本发明涉及气体处理装置及气体处理方法。
背景技术：
1、以往，已知有从被处理气体回收有机溶剂的气体处理装置。例如，在专利文献1中公开了一种气体处理装置，其具备回收机构部，该回收机构部具有多个处理槽，该处理槽具有能够吸附脱附有机溶剂的吸附件，并且被交替地供给包含有机溶剂的被处理气体和用于从所述吸附件脱附有机溶剂的加热蒸汽，该回收机构部向多个处理槽中选择的一个所述处理槽导入所述加热蒸汽，向剩余的处理槽导入被处理气体，在供给加热蒸汽时从处理槽排出的脱附气体回收有机溶剂。
2、吸附件例如如专利文献2所示，是以规定厚度的层状态同心圆状地卷绕多圈的形状，经由密封材料固定于处理槽内部。
3、在先技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本国公开专利公报“特开2014－147863号”
6、专利文献2：日本国公开专利公报“特开2001－179029号”
技术实现思路
1、发明要解决的课题
2、在专利文献1所述的气体处理装置中，进行脱附有机溶剂的工序的吸附槽通过吸附槽与取出流路之间的开闭阀使取出流路关闭，用于脱附有机溶剂的水蒸汽不会向取出流路侧流入。但是，例如在处理对象的有机溶剂与密封材料亲和性高的情况下，在脱附有机溶剂的工序中，存在有机溶剂浸透到密封材料且有机溶剂向吸附槽与所述开闭阀之间的空间泄漏的问题。然而，对于所有种类的有机溶剂都具有耐溶剂性，不存在兼具能够耐受100℃以上的高温的耐热性等性能的密封材料。另外，即使由于长期运转中的振动等而紧固力发生变化，也会产生密封材料的恶化。
3、基于这样的理由，在脱附工序后的吸附工序中，泄漏的有机溶剂包含在吸附工序出口气体中，有机溶剂经由取出流路而排出到大气中。其结果为，气体处理装置的除去率恶化。
4、因此，本发明鉴于上述课题，其目的在于提供一种提高了有机溶剂的除去率的气体处理装置。
5、用于解决课题的手段
6、本发明提供以下的气体处理装置。具体而言，本发明的气体处理装置具备处理槽，所述处理槽具有能够进行有机溶剂的吸附脱附的吸附件，并且所述处理槽交替地进行吸附处理和脱附处理，所述吸附处理通过使含有所述有机溶剂的被处理气体与所述吸附件接触而利用所述吸附件吸附所述有机溶剂，所述脱附处理利用水蒸汽从所述吸附件脱附所述有机溶剂，其特征在于，所述处理槽具有处理槽下游腔室，所述处理槽下游腔室供由所述吸附件进行吸附处理后的被处理气体即处理气体导入，在所述处理槽下游腔室连接有：排出所述处理气体的取出流路、供给对该处理槽下游腔室进行吹扫的吹扫气体的吹扫气体供给流路、以及从该处理槽下游腔室排出所述吹扫气体的吹扫气体取出流路。
7、本发明在上述结构的基础上，可以的是，在向所述处理槽供给所述水蒸汽的期间，向该处理槽所具有的所述下游腔室供给所述吹扫气体。
8、本发明在上述结构的基础上，可以的是，所述吹扫气体取出流路的端部与向所述处理槽供给所述被处理气体的被处理气体供给流路连接。
9、本发明在上述结构的基础上，可以的是，所述取出流路与所述吹扫气体供给流路共用至少一部分。
10、本发明在上述结构的基础上，可以的是，所述吹扫气体供给流路的端部与所述取出流路连接。
11、本发明在上述结构的基础上，可以的是，所述气体处理装置具备多个所述处理槽，在多个所述处理槽中的一部分处理槽进行所述吸附处理，在剩余的所述处理槽进行所述脱附处理。
12、本发明在上述结构的基础上，可以的是，所述气体处理装置具备三个以上的所述处理槽，在三个以上的所述处理槽的一部分所述处理槽中进行所述脱附处理，剩余的所述处理槽通过连结流路串联多段连接而进行所述吸附处理。
13、本发明在上述结构的基础上，可以的是，所述连结流路与所述吹扫气体取出流路共用至少一部分。
14、本发明在上述结构的基础上，可以的是，所述吹扫气体取出流路的端部与所述连结流路连接。
15、发明效果
16、根据本发明，能够提供一种提高了有机溶剂的除去率的气体处理装置。
1.一种气体处理装置，其具备处理槽，所述处理槽具有能够进行有机溶剂的吸附脱附的吸附件，并且所述处理槽交替地进行吸附处理和脱附处理，所述吸附处理通过使含有所述有机溶剂的被处理气体与所述吸附件接触而利用所述吸附件吸附所述有机溶剂，所述脱附处理利用水蒸汽从所述吸附件脱附所述有机溶剂，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的气体处理装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的气体处理装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的气体处理装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的气体处理装置，其特征在于，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的气体处理装置，其特征在于，
7.根据权利要求1至5中任一项所述的气体处理装置，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的气体处理装置，其特征在于，
9.根据权利要求7所述的气体处理装置，其特征在于，
