一种单晶硅片的倒角加工设备的制作方法

专利2025-05-14  36


本发明涉及硅片加工,具体为一种单晶硅片的倒角加工设备。


背景技术:

1、单晶硅片:硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

2、单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势,近三十年来,太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展,成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

3、单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造,其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域,在军事电子设备中也占有重要地位。

4、在光伏技术和微小型半导体逆变器技术飞速发展的今天,利用硅单晶所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能。

5、公开号为cn115476237a的专利,公开了一种单晶硅片自动翻面磨削设备,包括工作台1、固定组件4、夹持组件5和吸料组件6,所述工作台1的上表面固定有支架2,所述支架2上安装有磨削组件3;所述磨削组件3包括转轴301、第一电机302、砂轮306和第一电动推杆304,所述转轴301的一端转动连接在支架2上,所述第一电机302安装在支架2的一侧,且所述转轴301的一端穿过支架2与第一电机302的输出轴连接,所述转轴301的另一端固定有支撑板303,所述第一电动推杆304固定在支撑板303的下表面,所述第一电动推杆304活塞杆端固定有固定座305,所述固定座305的内部安装有第二电机,所述砂轮306安装在第二电机的输出轴上;砂轮呈倒梯形设置,且砂轮下端拐角处为弧形,通过第一电机、第一电动推杆和砂轮的配合,可以方便改变砂轮的位置的角度,使砂轮不仅可以磨削单晶硅片表面,还可以利用砂轮的弧形拐角处对单晶硅片侧边进行倒角作业。

6、上述方案通过夹持组件5对单晶硅片进行固定,通过磨削组件3移动对单晶硅片进行倒角,单晶硅片非常易碎,通过磨削组件3对单晶硅片的边缘进行倒角的时候,采用的是单面磨削的方式,这种不均衡受力的方式很容易导致单晶硅片破片,存在一定的操作风险,因此亟需一种单晶硅片的倒角加工设备,以解决上述存在的问题。


技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种单晶硅片的倒角加工设备,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种单晶硅片的倒角加工设备,包括底座机构和顶吸机构;

3、所述底座机构包括底座,所述底座的上方中部设置有用于正位托举单晶硅片的底托组件,所述底托组件和底座之间固定连接有用于支撑的第一支架,所述底托组件的下部外侧设置有固定连接第一支架的框环;

4、所述框环活动套接有正位组件;

5、所述底托组件包括固定连接第一支架的第一柱筒,所述第一柱筒的上端活动嵌装有第一吸盘,所述第一吸盘的下侧固定连接有转柱,所述转柱通过轴承活动嵌接第一柱筒;

6、所述顶吸机构包括正对底托组件的顶吸组件,所述顶吸组件和第一支架之间固定连接有用于支撑的第二支架;

7、所述顶吸组件的一侧设置有第一电轨,所述第一电轨和底座之间固定连接有用于支撑的第三支架,所述第一电轨的下侧滑动插接有连杆,所述连杆的下端固定连接有第二电轨;

8、所述第二电轨上滑动连接有加工机构,所述加工机构包括两个磨板组件,每个所述磨板组件均包括有滑动插接第二电轨的滑台,所述滑台的中部一侧固定连接有立柱,所述立柱的端头通过转轴活动连接有磨板,所述立柱的上下两侧分别设置有第三电动伸缩柱,所述第三电动伸缩柱的固定端通过转轴活动连接滑台,所述第三电动伸缩柱的输出端通过转轴活动连接磨板。

9、作为本发明的一种优选技术方案,所述第一柱筒的下端固定连接有第一电机,所述第一电机的输出端固定连接有齿轮柱;

10、所述底座的上表面中部固定连接有正对底托组件的灰盘,所述灰盘的内部盛装有清水。

11、作为本发明的一种优选技术方案,所述顶吸组件包括固定连接第二支架的第二电机,所述第二电机的输出端固定连接有第二柱筒,所述第二柱筒的下端活动嵌装有第二吸盘,所述第二吸盘的上侧固定连接有第二电动伸缩柱,所述第二电动伸缩柱的固定端固定嵌接第二柱筒;

12、所述第一电轨固定连接第二电机。

13、作为本发明的一种优选技术方案,每个所述磨板的中部均贯穿开设有内槽,上下两个所述磨板之间共同插接有内带,所述内带的两侧端头分别插入内槽中且固定连接有接垫,所述接垫固定连接内槽。

14、作为本发明的一种优选技术方案,所述正位组件包括正位机构,所述正位机构包括通过环状的围筒,所述框环通过轴承活动套接围筒;

15、所述围筒的上端口内侧等距均匀地固定连接有贴合第一电机的滑轨,所述滑轨的下壁贯穿开设有滑槽;

16、所述围筒的内侧固定连接有十字形的底壳,所述底壳从下侧罩接滑轨;

17、每个所述滑轨上均设置有用于正位的推板组件。

18、每个所述推板组件均包括有适配插接滑槽的第一电动伸缩柱,所述第一电动伸缩柱的输出端固定连接有推板,所述第一电动伸缩柱的固定端固定套接有适配插接滑轨的滑板,所述第一电动伸缩柱的固定端固定连接处于滑轨下方的齿板,所述齿板的表面等距均匀地固定连接有适配啮合齿轮柱的齿牙;

19、对侧的两个所述推板组件的齿板等高,相邻的两个所述推板组件的齿板高度错位;

