本公开涉及半导体设备领域，具体而言，涉及一种油墨成膜装置及油墨成膜方法。
背景技术：
1、在半导体器件例如oled显示面板的制备工艺中，可以采用喷墨打印的方式在oled显示面板上形成像素发光层、液体光学胶(optical clear resin)层等，以液体光学胶(optical clear resin)层为例，采用喷墨打印方式在oled显示面板制造工艺形成液体光学胶层代替传统的透明光学胶(optical clear adhesive)层，可以使得粘合层厚度减薄，进而减薄oled显示模组的厚度。
技术实现思路
1、本公开提供一种油墨成膜装置，用于oled显示面板的制造，包括：
2、基台；
3、转盘，可旋转地安装在基台上；以及
4、四个工作盘，安装在所述转盘上，在所述转盘的周向上均匀设置，
5、其中，四个工作盘分别位于上料工位、打印工位、固化工位以及下料工位，所述转盘每次转动90度，使得四个工作盘依次在上料工位、打印工位、固化工位以及下料工位之间切换。
6、在一些实施例中，所述油墨成膜装置还包括：
7、对位相机，位于所述上料工位上方，用于定位待处理oled显示面板在位于上料工位的工作盘上的位置；
8、打印喷头，配置为在第一方向、第二方向以及第三方向上移动，基于所述对位相机获取的所述oled显示面板的所述位置，在打印工位处执行oled显示面板的喷墨打印处理；以及
9、固化仓，位于所述固化工位处，配置为在第三方向上移动以容置移动至所述固化工位处的工作盘上的oled显示面板执行固化工艺。
10、在一些实施例中，所述油墨成膜装置还包括：
11、相机支架，穿过所述转盘的中心开口设置在所述基台上，配置为支撑所述对位相机，所述相机支架配置为相对于所述基台转动使得所述对位相机在上料工位和所述打印工位之间切换；
12、所述对位相机配置为相对于所述相机支架在第一方向、第二方向以及第三方向上移动。
13、在一些实施例中，所述油墨成膜装置还包括：
14、龙门架，可滑动地安装在所述基台上，配置为相对于所述基台沿第一方向滑动，
15、滑动架，可滑动地设置在所述龙门架上，配置为相对于所述龙门架沿第二方向滑动，
16、所述打印喷头可滑动地设置在所述滑动架上，配置为相对于所述滑动架沿第三方向滑动。
17、在一些实施例中，所述油墨成膜装置还包括：
18、自动光学检测装置，设置在所述下料工位处，配置为检测完成固化工艺的oled显示面板。
19、本公开一些实施例提供一种油墨成膜方法，利用前述实施例所述的油墨成膜装置，所述油墨成膜方法包括以下步骤：
20、转动转盘使得位于上料工位处的承载待处理oled显示面板的工作盘转动至打印工位；
21、驱动打印喷头在打印工位处对处理oled显示面板执行喷墨打印出处理；
22、转动转盘使得承载完成喷墨打印的oled显示面板的工作盘转动至固化工位；
23、利用固化仓对位于固化工位处的oled显示面板执行固化工艺；
24、转动转盘，使得承载完成固化的oled显示面板的工作盘转动至下料工位。
25、在一些实施例中，在转动转盘，使得位于上料工位处的承载待处理oled显示面板的工作盘转动至打印工位之前，所述油墨成膜方法还包括：
26、利用机械臂将待处理的待处理oled显示面板转运至上料工位处的工作盘上。
27、在一些实施例中，在转动转盘使得承载完成喷墨打印的oled显示面板的工作盘转动至固化工位之前或之后，所述油墨成膜方法还包括：
28、利用对位相机定位所述待处理oled显示面板在承载待处理oled显示面板的工作盘上的位置，
29、驱动打印喷头在打印工位处对处理oled显示面板执行喷墨打印出处理包括：基于所述定位相机获取的所述位置驱动打印喷头在打印工位处对处理oled显示面板执行喷墨打印出处理。
30、在一些实施例中，利用对位相机定位所述待处理oled显示面板在承载待处理oled显示面板的工作盘上的位置包括：
31、调整所述对位相机的位置使得对位相机拍摄承载待处理oled显示面板的工作盘的完整图像；
32、在所述完整图像提取待处理oled显示面板的边缘与相邻的工作盘边缘的距离信息以及oled显示面板中像素图像，
33、基于所述距离信息以及所述像素图像确定所述待处理oled显示面板在承载待处理oled显示面板的工作盘上的位置。
34、在一些实施例中，基于所述定位相机获取的所述位置驱动打印喷头在打印工位处对处理oled显示面板执行喷墨打印出处理包括：
35、获取打印喷头在第一坐标系中的打印位置，所述第一坐标系以oled显示面板中心为原点，oled显示面板的相邻边缘分别作为相互垂直的坐标轴；
36、将第一坐标系中的打印位置转换为第二坐标系中的打印位置，所述第二坐标系以承载待处理oled显示面板的工作盘中心为原点，承载待处理oled显示面板的工作盘的相邻边缘分别作为相互垂直的坐标轴；
37、基于所述第二坐标系中的打印位置驱动打印喷头在打印工位处对处理oled显示面板执行喷墨打印出处理。
38、在一些实施例中，在转动转盘使得承载完成固化的oled显示面板的工作盘转动至下料工位之后，所述油墨成膜方法还包括：
39、在下料工位处利用自动光学检测装置检测完成固化工艺的oled显示面板。
40、本公开实施例的上述方案可以有以下有益效果：
41、通过转盘的转动，工作盘依次在上料工位、打印工位、固化工位以及下料工位之间切换，提高油墨成膜装置在oled显示面板制成工艺中的效率，采用对位相机对待处理oled显示面板进行高精度定位，并基于该定位信息，利用打印喷头精确地在oled面板上打印水性油墨阵列。
1.一种油墨成膜装置，用于oled显示面板的制造，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的油墨成膜装置，其中，所述油墨成膜装置还包括：
3.根据权利要求2所述的油墨成膜装置，其中，所述油墨成膜装置还包括：
4.根据权利要求2所述的油墨成膜装置，其中，所述油墨成膜装置还包括：
5.根据权利要求2至4中任一项所述的油墨成膜装置，其中，所述油墨成膜装置还包括：
6.一种油墨成膜方法，利用权利要求1至5中任一项所述的油墨成膜装置，所述油墨成膜方法包括以下步骤：
7.根据权利要求6所述的油墨成膜方法，其中，在转动转盘，使得位于上料工位处的承载待处理oled显示面板的工作盘转动至打印工位之前，所述油墨成膜方法还包括：
8.根据权利要求7所述的油墨成膜方法，其中，在转动转盘使得承载完成喷墨打印的oled显示面板的工作盘转动至固化工位之前或之后，所述油墨成膜方法还包括：
9.根据权利要求8所述的油墨成膜方法，其中，利用对位相机定位所述待处理oled显示面板在承载待处理oled显示面板的工作盘上的位置包括：
10.根据权利要求8或9所述的油墨成膜方法，其中，基于所述定位相机获取的所述位置驱动打印喷头在打印工位处对处理oled显示面板执行喷墨打印出处理包括：
11.根据所述权利要求6至9中任一项所述的油墨成膜方法，其中，在转动转盘使得承载完成固化的oled显示面板的工作盘转动至下料工位之后，所述油墨成膜方法还包括：
