本发明涉及堵塞检测，特别涉及一种静电卡盘孔堵塞检测装置及检测方法。
背景技术：
1、现有技术中，如公开号为cn108321095b的专利公开了一种卡盘工作台的堵塞检测方法和加工装置，提供卡盘工作台的堵塞检测方法和加工装置，在对卡盘工作台的堵塞进行检测时，不花费时间，并且也不花费作业者的工夫。该对卡盘工作台的堵塞进行检测的检测方法包含如下的步骤：拍摄步骤，在使空气和水喷出至卡盘工作台的保持面的状态下对卡盘工作台的保持面进行拍摄；图像处理步骤，对拍摄到的图像进行二值化处理；以及判断步骤，根据在图像处理步骤中进行了二值化处理而得的图像，对卡盘工作台的堵塞量进行判断，其是通过气泡的形态大小来判断堵塞情况。
2、但是，现有技术中具有以下问题：空气和水通过静电卡盘孔后形成的气泡从形成到破裂的速度较短，判断的难度较大，要求高；无法判断孔中堵塞物的径向位置，疏通堵塞孔时没有针对性，影响疏通的效率。
技术实现思路
1、本发明要解决的技术问题是提供一种静电卡盘孔堵塞检测装置及检测方法，以解决背景技术中提出的问题。
2、为了解决上述技术问题，本发明的技术方案为：
3、本发明一方面提供一种静电卡盘孔堵塞检测装置，包括左支撑件和右支撑件，所述左支撑件与所述右支撑件之间设有堵塞喷液装置，所述堵塞喷液装置的上方放置有待检测的静电卡盘，所述堵塞喷液装置包括支撑环，所述支撑环的下方设有支撑板，所述支撑环与支撑板之间设有第一弹簧，所述支撑环包括横杆，所述横杆的下侧壁上设有第一限位杆和第二限位杆，所述支撑板上设有与所述第一限位杆、所述第二限位杆配合的通孔，所述堵塞喷液装置还包括若干活动设置在所述支撑环的喷嘴管，所述喷嘴管与所述静电卡盘上待堵塞检测的孔插接，所述喷嘴管通过水管与水泵连接，所述左支撑件上设有用于支撑所述静电卡盘的左支撑板，所述右支撑件上设有用于支撑所述静电卡盘的右支撑板，所述左支撑板与所述右支撑板的上侧壁平齐，所述静电卡盘的上方设有用于夹紧所述静电卡盘的夹紧组件，所述静电卡盘的侧上方设有图像识别装置。
4、优选的，所述图像识别装置包括设置在所述静电卡盘一侧上方用于拍摄水柱高度的第一图像拍摄相机，所述静电卡盘的另一侧上方设有用于拍摄水柱高度的第二图像拍摄相机。
5、优选的，所述支撑环包括外圆环和内圆环，所述外圆环与所述内圆环通过若干连接件连接。
6、优选的，所述喷嘴管上套设有定位环和橡胶塞，所述橡胶塞位于所述定位环的上方，所述橡胶塞的外径从上往下逐渐变大，所述定位环位于所述支撑环的上方，所述喷嘴管上还套设有紧固螺母，所述紧固螺母设置在所述支撑环的下方。
7、优选的，所述夹紧组件包括位于所述静电卡盘上方的上支撑板，所述上支撑板上方设有上连接板，所述上连接板与所述上支撑板之间设有第二弹簧，所述上连接板的两端分别与所述左支撑件、所述右支撑件分别连接。
8、优选的，所述左支撑件的下侧壁设有左底板，所述右支撑件的下侧壁设有右底板，所述左底板的下侧壁与所述右底板的下侧壁对齐。
9、本发明另一方面提供一种静电卡盘孔堵塞检测方法，所述检测方法通过上述的静电卡盘孔堵塞检测装置进行检测，所述检测方法包括：
10、放置待检测的静电卡盘，将静电卡盘放置在左支撑板和右支撑板上，通过夹紧组件将所述静电卡盘夹持住，调整所述喷嘴管的位置，将所述喷嘴管嵌入待检测的静电卡盘的孔中，在第一弹簧的弹性力作用下保持喷嘴管的位置的不变；
11、先记录所述静电卡盘的孔未堵塞情况，在下一定压力的水通过所述静电卡盘的孔后在所述静电卡盘上方的水柱高度，记录好后，启动水泵，按照上述给定的水压给待检测所述静电卡盘的孔通入水，此时，判断水通过待检测所述静电卡盘的孔之后的高度，若水流的高度与未堵塞情况下的水流的高度相等，则判断该待检测所述静电卡盘的孔为为堵塞，若水流无法通过待检测所述静电卡盘的孔，则判断该待检测所述静电卡盘的孔为完全堵塞，若水流能够通过待检测所述静电卡盘的孔，但是水流的高度高于未堵塞情况的水流的高度，则判断该待检测所述静电卡盘的孔为部分堵塞。
