一种镀膜机真空室内气体捕集器的制作方法

专利2026-02-06  1


本技术涉及为一种镀膜机真空室内气体捕集器。


背景技术:

1、真空镀膜机的油扩散泵的主要结构是由泵壳、泵芯、硅油、电炉组成。其原理是利用电炉在泵的底部加热至270℃使硅油沸腾,产生油蒸汽而向上喷射。经一、二、三级喷嘴喷出形成高速的喷射油膜。此时利用空气动力学的原理将空气分子吸附在油膜表面经三级压缩后由机械真空泵抽出。

2、申请号201120148551.4的实用新型公开了一种镀膜机真空室内气体捕集器,包括制冷管、框架和若干块挡板,所述框架竖直固定于真空室与真空泵之间的真空室抽气口位置,所述制冷管包括间隔设置的直管段和弯管段,一段直管段上倾斜固定有一块挡板。本实用新型由于采用了上述技术方案,利用超低温的温差对流原理以及充分的光密封将油气分子、水分子充分吸附在挡板表面,从而使工件的金膜质量和附着力得到提高。大幅度提高抽速和真空度,因为抽速的提高从而缩短了生产时间,减少了电耗。

3、但是,上述实用新型技术方案仍有改进的空间:挡板被降温冷却的效率低,且降温的温度仍相对比较高,则油气分子、水分子充分吸附在挡板表面的效率低,则抽真空的速度及真空度低。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种镀膜机真空室内气体捕集器,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为了解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种镀膜机真空室内气体捕集器,包括制冷管、框架和依次倾斜设置在框架内的若干块挡板,所述挡板为中空结构,所述挡板内穿设有若干根所述制冷管,且所述框架的两侧分别设置有制冷液进管及制冷液出管,所述制冷液进管及制冷液出管分别与若干根所述制冷管的两端部连接。

3、所述制冷管的截面为圆形或椭圆形。

4、所述制冷管为铜管。

5、所述挡板的表面为弧形面。

6、与现有技术相比,本实用新型所达到的有益效果是:本实用新型挡板为中空结构,挡板内穿设有若干根所述制冷管,则制冷剂通过制冷管后可快速的降低挡板的温度,且挡板降温的温度相对上述的实用新型中更低,则油气分子、水分子充分吸附在挡板表面的效率高,则抽真空的速度及真空度高。



技术特征:

1.一种镀膜机真空室内气体捕集器,包括制冷管(1)、框架(2)和依次倾斜设置在框架(2)内的若干块挡板(3),其特征在于:所述挡板(3)为中空结构,所述挡板(3)内穿设有若干根所述制冷管(1),且所述框架(2)的两侧分别设置有制冷液进管(4)及制冷液出管(5),所述制冷液进管(4)及制冷液出管(5)分别与若干根所述制冷管(1)的两端部连接。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜机真空室内气体捕集器,其特征在于:所述制冷管(1)的截面为圆形或椭圆形。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜机真空室内气体捕集器,其特征在于:所述制冷管(1)为铜管。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜机真空室内气体捕集器,其特征在于:所述挡板(3)的表面为弧形面。


技术总结
本技术提供一种镀膜机真空室内气体捕集器,包括制冷管、框架和依次倾斜设置在框架内的若干块挡板,挡板为中空结构,挡板内穿设有若干根制冷管,且框架的两侧分别设置有制冷液进管及制冷液出管,制冷液进管及制冷液出管分别与若干根制冷管的两端部连接。本技术挡板为中空结构,挡板内穿设有若干根所述制冷管,则制冷剂通过制冷管后可快速的降低挡板的温度,且挡板降温的温度相对上述的技术中更低,则油气分子、水分子充分吸附在挡板表面的效率高,则抽真空的速度及真空度高。

技术研发人员:朱九菊,刘年生,安建昊,唐欢欢,许帮洪,赵剑光
受保护的技术使用者:江苏派莱特光电科技有限公司
技术研发日:20240319
技术公布日:2024/11/11
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