本发明涉及晶圆加工设备，特别涉及一种开槽设备。
背景技术：
1、近年来半导体产业发展迅猛，每年的需求持续增长。晶圆作为半导体行业中的基材，其加工过程中需要通过开槽设备进行激光开槽，以便后续对其进行切割和封装。
2、开槽设备通常包括清洗涂覆装置、搬运装置和开槽装置，工作时，清洗涂覆装置适于自预设位置接收晶圆，并将晶圆移至其清洗工位和涂覆工位，以对晶圆进行清洁和涂覆保护液，而后清洗涂覆装置将晶圆移至取放工位，搬运装置自取放工位将晶圆搬运至开槽装置进行加工，而后将加工后的晶圆搬运回取放工位。现有的开槽设备，上述装置均集中安装于同一机架上，各装置相互紧邻，不利于检修，且在实际生产过程中，存在仅单独进行开槽工序或者清洗涂覆工序的情况，而开槽设备体积庞大，在需要单独进行上述工序时，会导致开槽设备空间适应性差。
3、因此，有必要对现有技术予以改良以克服现有技术中的所述缺陷。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种开槽设备，能够便于检修，且在单独进行开槽工序或涂覆工序时提高设备的空间适应性。
2、本发明的目的是通过以下技术方案实现：一种开槽设备，包括：
3、第一机架，具有位于x轴方向的第一敞开侧；
4、清洗装置，设置在所述第一机架上；
5、涂覆装置，设置在所述第一机架上；
6、搬运装置，设置在所述第一机架上，且适于沿y轴方向在所述清洗装置和所述涂覆装置之间搬运晶圆；
7、第二机架，具有位于x轴方向的第二敞开侧，所述第二机架适于在x轴方向与所述第一机架相抵靠，并使所述第一敞开侧和所述第二敞开侧进行对接；
8、开槽装置，设置在所述第二机架上，其包括移载台和位于所述移载台上方的激光机构，所述搬运装置适于沿x轴方向在所述清洗装置和所述移载台之间往返搬运晶圆；
9、其中，所述第一机架和所述第二机架中其一顶部向内凹陷有凹部，另一顶部设有相对所述第一敞开侧凸出的安装板，所述凹部上设有连接孔，所述安装板可沿x轴方向调整位置，所述安装板设有长度方向平行于y轴方向的第一条形孔，当所述第一机架和所述第二机架相抵靠时，所述安装板与所述凹部的底部相贴合，且所述连接孔和所述第一条形孔相对应。
10、进一步地，所述安装板固定于所述第一机架，所述安装板上设有长度方向平行于x轴方向的第二条形孔，所述第一机架设有与所述第二条形孔对应的孔位，所述安装板沿y轴方向延伸向所述第一机架的两侧，所述凹部设于所述第二机架，且与所述安装板相适配，所述第一条形孔沿y轴方向间隔布置有多个，所述连接孔与所述第一条形孔一一对应。
11、进一步地，所述开槽设备包括：
12、料盒装置，设置在所述第一机架上，所述料盒装置、所述清洗装置和所述涂覆装置沿着y轴方向依次布置；
13、居中对位装置，位于所述清洗装置正上方，其包括在x轴方向相对布置的两根定位导轨，两根所述定位导轨适于配合承载晶圆，并沿x轴方向相向或背向运动，以定位晶圆或避让所述清洗装置；
14、拉料装置，适于沿y轴方向移动，以将所述料盒装置内的晶圆拉至所述定位导轨；
15、其中，所述搬运装置包括第一y轴模组、与所述第一y轴模组传动连接的第一x轴模组、与所述第一x轴模组传动连接的第一z轴模组和与所述第一z轴模组传动连接的吸嘴结构。
16、进一步地，所述清洗装置和所述涂覆装置均包括：
17、外壳，顶部设有取放口；
18、第一承载台体，收容于所述外壳内，且用于承载晶圆，所述第一承载台体由多孔陶瓷制成；
19、升降机构，适于驱动所述第一承载台体升降；
20、旋转机构，适于驱动所述第一承载台体旋转；
21、气流发生机构，适于将气流吹入所述第一承载台体或抽吸所述第一承载台体；
22、喷阀机构，收容于所述外壳，其数量为两个，且分别朝向所述第一承载台体的上侧和下侧。
23、进一步地，所述涂覆装置还包括：
24、涂胶机构，收容于所述外壳，且朝向所述第一承载台体上侧；
25、接胶盒，收容于所述外壳；
26、其中，所述涂胶机构适于移动至所述接胶盒正上方。
27、进一步地，所述移载台包括设置在所述第二机架上的第二x轴模组和与所述第二x轴模组传动连接的第二承载台体；
28、所述激光机构包括设置在所述第二机架上的第二y轴模组、与所述第二y轴模组传动连接的第二z轴模组和与所述第二z轴模组传动连接的激光头。
