本发明的一个方面涉及镶嵌(damascene)配线构造、致动装置和镶嵌配线构造的制造方法。
背景技术：
1、现有技术中，已知有通过在槽部内埋入金属材料来形成配线部的镶嵌配线构造(例如参照专利文献1)。在这样的镶嵌配线构造中，在槽部的内表面上设置有金属层，配线部与该金属层接合。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开平6-84896号公报
技术实现思路
1、发明要解决的技术问题
2、在上述的镶嵌配线构造中，存在对配线部和金属层作用应力的情况。例如，在利用了通过与磁场的相互作用而作用于线圈的洛伦茨力的致动装置的线圈中应用镶嵌配线构造的情况下，对配线部和金属层作用与配线部的延伸方向垂直的方向的应力。另一方面，在上述的镶嵌配线构造中，存在以覆盖配线部的表面和金属层的端部的方式设置有覆盖层的情况。在这样的镶嵌配线构造中对配线部和金属层作用了应力的情况下，应力在覆盖层中与配线部和金属层接触的部分集中，在该部分可能会产生剥离和损伤的风险。
3、因此，本发明的一个方面的目的在于，提供一种可靠性高的镶嵌配线构造和致动装置、以及能够获得这样的镶嵌配线构造的镶嵌配线构造的制造方法。
4、用于解决课题的技术方法
5、本发明的一个方面所涉及的镶嵌配线构造，其具备：基底，其具有设置有槽部的主面；绝缘层，其具有：设置于槽部的内表面上的第一部分；和与第一部分一体地形成，并且设置于主面上的第二部分；金属层，其设置于绝缘层的第一部分上；配线部，其埋入于槽部内，并且与金属层接合；以及覆盖层，其以覆盖绝缘层的第二部分、金属层的端部、和配线部的方式设置，绝缘层中的第一部分与第二部分的边界部分的与基底为相反侧的表面，包含在从配线部的延伸方向观察的情况下，相对于与主面垂直的方向倾斜的倾斜面，金属层的端部进入到覆盖层与倾斜面之间，在端部，沿着覆盖层的第一表面与沿着倾斜面的第二表面成锐角。
6、在该镶嵌配线构造中，绝缘层具有：设置于槽部的内表面上的第一部分；和与第一部分一体地形成，并且设置于主面上的第二部分，覆盖层以覆盖绝缘层的第二部分、金属层的端部、和配线部的方式设置。由此，与例如绝缘层仅具有第一部分的情况相比，能够减少应力容易集中的部位。并且，绝缘层中的第一部分与第二部分的边界部分的与基底为相反侧的表面包含倾斜面，金属层的端部进入到覆盖层与该倾斜面之间。并且，在该端部中，沿着覆盖层的第一表面与沿着倾斜面的第二表面成锐角。由此，能够抑制应力集中地作用于覆盖层。根据以上，在该镶嵌配线构造中可靠性能够提高。
7、也可以是：覆盖层的厚度比绝缘层的厚度厚。在该情况下，能够提高覆盖层的强度，能够进一步提高可靠性。
8、也可以是：覆盖层中的金属层的端部的与第一表面接触的部分、和绝缘层中的金属层的端部的与第二表面接触的部分，由彼此相同的材料构成。在该情况下，在覆盖层与金属层的端部的接触部分的附近，能够提高覆盖层与绝缘层之间的接合强度，能够更加进一步提高可靠性。
9、也可以是：绝缘层具有：由氧化膜构成的第一层；和由氮化膜构成的、设置于第一层上的第二层。在该情况下，由氧化膜构成的第一层能够容易地形成倾斜形状，因此能够使倾斜面的形成容易化。
10、也可以是：在基底中的主面与槽部的边界部分，设置有在从延伸方向观察的情况下，相对于与主面垂直的方向倾斜的边界面。在该情况下，能够进一步使倾斜面的形成容易化。
11、也可以是：倾斜面凸状地弯曲。在该情况下，能够更可靠地抑制应力集中地作用于覆盖层。
12、也可以是：在金属层的端部中的与第二表面为相反侧的第三表面，在从延伸方向观察的情况下，相对于与主面垂直的方向倾斜，配线部的一部分进入到覆盖层与第三表面之间。在该情况下，能够通过配线部抑制金属层的端部，能够降低从金属层作用于覆盖层的应力。并且，配线部的该一部分的在与主面垂直的方向上的厚度变薄，因此能够降低从配线部作用于覆盖层的应力。
13、也可以是：金属层的端部的与主面平行的方向上的厚度，比金属层中的端部以外的部分的厚度厚。在该情况下，能够增大金属层的端部与覆盖层的接触面积，能够更加适当地分散从金属层作用于覆盖层的应力。
14、也可以是：金属层的端部的与主面平行的方向上的厚度，随着靠近端部的前端而渐增。在该情况下，能够进一步增大金属层的端部与覆盖层的接触面积，能够进一步适当地分散从金属层作用于覆盖层的应力。
15、也可以是：配线部中的与覆盖层接触的第一接触面，相对于绝缘层中的与覆盖层接触的第二接触面，位于槽部的底部侧。在该情况下，能够进一步减少应力容易集中的部位。并且，能够更加进一步增大金属层的端部与覆盖层的接触面积，能够更加进一步适当地分散从金属层作用于覆盖层的应力。
16、也可以是：覆盖层的厚度，比在与主面垂直的方向上的第一接触面与第二接触面之间的距离大。在该情况下，能够进一步提高覆盖层的强度。
