本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种加热盘倾斜角度的调节装置、一种加热盘倾斜角度的调节方法、一种加热盘，以及一种计算机可读存储介质。
背景技术：
1、半导体镀膜设备在沉积工艺过程中，通常存在晶圆的膜厚不均匀，高低点差值达到限定范围等情况，需要调整喷淋板和加热盘之间的角度位置关系，以保证薄膜厚度均匀，且保持高低点之间的差值在限定范围内。
2、现有技术中，该角度调节装置多为手动调节，不但无法实现工艺过程中的实时调节，而且设备调整的效率较低精度较差。然而，即使少数的角度调节装置可以实现自动角度调节，其较多的导向件导致操作复杂，角度调节的可操作性及其稳定性较差。此外，目前自动角度调节装置，通常采用滑动摩擦的导向方式，因而，随着导向件长期磨损，其导向稳定性也会不可避免的逐渐下降，重复精度逐渐降低。
3、为了克服现有技术存在的上述缺陷，本领域亟需一种角度调节技术，用于对加热盘的角度进行调节，从而提升加热盘角度调节装置的导向稳定性，以提高该加热盘的沉积工艺的重复精度。
技术实现思路
1、以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之前序。
2、为了克服现有技术存在的上述缺陷，本发明提供一种加热盘倾斜角度的调节装置、一种加热盘倾斜角度的调节方法、一种加热盘，以及一种计算机可读存储介质，用于对加热盘的角度进行调节，从而提升加热盘角度调节装置的导向稳定性，以提高该加热盘的沉积工艺的重复精度。
3、具体来说，根据本发明以第一方面提供的加热盘倾斜角度的调节装置，包括：第一法兰，分别固定连接加热盘和第一钢珠保持架，其中，所述第一法兰的下侧具有第一导向斜面；第二法兰，连接外部的固定装置，且其下侧具有第二导向斜面，其中，所述第二法兰的上侧经由多个第一钢珠连接所述第一法兰下侧的所述第一导向斜面，而其下侧的所述第二导向斜面经由多个第二钢珠连接所述第一钢珠保持架的上侧；所述第一钢珠保持架，与所述第一法兰一起夹紧所述第二法兰，以稳定所述角度调节装置；以及调节部，用于横向挤压所述第一法兰的侧面，向其提供一横向偏移量，以调节所述第一法兰及所述第一钢珠保持架的倾斜角度。
4、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述第一法兰与所述第二法兰之间设有第二钢珠保持架，用于对所述多个第一钢珠进行限位。
5、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述调节部包括横向旋转的凸轮，其中，所述凸轮的靠近其旋转轴的第一位置向所述第一法兰提供较小的第一横向偏移量，以经由所述第一法兰及所述第一钢珠保持架带动所述加热盘向靠近所述调节部的第一方向倾斜，所述凸轮的远离其旋转轴的第二位置向所述第一法兰提供较大的第二横向偏移量，以经由所述第一法兰及所述第一钢珠保持架带动所述加热盘向远离所述调节部的第二方向倾斜。
6、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述加热盘倾斜角度的调节装置包括多个所述调节部，其中，各所述调节部向所述第一法兰提供不同方向的横向偏移量，以调节所述第一法兰及所述第一钢珠保持架的倾斜角度。
7、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述加热盘倾斜角度的调节装置包括两个所述调节部，其中，第一调节部向所述第一法兰提供沿预设的x方向的第一横向偏移量，以调节所述第一法兰及所述第一钢珠保持架沿所述x方向的倾斜角度，第二调节部向所述第一法兰提供沿预设的y方向的第二横向偏移量，以调节所述第一法兰及所述第一钢珠保持架沿所述y方向的倾斜角度，所述x方向垂直于所述y方向。
8、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述的调节装置还包括：驱动装置，用于旋转所述凸轮，以调节其向所述第一法兰提供的横向偏移量。
9、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述的调节装置还包括：减速器，设于所述驱动装置与所述凸轮之间，用于向所述凸轮提供减速的旋转量，以提高其对所述横向偏移量的驱动力和控制精度。
10、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述第一钢珠保持架通过螺钉连接到所述第一法兰，并将所述多个第一钢珠及所述多个第二钢珠压紧于所述第二法兰的两侧。所述第一钢珠及所述第二一钢珠对所述第二法兰的夹紧力，随所述螺钉沿旋紧的第一方向旋转而增大，并随所述螺钉沿旋松的第二方向旋转而减小。
11、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述的调节装置还包括：基座，固定连接固定装置；以及固定架，其第一端固定连接所述基座，而其第二端固定连接所述第二法兰，以将所述第二法兰间接地固定连接到所述固定装置。
12、此外，根据本发明第二方面提供的加热盘包括：加热盘本体；以及如本发明第一方面中任一项所述的加热盘倾斜角度的调节装置。
13、此外，根据本发明第三方面提供的加热盘倾斜角度的调节方法包括以下步骤：获取对如本发明第一方面中任一项所述的角度调节装置的第一法兰的目标横向偏移量；以及根据所述目标横向偏移量，调节所述加热盘倾斜角度的调节装置的调节部，以横向挤压所述第一法兰的侧面来调节所述第一法兰的倾斜角度，从而带动所述加热盘改变其倾斜角度。
14、进一步地，在本发明的一些实施例中，获取所述目标横向偏移量的步骤包括：检测经由所述加热盘加工获得的晶圆样本上多个位置的薄膜厚度；根据所述多个位置的薄膜厚度分布，确定所述加热盘的倾斜角度调节量；以及根据所述倾斜角度调节量，确定所述第一法兰的目标横向偏移量。
15、此外，根据本发明第四方面提供的计算机可读存储介质，其上存储有计算机指令。所述计算机指令被处理器执行时，实施如本发明第三方面中任一项所述的加热盘倾斜角度的调节方法。
1.一种加热盘倾斜角度的调节装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述第一法兰与所述第二法兰之间设有第二钢珠保持架，用于对所述多个第一钢珠进行限位。
3.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述调节部包括横向旋转的凸轮，其中，
4.如权利要求3所述的调节装置，其特征在于，还包括多个所述调节部，其中，各所述调节部向所述第一法兰提供不同方向的横向偏移量，以调节所述第一法兰及所述第一钢珠保持架的倾斜角度。
5.如权利要求4所述的调节装置，其特征在于，所述角度调节装置包括两个所述调节部，其中，第一调节部向所述第一法兰提供沿预设的x方向的第一横向偏移量，以调节所述第一法兰及所述第一钢珠保持架沿所述x方向的倾斜角度，第二调节部向所述第一法兰提供沿预设的y方向的第二横向偏移量，以调节所述第一法兰及所述第一钢珠保持架沿所述y方向的倾斜角度，所述x方向垂直于所述y方向。
6.如权利要求3所述的调节装置，其特征在于，还包括：
7.如权利要求6所述的调节装置，其特征在于，还包括：
8.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述第一钢珠保持架通过螺钉连接到所述第一法兰，并将所述多个第一钢珠及所述多个第二钢珠压紧于所述第二法兰的两侧，其中，
9.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，还包括：
10.一种加热盘，其特征在于，包括：
11.一种加热盘倾斜角度的调节方法，其特征在于，包括以下步骤：
12.如权利要求11所述的调节方法，其特征在于，获取所述目标横向偏移量的步骤包括：
13.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机指令，其特征在于，所述计算机指令被处理器执行时，实施如权利要求11～12中任一项所述的加热盘倾斜角度的调节方法。
