本发明涉及半导体，具体为一种晶圆防掉落测试模块。
背景技术：
1、在晶圆制造完成之后，晶圆测试是一步非常重要的测试，这步测试是晶圆生产过程的成绩单。晶圆装在测试机的晶圆盒内进行一般电性功能测试，在测试过程中，每一个芯片的电性能力和电路机能都被检测到。
2、现有技术在进行晶圆测试时，会由于测试机的机械振动而导致晶圆从晶圆盒内掉落的状况，从而导致无法实现测试。
技术实现思路
1、本发明要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种晶圆防掉落测试模块，包括晶圆盒，所述晶圆盒内设置有用于晶圆水平放置的卡槽，所述晶圆盒的底部设置有水平稳定机构；
2、所述水平稳定机构包括设置在所述晶圆盒底部的水平调节平台，以及设置在测试机台上并位于所述水平调节平台下方的支撑底座；
3、所述支撑底座与水平调节平台之间设置有位于所述支撑底座一端的主动调节机构，位于所述支撑底座另一端的从动调节机构，以及感测模块。
4、其中：所述主动调节机构包括安装在所述支撑底座上的电机安装座，水平安装在所述电机安装座上的伺服电机，由所述伺服电机驱动并垂直摆动的凸轮，以及通过所述凸轮上的转轴一连接至所述凸轮并固定安装在所述水平调节平台底部的支撑块一。
5、其中：所述从动调节机构包括对称安装在所述支撑底座上的轴承座，以及固定安装在所述水平调节平台底部的支撑块二，所述支撑块二的两端对称设置有转轴二，所述支撑块二通过两端的所述转轴二配合轴承安装在两端所述轴承座上。
6、其中：所述感测模块包括安装在支撑底座上的感应支撑座，安装在所述感应支撑座上的感测器，以及安装在所述水平调节平台底部的感应块，所述感应块对应所述感测器设置以用于感应所述水平调节平台的水平度。
7、进一步的：所述支撑底座的底部还设置有缓冲垫，以进一步降低测试机台的振动对晶圆盒的影响。
8、与现有技术相比，本发明可以通过感测模块在线感应水平调节平台的水平度，并通过主动调节机构与从动调节机构的配合实现对水平调节平台水平度的实时在线调节，从而确保水平调节平台上晶圆盒的水平度以避免测试过程中晶圆从晶圆盒的卡槽内掉落。
1.一种晶圆防掉落测试模块，包括晶圆盒(30)，所述晶圆盒(30)内设置有用于晶圆(40)水平放置的卡槽(31)，其特征在于：所述晶圆盒(30)的底部设置有水平稳定机构；
2.根据权利要求1所述的晶圆防掉落测试模块，其特征在于：所述主动调节机构包括安装在所述支撑底座(10)上的电机安装座(11)，水平安装在所述电机安装座(11)上的伺服电机(12)，由所述伺服电机(12)驱动并垂直摆动的凸轮(13)，以及通过所述凸轮(13)上的转轴一(131)连接至所述凸轮(13)并固定安装在所述水平调节平台(21)底部的支撑块一(14)。
3.根据权利要求2所述的晶圆防掉落测试模块，其特征在于：所述从动调节机构包括对称安装在所述支撑底座(10)上的轴承座(15)，以及固定安装在所述水平调节平台(21)底部的支撑块二(16)，所述支撑块二(16)的两端对称设置有转轴二(161)，所述支撑块二(16)通过两端的所述转轴二(161)配合轴承(17)安装在两端所述轴承座(15)上。
4.根据权利要求1所述的晶圆防掉落测试模块，其特征在于：所述感测模块包括安装在支撑底座(10)上的感应支撑座(18)，安装在所述感应支撑座(18)上的感测器(19)，以及安装在所述水平调节平台(21)底部的感应块(20)，所述感应块(20)对应所述感测器(19)设置以用于感应所述水平调节平台(21)的水平度。
5.根据权利要求1所述的晶圆防掉落测试模块，其特征在于：所述支撑底座(10)的底部还设置有缓冲垫，以进一步降低测试机台的振动对晶圆盒(30)的影响。
