一种芯片吸头及光学检测装置的制作方法

专利2025-12-04  11


本发明涉及芯片检测,具体为一种芯片吸头及光学检测装置。


背景技术:

1、在芯片进行光学检测过程中,为提高检测效率,通常采用批量检测的方式,要么采用芯片盒集中放置检测,要么通过自动化设备提高检测速度,第二种方法为提高对芯片的保护以及方便拾取大多采用吸附拾取的方式对芯片进行移动。

2、如申请号为200810133983.0的芯片吸取组件就公开了一种利用真空吸取的芯片吸头,市面上多数芯片吸头与上述吸头都采用一个吸头对应一个真空气管来实现精准控制。

3、但是对于需要进行批量拾取芯片的动作时,上述方式会导致气管众多,也就需要对每个气管进行单独的控制,并在芯片移动过程中,众多气管交错影响观感,在空间限定的情况下也在一定程度上限制了检测的灵活度,在一定空间内占据大量可用空间,空间利用率小,因此,本发明提供一种新型的解决方案。


技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种芯片吸头及光学检测装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种芯片吸头,包括:芯片吸头机构,所述芯片吸头机构包括:

3、盒体一、盒体二、回弹机构、吸头装置和吸头分配机构;

4、所述盒体二竖直开设有若干直管槽,盒体一内部开设有内腔,盒体一内部还开设有若干空气流通槽,每个空气流通槽连通内腔和相应的直管槽;

5、所述吸头分配机构安装于内腔处控制每个空气流通槽空气流通,所述吸头装置安装于直管槽处,每个空气流通槽,控制相应的吸头装置做吸附动作,所述回弹机构安装于盒体二下方用于提高吸头装置吸附效果。

6、关于该方案更进一步地,所述直管槽顶端设置有螺纹,吸头装置包括螺接头,所述螺接头螺接于直管槽的螺纹处,螺接头底端固定有吸管,吸管的底端固定有抵块,抵块下方为硅胶吸头。

7、关于该方案更进一步地,所述回弹机构包括横板,横板位于盒体二下方且位于抵块上方,其中,横板与盒体二底部之间还设置有复位弹簧。

8、关于该方案更进一步地,所述盒体二底端两侧开设有限位槽,限位槽内壁滑动有限位杆,所述限位杆分别插接于横板的两端,横板的两端还设置有用于固定限位杆用的螺丝,所述限位槽让限位杆能够在竖直向上在一定范围内移动。

9、关于该方案更进一步地,所述吸头分配机构包括阀壳,所述阀壳两端开设有孔,两端的孔内壁均滑动有阀柱,两个阀柱之间留存有间隙,间隙处设置有连接两个阀柱的连接件,所述阀壳表面开设有连通孔,连通孔与空气流通槽的位置相对应,所述阀柱表面开设有让位槽以连通内腔与空气流通槽,所述内腔一侧开设有空气流通孔,盒体一外部设置有与空气流通孔相连接的真空导管。

10、关于该方案更进一步地,所述阀柱在轴向位置的一端与内腔内壁之间设置有连接弹簧,其中,内腔一端内壁转动安装有伸缩杆,所述伸缩杆另一端与阀柱相连接,所述盒体一外部安装有电机二,电机二输出端固定于伸缩杆旋转轴一端。

11、关于该方案更进一步地,所述连接弹簧与阀柱之间设置有衔接件,所述衔接件包括转动于阀柱一侧的抵接片,所述阀柱靠近抵接片表面设置有环槽,抵接片一侧固定有滑动于环槽内的限位卡环以保持限位,其中,阀柱一端还设置有一圈滚珠,抵接片一侧股滚动于滚珠。

12、关于该方案更进一步地,所述内腔内部设置有与阀柱移动方向保持一侧的齿杆,齿杆一端底部通过连接杆与抵接片相连接,其中,内腔一侧还转动安装有齿轮,齿轮与齿杆啮合连接,位于盒体一外部安装有电机一,电机一的输出端固定于齿轮旋转轴一端,两个齿杆中部固定有连接管。

13、关于该方案更进一步地,所述连接件包括固定于两个阀柱之间衔接管,所述衔接管两端表面均设置有凸环,凸环与阀柱之间形成环槽,其中,位于连接管底端固定有滑动于两个环槽的卡接弧片,卡接弧片与衔接管之间设置有间隙以确保连接管两端空气流通。

14、一种光学检测装置,采用了上述任一所述的芯片吸头,包括:框架、载板、芯片放置板、xy滑台和检测装置,所述芯片吸头机构安装于xy滑台;所述框架上安装有若干载板,载板上放置有至少两个芯片放置板,其中,检测装置设置于两个芯片放置板之间对芯片进行光学检测,所述xy滑台横架于芯片放置板上方对芯片进行拾取动作。

15、与现有技术相比,本发明的有益效果是:

16、该芯片吸头及光学检测装置通过吸头装置和吸头分配机构等的设置,可以将多个吸附口集中到一个平台上,通过内部气路通道实现对每个吸附口的单独控制,同时通过回弹机构等保证吸附口的精确性和稳定性,并在满足吸附需求的前提下,减少大量的气管交错和混乱,提高整体的观感和检测的灵活度,同时配合常见的机械臂或滑台实现对芯片的精准控制和检测。

