光干涉测量装置的制作方法

专利2025-02-28  30


本发明涉及使用基于反射光和参照光的干涉光来对测定对象进行测量的光干涉测量装置。


背景技术:

1、光学相干断层成像(即oct)是利用了光的干涉现象的涂敷膜等构造物或生物体的断层像拍摄法。oct已经在眼科医疗领域中被实用化,作为具有十几μm这样的高的分辨率的断层测量手法,被使用于眼球内的视网膜等精细区域的断层像拍摄。

2、在oct当中,有需要参照平面的扫描的时域oct(即td-oct)和不需要参照平面的扫描的频域oct(即fd-oct)这2种。在fd-oct当中,也有谱域类型(即sd-oct)和波长扫描型光源类型(即ss-oct)这2者,但均是在将从光源射出的光分割成测定光和参照光之后,将从测定对象反射的测定光和参照光合波,并基于测定光与参照光的干涉光的拍频来获取光断层图像。

3、图8是示出专利文献1所记载的以往的sd-oct装置的图。

4、在图8所示的装置中的干涉仪10中,从光源12射出的光在准直器30的端面被分割成参照光和测定光,参照光直接向分光装置40入射,测定光在从测定对象w反射之后经由准直器30而同样地向分光装置40入射。在此,准直器30的端面作为光干涉仪中的参照面而动作。

5、在分光装置40中,测定光和参照光在光谱区域中干涉,结果,作为干涉信号而对干涉条纹进行测量。通过针对该干涉信号进行适当的信号处理,能够得到测定对象w的深度方向1维的折射率分布的微分,也就是说能够得到反射率分布即光断层图像。

6、如此,将参照光与测定光的分支部设置在测定对象w的附近,而不是设置在干涉仪10,在此,设置在准直器30的测定对象w侧的端面。将参照光和测定光几乎穿过同一光路的光学系统称为公共路径光学系统,参照光和测定光共享由波长分散或热膨胀引起的光路长度的变动等的干扰并相互抵消,因而公共路径光学系统具有高的精度。

7、在先技术文献

8、专利文献

9、专利文献1:日本特开2009-270939号公报


技术实现思路

1、本发明的1个方式所涉及的光干涉测量装置具备:低相干光源,射出低相干光;光梳产生滤波器,将从所述低相干光源射出的所述光调整成等间隔的光频率分布;光分割单元,将由所述光梳产生滤波器调整成等频率间隔的光分割为测定光和参照光;和干涉光检测单元,对将来自所述测定对象的反射光和所述参照光合波后的干涉光进行检测,将从作为所述测定光的信号光的信号光路长度与所述参照光的参照光路长度一致的零点到所述测定对象为止的距离设为:从成为将光速乘以所述光梳产生滤波器的模式间隔的倒数后的值的整数倍的值减去根据所述干涉光检测单元的光频率分辨率决定的可测定范围而得到的距离,到对所述值加上所述可测定范围后的距离为止的范围内。



技术特征:

1.一种光干涉测量装置,具备:

2.根据权利要求1所述的光干涉测量装置,其中,

3.根据权利要求1或2所述的光干涉测量装置,其中,

4.根据权利要求1或2所述的光干涉测量装置,其中,

5.根据权利要求4所述的光干涉测量装置,其中,


技术总结
在由光梳产生滤波器(205)调整成等频率间隔后的光被入射并从测定头(207)照射到测定对象(W)时,通过光分割单元(208)来将由光梳产生滤波器(205)调整成等频率间隔后的光分割为测定光和参照光,通过干涉光检测单元(210)来对将测定光的来自测定对象(W)的反射光和参照光合波后的干涉光进行检测。

技术研发人员:壁谷泰宏,浦岛毅吏
受保护的技术使用者:松下知识产权经营株式会社
技术研发日:
技术公布日:2024/11/11
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