12、优选的，通过所述图像识别装置拍摄通过待检测所述静电卡盘的孔的水流的高度，判断该待检测所述静电卡盘的孔是未堵塞、部分堵塞和完全堵塞。
13、采用上述技术方案，具有以下有益效果：
14、通过本申请中的静电卡盘孔堵塞检测装置，配合静电卡盘孔堵塞检测方法，能够方便的判断出静电卡盘孔的堵塞情况；
15、测试人员观察测试时候的水柱时，若水柱贴着静电卡盘某一孔的一侧，则可以判断堵塞物在未出水的那一侧，通过上述方法检测堵塞时能够判断堵塞物位于哪一侧，便于后续对静电卡盘的孔的清理，提升清理的效果。
1.一种静电卡盘孔堵塞检测装置，其特征在于，包括左支撑件(1)和右支撑件(2)，所述左支撑件(1)与所述右支撑件(2)之间设有堵塞喷液装置，所述堵塞喷液装置的上方放置有待检测的静电卡盘(19)，所述堵塞喷液装置包括支撑环(4)，所述支撑环(4)的下方设有支撑板(3)，所述支撑环(4)与支撑板(3)之间设有第一弹簧(12)，所述支撑环(4)包括横杆(28)，所述横杆(28)的下侧壁上设有第一限位杆(13)和第二限位杆(14)，所述支撑板(3)上设有与所述第一限位杆(13)、所述第二限位杆(14)配合的通孔，所述堵塞喷液装置还包括若干活动设置在所述支撑环(4)的喷嘴管(5)，所述喷嘴管(5)与所述静电卡盘(19)上待堵塞检测的孔插接，所述喷嘴管(5)通过水管(9)与水泵(10)连接，所述左支撑件(1)上设有用于支撑所述静电卡盘(19)的左支撑板(17)，所述右支撑件(2)上设有用于支撑所述静电卡盘(19)的右支撑板(18)，所述左支撑板(17)与所述右支撑板(18)的上侧壁平齐，所述静电卡盘(19)的上方设有用于夹紧所述静电卡盘(19)的夹紧组件，所述静电卡盘(19)的侧上方设有图像识别装置。
2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘孔堵塞检测装置，其特征在于，所述图像识别装置包括设置在所述静电卡盘一侧上方用于拍摄水柱高度的第一图像拍摄相机(23)，所述静电卡盘(19)的另一侧上方设有用于拍摄水柱高度的第二图像拍摄相机(24)。
3.根据权利要求1所述的一种静电卡盘孔堵塞检测装置，其特征在于，所述支撑环(4)包括外圆环(25)和内圆环(26)，所述外圆环(25)与所述内圆环(26)通过若干连接件(27)连接。
4.根据权利要求3所述的一种静电卡盘孔堵塞检测装置，其特征在于，所述喷嘴管(5)上套设有定位环(7)和橡胶塞(6)，所述橡胶塞(6)位于所述定位环(7)的上方，所述橡胶塞(6)的外径从上往下逐渐变大，所述定位环(7)位于所述支撑环(4)的上方，所述喷嘴管(5)上还套设有紧固螺母(8)，所述紧固螺母(8)设置在所述支撑环(4)的下方。
5.根据权利要求1所述的一种静电卡盘孔堵塞检测装置，其特征在于，所述夹紧组件包括位于所述静电卡盘(19)上方的上支撑板(20)，所述上支撑板(20)上方设有上连接板(22)，所述上连接板(22)与所述上支撑板(20)之间设有第二弹簧(21)，所述上连接板(22)的两端分别与所述左支撑件(1)、所述右支撑件(2)分别连接。
6.根据权利要求1所述的一种静电卡盘孔堵塞检测装置，其特征在于，所述左支撑件(1)的下侧壁设有左底板(15)，所述右支撑件(2)的下侧壁设有右底板(16)，所述左底板(15)的下侧壁与所述右底板(16)的下侧壁对齐。
7.一种静电卡盘孔堵塞检测方法，其特征在于，所述检测方法通过如权利要求1～6中任意一项所述的静电卡盘孔堵塞检测装置进行检测，所述检测方法包括：
8.根据权利要求7所述的一种静电卡盘孔堵塞检测方法，其特征在于，通过所述图像识别装置拍摄通过待检测所述静电卡盘(19)的孔的水流的高度，判断该待检测所述静电卡盘(19)的孔是未堵塞、部分堵塞和完全堵塞。