17、另外,该装置集成度相对较高,相较于传统的芯片吸头及光学检测装置,其占地面积相对更小,在有限的空间内能够实现批量的芯片检测,能够明显提高芯片检测速度,同时降低场地成本。



技术特征:

1.一种芯片吸头,其特征在于,包括:芯片吸头机构(6),所述芯片吸头机构(6)包括:

2.根据权利要求1所述的一种芯片吸头,其特征在于:直管槽(801)顶端设置有螺纹,吸头装置(13)包括螺接头(132),所述螺接头(132)螺接于直管槽(801)的螺纹处,螺接头(132)底端固定有吸管(131),吸管(131)的底端固定有抵块(135),抵块(135)下方为硅胶吸头(136)。

3.根据权利要求2所述的一种芯片吸头,其特征在于:回弹机构(12)包括横板(121),横板(121)位于盒体二(8)下方且位于抵块(135)上方,其中,横板(121)与盒体二(8)底部之间还设置有复位弹簧(134)。

4.根据权利要求3所述的一种芯片吸头,其特征在于:盒体二(8)底端两侧开设有限位槽(124),限位槽(124)内壁滑动有限位杆(122),所述限位杆(122)分别插接于横板(121)的两端,横板(121)的两端还设置有用于固定限位杆(122)用的螺丝(123),所述限位槽(124)让限位杆(122)能够在竖直方向上移动。

5.根据权利要求1所述的一种芯片吸头,其特征在于:吸头分配机构(14)包括阀壳(142),所述阀壳(142)两端开设有孔,两端的孔内壁均滑动有阀柱(141),两个阀柱(141)之间留存有间隙,间隙处设置有连接两个阀柱(141)的连接件,所述阀壳(142)表面开设有连通孔(1421),连通孔(1421)与空气流通槽(701)的位置相对应,所述阀柱(141)表面开设有让位槽(1413)以连通内腔(702)和空气流通槽(701),所述内腔(702)一侧开设有空气流通孔(703),盒体一(7)外部设置有与空气流通孔(703)相连接的真空导管(9)。

6.根据权利要求5所述的一种芯片吸头,其特征在于:阀柱(141)在轴向位置的一端与内腔(702)内壁之间设置有连接弹簧(146),其中,内腔(702)一端内壁转动安装有伸缩杆(147),所述伸缩杆(147)另一端与阀柱(141)相连接,所述盒体一(7)外部安装有电机二(11),电机二(11)输出端固定于伸缩杆(147)旋转轴一端,位于盒体一(7)外部还安装有电机一(10),电机一(10)的输出端固定于齿轮(145)旋转轴一端,两个齿杆(144)中部固定有连接管(143)。

7.根据权利要求6所述的一种芯片吸头,其特征在于:连接弹簧(146)与阀柱(141)之间设置有衔接件,所述衔接件包括转动于阀柱(141)一侧的抵接片(15),所述阀柱(141)靠近抵接片(15)表面设置有环槽,抵接片(15)一侧固定有滑动于环槽内的限位卡环(151)以保持限位,其中,阀柱(141)一端还设置有一圈滚珠(16),抵接片(15)一侧滚动于滚珠(16)。

8.根据权利要求7所述的一种芯片吸头,其特征在于:内腔(702)内部设置有与阀柱(141)移动方向保持一致的齿杆(144),齿杆(144)一端底部通过连接杆(17)与抵接片(15)相连接,其中,内腔(702)一侧还转动安装有齿轮(145),齿轮(145)与齿杆(144)啮合连接。

9.根据权利要求8所述的一种芯片吸头,其特征在于:连接件包括固定于两个阀柱(141)之间衔接管(1411),所述衔接管(1411)两端表面均设置有凸环(1412),凸环(1412)与阀柱(141)之间形成环槽,其中,位于连接管(143)底端固定有滑动于两个环槽的卡接弧片(1431),卡接弧片(1431)与衔接管(1411)之间设置有间隙以确保连接管(143)两端空气流通。

10.一种光学检测装置,采用了权利要求1-9任一所述的芯片吸头,其特征在于,包括:框架(1)、载板(2)、芯片放置板(3)、xy滑台(4)和检测装置(5),芯片吸头机构(6)安装于xy滑台(4);


技术总结
本发明公开了一种芯片吸头及光学检测装置,涉及芯片检测技术领域。包括盒体一、盒体二、回弹机构、吸头装置和吸头分配机构,所述盒体二竖直开设有若干直管槽,盒体一内部开设有内腔,盒体一内部还开设有若干空气流通槽,每个空气流通槽连通内腔和相应的直管槽,所述吸头分配机构安装于内腔处控制每个空气流通槽空气流通。本发明通过吸头装置和吸头分配机构等的设置,可以将多个吸附口集中到一个平台上,通过内部气路通道实现对每个吸附口的单独控制,同时通过回弹机构等保证吸附口的精确性和稳定性,并在满足吸附需求的前提下,减少大量的气管交错和混乱,提高整体的观感和检测的灵活度。

技术研发人员:孟宪成,张鑫宇
受保护的技术使用者:天津市智华科技发展有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/11/11
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