坩埚、结晶制造方法及单晶与流程

专利2025-07-12  19


本发明涉及一种坩埚、结晶制造方法及单晶。


背景技术:

1、专利文献1公开有一种由铂(pt)或铱(ir)等金属构成的坩埚。该坩埚用于柴可拉斯基法(cz)法。在cz法中,通过在使固定在杆的前端的晶种与熔融液接触之后,一边使其旋转,一边将其缓慢提拉,从而使单晶生长。

2、专利文献2公开有一种方法,其是由铱制的坩埚内所含的熔融液生长氧化镓(β-ga2o3)单晶。

3、专利文献3公开有一种氧化镓制的坩埚。该坩埚用于氧化镓单晶的生长。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1:美国专利第6997986号说明书

7、专利文献2:美国专利第11028501号说明书

8、专利文献3:日本专利第6390568号公报


技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、本申请发明人等进行了专门研究,其结果发现了氧化物单晶内的添加物浓度变得不均匀的情况。寻求一种能够获得添加物浓度的均匀性较高的单晶的坩埚、结晶制造方法及单晶。

3、用于解决技术问题的手段

4、本发明的坩埚的特征在于:其是用于氧化物单晶的生长的坩埚,且具备主体,该主体包含含有添加物的氧化物,在所述主体的所述氧化物中,设定沿单轴配置的多个区域,所述多个区域中,第1区域中的所述添加物的浓度高于第2区域中的所述添加物的浓度。

5、本发明的坩埚的特征在于:其是用于氧化镓单晶的生长的坩埚,且具备主体,该主体包含含有添加物的氧化镓,在所述主体的所述氧化镓中,设定沿单轴配置的多个区域,所述多个区域中,第1区域中的所述添加物的浓度高于第2区域中的所述添加物的浓度。

6、本发明的坩埚的特征在于:其是用于氧化物单晶的生长的坩埚,且具备沿厚度方向层叠并接合的多个氧化物板,各个所述氧化物板中的添加物的浓度不同。

7、本发明的结晶制造方法的特征在于:使用上述坩埚,并且包括:一边使晶种接触坩埚内的熔融液的露出表面,一边使所述露出表面的位置沿铅直方向移动,由此使所述氧化物单晶生长的工序。

8、本发明的单晶是通过上述结晶制造方法所制得的。本发明的单晶的特征在于:其是由添加有sn或si作为添加物的晶锭构成的氧化镓的单晶,且沿生长轴方向的添加物的浓度在该添加物的浓度的平均值±5%的范围内。

9、发明的效果

10、根据本发明的坩埚、结晶制造方法,可以获得添加物浓度的均匀性较高的单晶。



技术特征:

1.一种坩埚,其特征在于,

2.一种坩埚,其特征在于,

3.如权利要求1或2所述的坩埚,其特征在于,

4.如权利要求1或2所述的坩埚,其特征在于,

5.如权利要求1或2所述的坩埚,其特征在于,

6.如权利要求2所述的坩埚,其特征在于,

7.一种坩埚,其特征在于,

8.如权利要求7所述的坩埚,其特征在于,

9.一种结晶制造方法,其特征在于,

10.一种单晶,其特征在于,

11.一种单晶,其特征在于,


技术总结
本发明涉及一种坩埚、结晶制造方法及单晶。该坩埚(G)是用于氧化物单晶的生长的坩埚(G),且具备沿厚度方向层叠并接合的多个氧化物板(G1~G10),各个氧化物板(G1~G10)中的添加物的浓度不同。结晶制造方法通过一边使晶种接触坩埚内的熔融液的露出表面,一边使露出表面的位置沿铅直方向移动,由此使氧化物单晶生长。在氧化镓的单晶中,沿生长轴方向的添加物的浓度可以优选地设为平均值±5%的范围内。

技术研发人员:川崎克己,有马润,藤田实,平林润
受保护的技术使用者:TDK株式会社
技术研发日:
技术公布日:2024/11/11
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