17、也可以是：覆盖层的厚度，比与主面垂直的方向上的第一接触面与第二接触面之间的距离小。在该情况下，能够进一步减少从配线部作用于覆盖层的应力。
18、也可以是：槽部在从与主面垂直的方向观察的情况下，螺旋状地延伸。在该情况下，能够获得高的可靠性。
19、也可以是：槽部中的彼此相邻的部分之间的间隔，比槽部的宽度小。在该情况下，能够使配线的间距(间隔)变窄，能够实现省空间化。
20、也可以是：槽部的宽度比槽部的深度小。在该情况下，能够实现省空间化和配线的低电阻化。
21、也可以是：基底具有与主面为相反侧的相反面，与主面垂直的方向上的槽部的底部与相反面之间的距离，比槽部的深度大。在该情况下，能够提高基底的强度，能够更加进一步提高可靠性。
22、本发明的一个方面所涉及的致动装置，其是具有上述镶嵌配线构造，该致动装置具备：支撑部；可动部，其在支撑部中以能够摆动的方式被支撑；线圈，其具有镶嵌配线构造，并且设置于支撑部和可动部的至少一方；以及磁场产生部，其产生作用于线圈的磁场。在该致动装置中，与配线部的延伸方向垂直的方向的应力作用于配线部和金属层，根据上述的理由，能够提高可靠性。
23、本发明的一个方面所涉及的镶嵌配线构造的制造方法，其具备：第一步骤，其在具有设置有槽部的主面的基底上，形成绝缘层，绝缘层具有：设置于槽部的内表面上的第一部分；和与第一部分一体地形成，并且设置于主面上的第二部分；第二步骤，其在第一步骤之后，在绝缘层的第一部分和第二部分上形成金属层；第三步骤，其在第二步骤之后，以埋入于槽部内并且与金属层接合的方式，在金属层上形成配线部；第四步骤，其在第三步骤之后，以绝缘层的第二部分露出的方式，通过化学机械研磨，将第二部分上的金属层和配线部去除以平坦化；以及第五步骤，其在第四步骤之后，以覆盖绝缘层的第二部分、金属层的端部、和配线部的方式形成覆盖层，在第一步骤中，形成绝缘层，其中，绝缘层中的第一部分与第二部分的边界部分的与基底为相反侧的表面，包含在从配线部的延伸方向观察的情况下，相对于与主面垂直的方向倾斜的倾斜面。根据该镶嵌配线构造的制造方法，能够获得上述的可靠性高的镶嵌配线构造。
24、也可以是：在第二步骤中，通过溅射形成金属层。在该情况下，能够使在与主面平行的方向上的金属层的端部的厚度随着朝向端部的前端而渐增，能够使金属层的端部与覆盖层的接触面积增大。
25、发明效果
26、根据本发明的一个方面，能够提供可靠性高的镶嵌配线构造和致动装置、以及能够获得这样的镶嵌配线构造的镶嵌配线构造的制造方法。
1.一种镶嵌配线构造，其特征在于：
2.如权利要求1所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
3.如权利要求1或2所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
4.如权利要求1～3中任一项所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
5.如权利要求1～4中任一项所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
6.如权利要求1～5中任一项所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
7.如权利要求1～6中任一项所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
8.如权利要求1～7中任一项所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
9.如权利要求8所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
10.如权利要求8所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
11.如权利要求1～10中任一项所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
12.如权利要求10所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
13.如权利要求1～10中任一项所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
14.如权利要求1～13中任一项所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
15.如权利要求1～14中任一项所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
16.如权利要求1～15中任一项所述的镶嵌配线构造，其特征在于：
17.一种致动装置，其特征在于：