29、进一步地，所述激光机构包括：
30、光路系统，设置在所述第二机架上，且适于向所述激光头提供激光；
31、挡罩，设置在所述第二机架上，所述挡罩具有底部敞开的收容空间，所述激光机构收容于所述收容空间内，所述挡罩朝向所述第二敞开侧的一侧为门体结构，所述门体结构适于向上翻转以打开所述收容空间。
32、进一步地，所述第二y轴模组和所述第二z轴模组之间承接有连接座，所述开槽装置还包括与所述连接座传动连接的除尘机构，所述除尘机构包括与所述激光头相邻布置的除尘头。
33、进一步地，所述除尘机构包括：
34、滑轨，沿着y轴方向设置在所述第二机架上；
35、滑块，与所述滑轨滑动连接，所述除尘头与所述滑块固定连接；
36、其中，所述除尘头位于所述连接座下方，所述除尘头和所述连接座之间磁吸配合。
37、进一步地，所述除尘头包括：
38、吸尘壳，与所述滑块固定连接，所述吸尘壳内部形成有吸尘通道，所述吸尘壳的顶部和底部分别设有与所述吸尘通道连通的安装口和吸尘口；
39、风嘴，自所述安装口安装于所述吸尘壳内，且底部延伸至所述吸尘口，所述吸尘口和所述风嘴之间具有供粉尘进入的间隙，所述风嘴内形成有吹尘通道，所述风嘴底部设有与所述吹尘通道相通的吹尘口；
40、气路系统，分别与所述吸尘通道和所述吹尘通道相接，以向所述吹尘通道提供负压和向所述吹尘通道提供气流。
41、与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：本发明通过设置第一机架和第二机架，清洗装置、涂覆装置和搬运装置均设置在第一机架上，开槽装置设置在第二机架上，当仅需进行开槽工序或者清洗涂覆工序时，可将第一机架和第二机架进行分离，以单独使用，提高空间适应性，当需要进行完整清洗涂覆及开槽工序时，可将第一机架和第二机架拼接在一起，以组成完整的开槽设备；第一机架和第二机架中其一顶部设有至少一个连接孔，另一顶部设有安装板，安装板上设有第一条形孔，第一条形孔的长度方向平行于y轴方向，且安装板可沿着x轴方向调整位置，当连接孔在x轴和y轴方向的位置存在偏差时，第一条形孔能够与连接孔相对应，提高安装的可靠性和便捷性；此外，由于第一机架和第二机架为可拆卸结构，使得安装后移载台和清洗装置之间易产生位置偏差，通过将搬运装置设计成可沿x轴和y轴方向移动，当移载台和清洗装置在y轴方向存在偏差时，搬运装置可沿着y轴方向移动调整，确保晶圆能够可靠地沿x轴方向在清洗装置和移载台之间流转。
1.一种开槽设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的开槽设备，其特征在于，所述安装板(120)固定于所述第一机架(100)，所述安装板(120)上设有长度方向平行于x轴方向的第二条形孔(122)，所述第一机架(100)设有与所述第二条形孔(122)对应的孔位，所述安装板(120)沿y轴方向延伸向所述第一机架(100)的两侧，所述凹部(520)设于所述第二机架(500)，且与所述安装板(120)相适配，所述第一条形孔(121)沿y轴方向间隔布置有多个，所述连接孔与所述第一条形孔(121)一一对应。
3.如权利要求1所述的开槽设备，其特征在于，所述开槽设备包括：
4.如权利要求1所述的开槽设备，其特征在于，所述清洗装置(200)和所述涂覆装置(300)均包括：
5.如权利要求4所述的开槽设备，其特征在于，所述涂覆装置(300)还包括：
6.如权利要求1所述的开槽设备，其特征在于，所述移载台(610)包括设置在所述第二机架(500)上的第二x轴模组(611)和与所述第二x轴模组(611)传动连接的第二承载台体(612)；
7.如权利要求6所述的开槽设备，其特征在于，所述激光机构(620)包括：
8.如权利要求6所述的开槽设备，其特征在于，所述第二y轴模组(621)和所述第二z轴模组(622)之间承接有连接座(626)，所述开槽装置(600)还包括与所述连接座(626)传动连接的除尘机构(630)，所述除尘机构(630)包括与所述激光头(623)相邻布置的除尘头(640)。
9.如权利要求8所述的开槽设备，其特征在于，所述除尘机构(630)包括：
10.如权利要求8所述的开槽设备，其特征在于，所述除尘头(640)包括：