20、所述底壳的上端口遮罩有套接第一电机的挡布,所述第一电动伸缩柱的固定端上部贯穿固接挡布。

21、作为本发明的一种优选技术方案,所述正位组件还包括附件机构,所述围筒和底壳之间等距均匀地设置附件机构,所述附件机构包括固定连接围筒和底壳的扇叶;

22、所述附件机构还包括固定连接围筒和底壳的滑框,所述滑框处于扇叶下方,所述滑框径向设置;

23、所述附件机构还包括固定连接围筒和底壳的灰帘,所述灰帘处于滑框下方,所述灰帘的尖角处和底壳分离,所述灰帘的尖角处贯穿固接有适配插接滑框的插柱,所述插柱的下端通过细绳挂接有配重球,所述插柱和围筒之间固定连接有弹簧。

24、与现有技术相比,本发明的有益效果是:

25、(1)一种单晶硅片的倒角加工设备,通过带动单晶硅片正位转动,从而能够有效的减少加工时器件间阻碍造成的位置调整导致的时间浪费,提高设备的加工效率。

26、(2)一种单晶硅片的倒角加工设备,通过对磨板组件的第三电动伸缩柱进行长度调整,使得磨板以和立柱的连接转轴为轴转动不同的角度,通过磨板不同角度的调整,能够使得单晶硅片产出不同种类的倒角,提高设备的产出多样性。

27、(3)一种单晶硅片的倒角加工设备,通过顶吸组件带动单晶硅片转动从而完成边缘的完整倒角,两个磨板的同步加工缩短了一半工时,提高倒角加工的速度。

28、(4)一种单晶硅片的倒角加工设备,相对的磨板同时起到加工倒角和承托受力的双重作用,这样能够减少单晶硅片边缘的单边受力问题,减少单晶硅片加工碎裂的风险,提高设备的成品率。

29、(5)一种单晶硅片的倒角加工设备,当推板组件移动至最内侧后,齿轮柱和推板组件卡制,致使正位机构带动附件机构一齐随齿轮柱转动,此时扇叶的跟随转动将形成风流,从而将碎屑向下吸引,起到吸尘的作用,提高设备的工作环境。

30、(6)一种单晶硅片的倒角加工设备,通过扇叶引导的灰尘通过该处下落,收集到灰盘中,在平时状态下,弹簧的作用使得灰帘封闭,避免灰尘反流,提高设备的防尘能力。


技术特征:

1.一种单晶硅片的倒角加工设备,包括底座机构(1)和顶吸机构(4);

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的倒角加工设备,其特征在于:所述第一柱筒(102)的下端固定连接有第一电机(105),所述第一电机(105)的输出端固定连接有齿轮柱(106);

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的倒角加工设备,其特征在于:所述顶吸组件包括固定连接第二支架(405)的第二电机(401),所述第二电机(401)的输出端固定连接有第二柱筒(402),所述第二柱筒(402)的下端活动嵌装有第二吸盘(403),所述第二吸盘(403)的上侧固定连接有第二电动伸缩柱(404),所述第二电动伸缩柱(404)的固定端固定嵌接第二柱筒(402);

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的倒角加工设备,其特征在于:每个所述磨板(503)的中部均贯穿开设有内槽(505),上下两个所述磨板(503)之间共同插接有内带(506),所述内带(506)的两侧端头分别插入内槽(505)中且固定连接有接垫(507),所述接垫(507)固定连接内槽(505)。

5.根据权利要求2所述的一种单晶硅片的倒角加工设备,其特征在于:所述正位组件包括正位机构(2),所述正位机构(2)包括通过环状的围筒(201),所述框环(108)通过轴承活动套接围筒(201);

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片的倒角加工设备,其特征在于:每个所述推板组件均包括有适配插接滑槽(203)的第一电动伸缩柱(205),所述第一电动伸缩柱(205)的输出端固定连接有推板(206),所述第一电动伸缩柱(205)的固定端固定套接有适配插接滑轨(202)的滑板(207),所述第一电动伸缩柱(205)的固定端固定连接处于滑轨(202)下方的齿板(208),所述齿板(208)的表面等距均匀地固定连接有适配啮合齿轮柱(106)的齿牙(209);

7.根据权利要求5所述的一种单晶硅片的倒角加工设备,其特征在于:所述正位组件还包括附件机构(3),所述围筒(201)和底壳(204)之间等距均匀地设置附件机构(3),所述附件机构(3)包括固定连接围筒(201)和底壳(204)的扇叶(301);


技术总结
本发明公开了一种单晶硅片的倒角加工设备,涉及硅片加工技术领域。一种单晶硅片的倒角加工设备,包括底座机构和顶吸机构,底座机构包括底座,底座的上方中部设置有用于正位托举单晶硅片的底托组件,底托组件和底座之间固定连接有用于支撑的第一支架,底托组件的下部外侧设置有固定连接第一支架的框环,框环活动套接有正位组件,底托组件包括固定连接第一支架的第一柱筒,第一柱筒的上端活动嵌装有第一吸盘,第一吸盘的下侧固定连接有转柱,转柱通过轴承活动嵌接第一柱筒,顶吸机构包括正对底托组件的顶吸组件,顶吸组件和第一支架之间固定连接有用于支撑的第二支架,一种单晶硅片的倒角加工设备,减少单晶硅片边缘的单边受力问题。

技术研发人员:何其金,何飞,方艺霖,徐小萍
受保护的技术使用者:扬州新鹏能源科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/11/11
转载请注明原文地址: https://tieba.8miu.com/read-13953.html

最新回复(0)