本公开涉及热处理装置及热处理方法。本申请基于2022年03月28日在日本申请的特愿2022-051160号主张优先权,在此引用其内容。
背景技术:
1、专利文献1中公开了对作为碳源的粉末连续地进行热处理而得到石墨的石墨化炉及制造石墨的方法。在该石墨化炉及制造石墨的方法中,在由作为加热用电极发挥功能的导电性物质构成的坩埚中容纳具有导电性的粉末并投入腔室内,在腔室内将另外设置的电极埋入粉末,并且将坩埚从腔室的一端朝向另一端搬送。由此,对粉末进行通电加热而连续地得到石墨。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1:日本特开2014-210710号公报
技术实现思路
1、发明要解决的技术问题
2、在背景技术中,虽然能够连续地得到石墨,但装置的维护性留有改善的余地。即,为了由碳的粉末得到石墨,需要在阻断空气的状态下将粉末加热至接近3000℃的高温,因此坩埚或电极、设置于坩埚的周围的隔热件等与粉末一起被加热的部件(被加热部件)的劣化加剧。
3、但是,由于背景技术并没有考虑被加热部件的维护性,因此为了维护被加热部件,需要使装置的运转停止。即,在背景技术中,维护性存在改善的余地。
4、本公开的目的在于提供一种与以往相比能够使被加热部件的维护性提高的热处理装置及热处理方法。
5、用于解决上述技术问题的方案
6、本公开的第1方案的热处理装置采用以下方案,即,该热处理装置具备:被搬送体,包括处理对象物,至少具备对该处理对象物进行加热的发热体;搬送装置,搬送所述被搬送体;感应加热装置,具备相对于所述被搬送体进退自如地移动的加热线圈,通过使磁场作用于所述被搬送体而使所述发热体发热。
7、在本公开的第2方案中,也可以是,在上述第1方案中,所述被搬送体还具备设置于所述发热体周围的隔热件。
8、在本公开的第3方案中,也可以是,在上述第1或第2方案中,所述被搬送体还具备供冷却气体流通的冷却管。
9、在本公开的第4方案中,也可以是,在上述第1~第3方案的任一方案中,所述被搬送体具备使所述发热体的热传导至所述处理对象物的内部的传热板。
10、在本公开的第5方案中,也可以是,在上述第1~第4方案的任一方案中,所述被搬送体构成为将所述发热体及所述处理对象物预先保持为脱气气氛或惰性气体气氛。
11、本公开的第6方案的热处理方法是对处理对象物进行热处理的热处理方法,将与所述处理对象物一起被加热的被加热部件与所述处理对象物一起搬送。
12、在本公开的第7方案中,也可以是,在上述第6方案中,在热处理的前工序中,将所述处理对象物保持为脱气气氛或惰性气体气氛。
13、发明效果
14、根据本公开,能够提供一种与以往相比能够使被加热部件的维护性提高的热处理装置及热处理方法。
1.一种热处理装置,其特征在于,具备:
2.如权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,
3.如权利要求1或2所述的热处理装置,其特征在于,
4.如权利要求1~3的任一项所述的热处理装置,其特征在于,
5.如权利要求1~4的任一项所述的热处理装置,其特征在于,
6.一种热处理方法,是对处理对象物进行热处理的热处理方法,其特征在于,
7.如权利要求6所述的热处理方法,其特征在于,