本发明涉及探针、检查工具和检查单元。
背景技术:
1、在照相机或液晶面板等电子部件模块中,一般在其制造工序中进行导通检查和动作特性检查等。使用探针将用于与设置于电子部件模块的主体基板连接的端子和检查装置的端子连接,由此进行这些检查。
2、作为这种探针,存在专利文献1所记载的探针。该探针具有:一对触头,它们能够分别与电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子接触;以及蜿蜒部,其介于一对触头之间,连接一对触头。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1:日本特开2002-134202号公报
技术实现思路
1、发明要解决的课题
2、在所述探针中,各触头构成为以1点与电极端子接触,因此,例如在非导体的异物附着于各触头的末端的情况下,由于该异物而在所述探针与电极端子之间产生导通不良,接触可靠性有时降低。
3、本发明的目的在于,提供接触可靠性高的探针、具有该探针的检查工具和具有该检查工具的检查单元。
4、用于解决课题的手段
5、本发明的一例的探针具有:弹性部,其能够沿着第1方向弹性变形;第1接触部,其设置于所述弹性部的所述第1方向上的一端;以及第2接触部,其设置于所述弹性部的所述第1方向上的另一端,所述第1接触部具有多个触点部,所述多个触点部与中心线分离地配置,并且沿着与所述第1方向交叉的第2方向分别隔开间隔地配置,所述中心线穿过所述弹性部的所述第2方向上的中心且在所述第1方向上延伸,所述多个触点部分别被配置成,随着在所述第2方向上远离所述中心线,在所述第1方向上远离所述弹性部。
6、此外,本发明的一例的检查工具具有:所述探针;以及壳体,其在内部收纳有所述探针,所述探针以如下状态被收纳:所述弹性部以所述第1接触部和第2接触部在所述第1方向上接近的方式弹性变形,所述多个触点部分别能够同时与在所述第2方向上延伸的检查对象物或检查装置的连接端子接触。
7、此外,本发明的一例的检查单元具有至少1个所述检查工具。
8、发明效果
9、根据所述探针,具有:弹性部,其能够沿着第1方向弹性变形;第1接触部,其设置于弹性部的第1方向上的一端;以及第2接触部,其设置于弹性部的第1方向上的另一端。第1接触部具有多个触点部,该多个触点部与中心线分离地配置,并且沿着与第1方向交叉的第2方向分别隔开间隔地配置,所述中心线穿过弹性部的第2方向上的中心且在第1方向上延伸。各触点部分别被配置成,随着在第2方向上远离中心线,在第1方向上远离弹性部。根据这种结构,例如,在以第1接触部和第2接触部在第1方向上接近的方式压缩探针时,能够使各触点部同时与接触对象物(例如检查对象物或检查装置)接触。即,即使非导体的异物附着于多个触点部中的任意一方,也能够避免在探针与接触对象物之间产生导通不良。其结果是,能够实现接触可靠性高的探针。
10、根据所述检查工具,借助所述探针,能够实现接触可靠性高的检查工具。
11、根据所述检查单元,借助所述检查工具,能够实现接触可靠性高的检查单元。
1.一种探针,其具有:
2.一种探针,其具有:
3.根据权利要求1或2所述的探针,其中,
4.一种检查工具,其具有:
5.一种检查单元,其具有至少1个权利要求4所述的检查工具。