本发明涉及半导体,特别是涉及一种高加速应力试验机。
背景技术:
1、hast(highly accelerated temperature and humidity stress testing)设备,又名高加速应力试验机,主要用于对半导体晶体管器件进行可靠性试验。通过将半导体晶体管器件置于hast设备中,模拟半导体晶体管器件产品在高湿、高压、高温环境下,与电场一起加速器件产品中材料之间的化学反应,以及水汽入侵器件的情景。因而hast试验用于评价产品抵抗湿热环境和偏压应力共同作用的能力;hast试验相对于传统的thb试验(temperature humidity bias test),缩短了试验时间,降低器件开发的时间成本。
2、在hast设备中一般设置有封闭的箱体,通过在该箱体内形成高温高湿高压环境来实现半导体晶体管器件的可靠性试验;且基于对箱体内高温高湿环境的控制需要,以及被测的半导体晶体管器件的通电需要,在箱体内还不可避免的需要布设电路结构;而在高温高湿环境中容易产生凝结水,进而出现电路结构绝缘特性差导致电路出现短路的问题,使得被测的半导体晶体管器件由于非自身老化而失效,进而干扰试验结果,阻碍产品开发进度。
技术实现思路
1、本发明的目的是提供一种高加速应力试验机,能够在一定程度上提升高温高湿环境中的电路结构的绝缘性能,进而提升试验设备的可靠性和试验结果的可信度,有利于保证器件产品的开发进度。
2、为解决上述技术问题,本发明提供一种高加速应力试验机,包括试验箱体;用于承载试验器件的pcb板;设置在所述试验箱体的外部的电阻匹配板,所述电阻匹配板上配置有多路测试电路,每路所述测试电路均包含有限流电阻和保险丝;以及导电线缆;
3、当所述pcb板位于所述试验箱体的内部时,每路所述测试电路分别通过所述导电线缆和所述pcb板上的试验器件电连接。
4、在本申请的一种可选地实施例中,每路所述测试电路中的所述限流电阻均为阻值可调的电阻。
5、在本申请的一种可选地实施例中,所述电阻匹配板上对每路所述测试电路均对应配置有多个限流电阻和多个单刀双掷开关,各个所述单刀双掷开关的活动端在两个固定端之间切换闭合,以改变每路所述测试电路中接入所述限流电阻的数量。
6、在本申请的一种可选地实施例中,每路所述测试电路和对应的所述导电线缆之间设置有开关元件;
7、所述开关元件的控制端和位于所述试验箱体的上位机相连接,所述上位机用于控制所述开关元件按照设定频率导通或断开,以控制所述测试电路和所述试验器件之间的通电或断电。
8、在本申请的一种可选地实施例中,所述试验箱体的外部设置有包含上位机和电阻匹配板在内的控制组件;
9、所述试验箱体的内部设有框架结构;所述框架结构上设有老化插座;所述老化插座和所述控制组件之间通过从所述试验箱体的内部延伸至外部的多根所述导电线缆相连接;
10、所述pcb板上用于承载所述试验器件的多个固定基座,且每个所述固定基座上均设置有用于和所述试验器件电连接的导电触点;设于所述pcb板的一端的接线座;所述接线座上设置有多个导电金属柱,各个所述导电金属柱和各个所述固定基座上的导电触点一一对应电连接;且各个所述导电金属柱之间的间距不小于设定间距;
11、各个所述导电金属柱可插拔的和所述老化插座相连接;且当所述导电金属柱插入所述老化插座中时,各个所述导电金属柱和各根所述导电线缆之间一一对应电连接。
12、在本申请的一种可选地实施例中,所述接线座的表面上还设置有排水沟槽;
13、其中,所述排水沟槽包括主沟槽和多个分沟槽;所述主沟槽沿竖直方向延伸至所述接线座的底部位置;各个所述分沟槽在各个所述导电金属柱之间倾斜延伸,且每个所述分沟槽低的一端和所述主沟槽相连通。
14、在本申请的一种可选地实施例中,所述导电金属柱为金属香蕉头;
15、所述老化插座上对应每个所述金属香蕉头对应设置有导电金属管;每个所述金属香蕉头可插拔的插入设置在对应的所述导电金属管中。
16、在本申请的一种可选地实施例中,所述老化插座包括绝缘主体以及设置在所述绝缘主体的多个第一通孔,每个所述第一通孔内均设置有所述导电金属管;
