽拉杆(19)，收纳盒(18)的内部放置有吸附碳纸(20)。
9.根据权利要求8所述的一种半导体器件真空蒸镀设备，其特征在于：所述过滤盒(12)固定连接于安装座(17)的顶部，过滤盒(12)和安装座(17)上均开设有弧形开口(21)，弧形开口(21)的直径大于两组过滤膜袋(26)的相邻距离。
10.根据权利要求9所述的一种半导体器件真空蒸镀设备，其特征在于：所述更换组件包括滑块(7)和蒸发孔板(8)，真空蒸镀箱体(2)的相邻侧壁之间均固定连接有滑块(7)，蒸发孔板(8)的两端分别滑动安转于滑块(7)上。
