本发明涉及晶圆片揭膜吸盘结构，具体涉及一种晶圆片揭膜吸盘结构。
背景技术：
1、揭膜吸盘结构是进行晶圆片加工处理过程中，用于对晶圆片表面的薄膜进行吸附之后并揭开的一种装置。
2、在对晶圆片进行加工处理过程中使用揭膜吸盘结构对其表面的薄膜进行吸附后揭开时，一般会通过机械手将吸盘头放置在晶圆片上，然后启动真空泵通过连接管将吸盘头与晶圆片之间的空气吸附出去，使其吸盘头将晶圆片上的薄膜吸附固定住，便于将其揭开，在不使用时，吸盘头一般都是直接暴露在空气中，当温度发生变化时，空气中的水分可能会在吸盘头的内壁上发生凝结产生水珠，使其在后期进行使用时，可能会导致吸盘头的一侧在薄膜上发生打滑无法吸附住的情况出现，从而影响揭膜吸盘结构的使用，降低晶圆片的加工效率。
技术实现思路
1、针对上述存在的技术不足，本发明的目的是提供一种晶圆片揭膜吸盘结构，具有减少凝结水珠，吸附更牢固的功能。
2、为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：本发明提供一种晶圆片揭膜吸盘结构，包括真空泵；
3、所述真空泵的接口处固定连接有连接管，所述连接管的一端固定连接有吸盘头，所述吸盘头的内壁设置有清洁装置；
4、所述清洁装置包括：连接杆和两个凹槽架，所述连接杆与凹槽架之间设置有可拆卸装置，所述吸盘头的内壁固定连接有支架，所述支架的一侧固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端与连接杆的一侧固定连接，所述凹槽架的内壁转动连接有圆轴，所述圆轴的外表面固定连接有刮板，所述圆轴的两端外表面均套设连接有扭簧，所述扭簧的两端分别与刮板和凹槽架的一侧固定连接。
5、优选地，所述刮板的两侧均固定连接有连接块，所述连接块的一侧固定连接有海绵块。
6、优选地，所述圆轴的两端外表面均固定连接有轴承，所述轴承的外圈与凹槽架的内壁固定连接。
7、优选地，所述电动伸缩杆的输出端外表面对称固定连接有加固杆，所述加固杆的一侧与连接杆的一侧固定连接。
8、优选地，所述可拆卸装置包括两个卡块，所述卡块的外表面与凹槽架的内壁滑动连接，所述连接杆的一侧对称开设有安装槽，所述凹槽架的一端插设在安装槽的内壁中，所述安装槽的内壁两侧均对称开设有卡槽，所述凹槽架的内壁固定连接有弹簧，所述弹簧的一端与卡块的一侧固定连接，所述卡块的一端插设在卡槽的内壁中。
9、优选地，所述凹槽架的一端纵截面呈梯形状，所述凹槽架呈梯形状的一端插入安装槽中。
10、优选地，所述卡块的一端两侧均固定连接有若干个防滑块，所述防滑块为橡胶材质。
11、优选地，所述凹槽架的内壁固定连接有限位伸缩杆，所述限位伸缩杆的一端与卡块的一侧固定连接，所述限位伸缩杆的外表面与弹簧的内壁套设连接。
12、本发明的有益效果在于：
13、本发明中，通过设置清洁装置，可以启动电动伸缩杆带动连接杆和两个刮板在吸盘头的内壁中滑出，扭簧会带动刮板发生复位紧贴在吸盘头的内壁上，在启动支架上的电机带动电动伸缩杆和连接杆以及两个刮板在吸盘头的内壁中发生圆周运动，将其吸盘头内部粘附的水分刮离下去，由于吸盘头一般都是倒立放置在机械手上，当刮板将凝结的水珠刮离下去后，在重力的作用下会掉落出去，从而使其吸盘头的内壁不易粘附有水汽，避免后期使用时导致吸盘头的一侧在薄膜上发生打滑无法吸附住的情况出现，便于揭膜吸盘结构的使用，提高晶圆片的加工效率。
1.一种晶圆片揭膜吸盘结构，包括真空泵(1)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片揭膜吸盘结构，其特征在于：所述刮板(28)的两侧均固定连接有连接块(210)，所述连接块(210)的一侧固定连接有海绵块(211)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片揭膜吸盘结构，其特征在于：所述圆轴(27)的两端外表面均固定连接有轴承(212)，所述轴承(212)的外圈与凹槽架(26)的内壁固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片揭膜吸盘结构，其特征在于：所述电动伸缩杆(24)的输出端外表面对称固定连接有加固杆(21)，所述加固杆(21)的一侧与连接杆(25)的一侧固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆片揭膜吸盘结构，其特征在于：所述可拆卸装置(3)包括两个卡块(34)，所述卡块(34)的外表面与凹槽架(26)的内壁滑动连接，所述连接杆(25)的一侧对称开设有安装槽(31)，所述凹槽架(26)的一端插设在安装槽(31)的内壁中，所述安装槽(31)的内壁两侧均对称开设有卡槽(32)，所述凹槽架(26)的内壁固定连接有弹簧(33)，所述弹簧(33)的一端与卡块(34)的一侧固定连接，所述卡块(34)的一端插设在卡槽(32)的内壁中。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆片揭膜吸盘结构，其特征在于：所述凹槽架(26)的一端纵截面呈梯形状，所述凹槽架(26)呈梯形状的一端插入安装槽(31)中。
7.根据权利要求5所述的一种晶圆片揭膜吸盘结构，其特征在于：所述卡块(34)的一端两侧均固定连接有若干个防滑块(35)，所述防滑块(35)为橡胶材质。
8.根据权利要求5所述的一种晶圆片揭膜吸盘结构，其特征在于：所述凹槽架(26)的内壁固定连接有限位伸缩杆(36)，所述限位伸缩杆(36)的一端与卡块(34)的一侧固定连接，所述限位伸缩杆(36)的外表面与弹簧(33)的内壁套设连接。
