本发明涉及半导体理片器，具体涉及具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器。
背景技术：
1、针对半导体领域中的理片器来说，作用是用于晶圆的对准、寻边、找平等处理过程，确保芯片制造的精确度和效率，其构造包括花篮、滚筒等结构，对此需要说明的是：针对不同规格的晶圆需要对应规格的花篮，花篮中的槽数、间隙多为“固定式设置”，使用过程中局限性较大，以其中间隙参数而定，花篮中的间隙略大于晶圆厚度，一方面会“增加”晶圆的摆动幅度，继而加剧了晶圆振动幅度而产生细微的破损，从而另一方面上来说并不能完全实现找平过程，完成对准、寻边后的晶圆并不能完全找平，相对于竖直平面来说呈现略微倾斜的状态。
2、对此本申请提出了一种解决方案。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器，针对半导体行业中的理片器，因为理片器中的花篮采用分离式结构，以及花篮中的间隙、槽数多为“固定式设置”，导致整体使用过程中局限性较大，具体表现为其中的间隙参数，会直接影响到晶圆理片效果。
2、本发明的目的可以通过以下技术方案实现：具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器，包括底座框架和翅片组，所述底座框架中转动安装有中心滚辊，所述翅片组由多个定向翅片组成，所述底座框架的四角位置上安装有呈竖向设置的立向杆，所述翅片组沿底座框架的长度方向设置在两个立向杆的中间位置上，所述中心滚辊的设置方向与底座框架的长度方向相平行，所述底座框架中对应中心滚辊两侧位置上转动安装有侧向拨杆组件，所述侧向拨杆组件的设置方向与底座框架长度方向相平行；
3、两个沿所述底座框架长度方向设置的立向杆中间安装有滑杆和通气杆，所述定向翅片在滑杆上为滑动连接，所述通气杆对应两个立向杆中间部分的圆周外壁上开设有透气槽；
4、两个沿所述底座框架长度方向设置的立向杆外部位置上安装有对应中心滚辊长度方向的侧安装套，所述侧安装套内部一侧位置上安装有电动推杆，所述电动推杆输出轴末端位置上安装有定向滑块，所述定向滑块对应翅片的外壁位置上安装有中间拨片。
5、进一步设置为：所述底座框架对应中心滚辊一端的外壁位置上安装有侧壁套，所述侧壁套内部分别安装有对应侧向拨杆组件和中心滚辊的第二电机结构和第一电机结构，所述侧壁套内部上端位置上安装有位移传感器。
6、进一步设置为：所述底座框架对应翅片组、中心滚辊的上侧位置设置有多个晶圆本体，所述位移传感器输出轴末端位置上安装有四向球头杆。
7、进一步设置为：所述定向翅片对应通气杆的相交处位置开设有气隙孔，所述气隙孔的直径大于通气杆的外直径，所述通气杆对应侧壁套的一端位置设置为注气口。
8、进一步设置为：所述中间拨片、定向滑块与透气槽之间为滑动连接。
9、进一步设置为：所述侧向拨杆组件中包括弧形连杆、缩径杆和下拨杆，所述缩径杆和下拨杆设置在弧形连杆的两端位置上，且缩径杆和下拨杆与弧形连杆之间为转动连接。
10、进一步设置为：所述缩径杆的设置位置靠近定向翅片，所述下拨杆的设置位置靠近中心滚辊，所述弧形连杆对应底座框架的转动点与下拨杆圆心点之间设置为下拨部，且弧形连杆对应底座框架的转动点与缩径杆圆心点之间设置为缩径部。
11、进一步设置为：所述缩径部对应下拨部的设置方向呈向上倾斜状。
12、本发明具备下述有益效果：
13、1、整体结构依旧是以常规理片器中基本原理为基础，存在明显区别的在于：采用可自由活动的翅片作为“固定”晶圆的基本结构，以此方式可以适用于不同厚度的晶圆，并进一步设置有用来改变翅片间隙的定向滑块和电动推杆，具体是促使每个翅片相互靠近移动，以此方式进一步适用晶圆间隙而“完全”固定晶圆，并进一步利用到通气杆上的透气槽，通过对每个翅片之间吹送气体，使每个翅片之间形成气隙，使晶圆的“固定”中具备活动性，以气流作为晶圆的“缓冲填充物”，避免理片过程出现晶圆振动较大而损伤的问题；
14、2、在常规中心滚辊的基础上增设侧向拨杆组件，具体包括缩径部和下拨部，其中的缩径部主要用来改变晶圆理片过程中的夹持直径适应不同直径的晶圆，其中的下拨部主要用于适用存在定位缺角的晶圆，在不干涉到中心滚辊正常旋转的基础上，提高整体理片效果。
1.具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器，包括底座框架(1)和翅片组，所述底座框架(1)中转动安装有中心滚辊(4)，所述翅片组由多个定向翅片(10)组成，其特征在于，所述底座框架(1)的四角位置上安装有呈竖向设置的立向杆(5)，所述翅片组沿底座框架(1)的长度方向设置在两个立向杆(5)的中间位置上，所述中心滚辊(4)的设置方向与底座框架(1)的长度方向相平行，所述底座框架(1)中对应中心滚辊(4)两侧位置上转动安装有侧向拨杆组件(9)，所述侧向拨杆组件(9)的设置方向与底座框架(1)长度方向相平行；
2.根据权利要求1所述的具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器，其特征在于，所述底座框架(1)对应中心滚辊(4)一端的外壁位置上安装有侧壁套(3)，所述侧壁套(3)内部分别安装有对应侧向拨杆组件(9)和中心滚辊(4)的第二电机结构(8)和第一电机结构(7)，所述侧壁套(3)内部上端位置上安装有位移传感器(6)。
3.根据权利要求2所述的具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器，其特征在于，所述底座框架(1)对应翅片组、中心滚辊(4)的上侧位置设置有多个晶圆本体，所述位移传感器(6)输出轴末端位置上安装有四向球头杆。
4.根据权利要求1所述的具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器，其特征在于，所述定向翅片(10)对应通气杆(12)的相交处位置开设有气隙孔，所述气隙孔的直径大于通气杆(12)的外直径，所述通气杆(12)对应侧壁套(3)的一端位置设置为注气口。
5.根据权利要求1所述的具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器，其特征在于，所述中间拨片(15)、定向滑块(14)与透气槽(16)之间为滑动连接。
6.根据权利要求1所述的具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器，其特征在于，所述侧向拨杆组件(9)中包括弧形连杆(901)、缩径杆(902)和下拨杆(903)，所述缩径杆(902)和下拨杆(903)设置在弧形连杆(901)的两端位置上，且缩径杆(902)和下拨杆(903)与弧形连杆(901)之间为转动连接。
7.根据权利要求6所述的具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器，其特征在于，所述缩径杆(902)的设置位置靠近定向翅片(10)，所述下拨杆(903)的设置位置靠近中心滚辊(4)，所述弧形连杆(901)对应底座框架(1)的转动点与下拨杆(903)圆心点之间设置为下拨部，且弧形连杆(901)对应底座框架(1)的转动点与缩径杆(902)圆心点之间设置为缩径部。
8.根据权利要求7所述的具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器，其特征在于，所述缩径部对应下拨部的设置方向呈向上倾斜状。