17、每个所述导电金属管在所述第一通孔内和对应的所述导电线缆的端部电连接;且所述导电线缆和对应的所述第一通孔之间的孔隙中填充有填充有第一绝缘密封胶和三防漆密封。
18、在本申请的一种可选地实施例中,所述导电线缆为耐高温硅胶线。
19、在本申请的一种可选地实施例中,所述试验箱体的端部设置有第二通孔;各根所述导电线缆均通过所述第二通孔延伸至所述试验箱体之外;各根所述导电线缆和所述第二通孔之间的孔隙中第二绝缘密封胶和三防漆密封;且所述第二通孔上还设置有密封圈。
20、本发明所提供的一种高加速应力试验机,包括试验箱体;用于承载试验器件的pcb板;设置在试验箱体的外部的电阻匹配板,电阻匹配板上配置有多路测试电路,每路测试电路均包含有限流电阻和保险丝;以及导电线缆;当pcb板位于试验箱体的内部时,每路测试电路分别通过导电线缆和pcb板上的试验器件电连接。
21、本申请中在试验箱体的外部设置电阻匹配板,在该电阻匹配板上为位于试验箱体内部的pcb板配置多路测试电路,使得每路测试电路中的限流电阻和保险丝可以在试验箱体外部形成对pcb板上的试验器件进行试验测试,保证试验器件的试验测试正常进行的基础上,避免限流电阻和保险丝受试验箱体内的高湿高温环境的影响而产生的短路问题,从而在很大程度上保证了试验机的测试结果的可靠性,有利于加快试验器件产品开发进度。
22、在本申请的另一可选地实施例中,在pcb板的一端设置有接线座;接线座上设置有多个导电金属柱,各个导电金属柱可以和pcb板上的试验器件一一对应的电连接,具有柱状结构的导电金属柱相对而言更不容易发生弹性形变,也即在一定程度上避免相邻两个导电金属柱因高温高湿高压环境而弯曲形变进而导致相互短路的问题;且相邻两个导电金属柱之间的间距还不小于设定间距,即是说各个导电金属柱之间具有相对较大的间距,由此,在试验箱体内处于高温高湿环境中所形成的凝结水珠也难以将相邻两个导电金属柱之间连接成导电通路,从而在很大程度上保证了相邻导电金属柱之间的绝缘性能,避免为试验器件提供供电电压的电路出现短路,而造成试验器件失效的问题,保证了高加速应力试验机能够顺利对试验器件进行可靠性试验,提升试验设备的可靠性和试验结果的可信度,有利于保证器件产品的开发进度。
1.一种高加速应力试验机,其特征在于,包括试验箱体(1);用于承载试验器件的pcb板(4);设置在所述试验箱体(1)的外部的电阻匹配板(24),所述电阻匹配板(24)上配置有多路测试电路,每路所述测试电路均包含有限流电阻和保险丝(s);以及导电线缆(6);
2.如权利要求1所述的高加速应力试验机,其特征在于,每路所述测试电路中的所述限流电阻均为阻值可调的电阻。
3.如权利要求2所述的高加速应力试验机,其特征在于,所述电阻匹配板(24)上对每路所述测试电路均对应配置有多个限流电阻和多个单刀双掷开关,各个所述单刀双掷开关的活动端在两个固定端之间切换闭合,以改变每路所述测试电路中接入所述限流电阻的数量。
4.如权利要求1所述的高加速应力试验机,其特征在于,每路所述测试电路和对应的所述导电线缆(6)之间设置有开关元件(k0);
5.如权利要求1至4任一项所述的高加速应力试验机,其特征在于,所述试验箱体(1)的外部设置有包含上位机(21)和电阻匹配板(24)在内的控制组件;
6.如权利要求5所述的高加速应力试验机,其特征在于,所述接线座(42)的表面上还设置有排水沟槽;
7.如权利要求5所述的高加速应力试验机,其特征在于,所述导电金属柱(43)为金属香蕉头;
8.如权利要求7所述的高加速应力试验机,其特征在于,所述老化插座(5)包括绝缘主体以及设置在所述绝缘主体的多个第一通孔(52),每个所述第一通孔(52)内均设置有所述导电金属管(51);
9.如权利要求8所述的高加速应力试验机,其特征在于,所述导电线缆(6)为耐高温硅胶线。
10.如权利要求8所述的高加速应力试验机,其特征在于,所述试验箱体(1)的端部设置有第二通孔(11);各根所述导电线缆(6)均通过所述第二通孔(11)延伸至所述试验箱体(1)之外;各根所述导电线缆(6)和所述第二通孔(11)之间的孔隙中填充有第二绝缘密封胶(12)和三防漆密封;且所述第二通孔(11)上还设置有密封圈(13)。