1.本技术涉及一种支架、板组件及包含该支架和板组件的老化室设备。
背景技术：2.老化室设备是一种支持对通过预定制造工程制造的半导体器件等电子元件进行测试并根据测试结果对电子元件的等级进行分类的装置。这样的老化室设备可以通过将电子元件电连接到测试仪来测试诸如半导体器件的电子元件。
3.同时，可以对经过使用预定检查设备的电气检查后被评定为良好的电子元件执行用于可靠性验证的老化测试。在这样的老化测试过程中，对电子元件施加热应力和电应力以检测其中的缺陷。将电子元件装载到老化板上进行老化测试过程，并安置于老化板上进行测试过程。此外，在完成测试过程后，将电子元件从老化板上卸载并根据测试结果进行分类。
4.老化室设备可以通过老化测试将具有相同温度的高温空气施加到电子元件上来检测电子元件中的缺陷。
5.然而，由于传统的老化室设备中的电子元件垂直于气流方向放置，老化室设备中的空气流动受到电子元件的阻力，因此电子元件会产生涡流。因此，传统的老化室设备具有在气流中不连续地产生涡流的问题。
6.传统的老化室设备的另一个问题是供应的高温空气没有完全施加到电子元件上。例如，当高温空气流向电子元件时，会向偏离流动方向的方向分散，并且一些空气会从老化室设备中泄漏出来。因此，施加到电子元件的高温空气量不足以满足适当的目标测试条件。
7.对电子元件进行老化测试时，如果不满足这些目标测试条件，就无法获得准确的老化测试结果。
技术实现要素：8.鉴于上述情况，本发明提供了一种老化室设备，其允许在老化测试期间将供应给电子元件的高温空气充分地应用于电子元件。
9.根据本发明的第一实施例，本发明提供了一种支架，包括：支撑架；升降单元，被配置成可相对于所述支撑架上下移动；以及延伸单元，当所述升降单元向下移动时，所述延伸单元向所述升降单元施加向上的恢复力。
10.根据本发明的第二实施例，本发明提供了一种板组件，包括：基部，其提供一空间，其中电子元件在预定的排列方向上排列；板框，所述板框支撑所述基部；以及引导部，被配置成沿平行于所述排列方向的方向引导施加到排列在所述基部上的所述电子元件的流体的流动，所述引导部的一侧被配置成可相对于所述板框上下移动，其中，所述板框具有一回避空间，所述回避空间在所述引导部的所述一侧上下移动时防止所述引导部的所述一侧与所述板框产生干扰。
11.根据本发明的第三实施例，本发明提供了一种老化室设备，包括：腔室组件；支架，
所述支架可拆卸地安装至所述腔室组件；以及一个或多个板组件，所述板组件由所述支架支撑，其中，每个所述板组件包括：基部，其提供一空间，其中电子元件在预定的排列方向上排列；板框，所述板框支撑所述基部；以及引导部，被配置成沿平行于所述排列方向的方向引导施加到排列在所述基部上的所述电子元件的流体的流动，所述引导部被配置成相对于所述基部旋转，其中，所述支架包括升降单元，所述升降单元向上或向下按压所述引导部以使所述引导部旋转。
12.所述腔室组件可以包括：腔室框架；驱动轴，包括第一驱动轴，所述第一驱动轴设置在所述腔室框架的边缘附近并被配置为上下驱动或围绕在上下方向上延伸的旋转轴旋转；以及捕获部，连接至所述第一驱动轴，其中，所述升降单元具有捕获支撑突起，所述捕获支撑突起通过所述捕获部的按压使所述升降单元下降，并且在偏离所述排列方向和上下方向的方向上突出，所述引导部的一侧可旋转地连接至所述升降单元，并且当所述第一驱动轴被向下驱动时，所述引导部的一侧通过施加到所述捕获支撑突起的压力而下降。
13.所述引导部的所述一侧可以被配置为相对于由所述升降单元提供的第一旋转轴旋转，并在垂直于所述排列方向和上下方向的方向上延伸，所述引导部可以被配置为围绕第二旋转轴旋转，所述第二旋转轴设置在与所述一侧相对的另一侧，并垂直于所述排列方向和上下方向延伸。
14.所述引导部的所述另一侧可以被配置为相对于所述基部上下移动，并且所述引导部的所述另一侧下降的距离小于所述引导部的所述一侧下降的距离。
15.当所述第一驱动轴下降时，所述引导部的所述一侧可以围绕所述第二旋转轴旋转以靠近所述基部，并且当下降的所述第一驱动轴上升时，所述引导部的所述一侧围绕所述第二旋转轴旋转以远离所述基部。
16.所述驱动轴还可以包括第二驱动轴，所述第二驱动轴被配置为围绕沿上下方向延伸的旋转轴旋转，所述腔室组件还包括支架保持器，所述支架保持器连接至所述第二驱动轴并与所述第二驱动轴一起旋转，从而将所述支架置于可将所述支架从所述腔室组件拆卸的可拆卸状态或置于防止安装到所述腔室组件的所述支架从所述腔室组件拆卸的防拆卸状态。
17.所述第一驱动轴可以被驱动，使得当所述支架保持器处于所述可拆卸状态时，所述捕获部朝向偏离所述排列方向的方向，以及当所述支架保持器处于所述防拆卸状态时，所述捕获部朝向平行于所述排列方向的方向。
18.所述支架还可以包括延伸单元，当所述升降单元向下移动时，所述延伸单元向所述升降单元施加向上的恢复力。
19.所述延伸单元可以包括：支撑板，连接到所述支架的上部；弹性构件，其一端固定于所述支撑板的前侧，另一端被配置成可相对于所述支撑板移动；以及导线(wire)，连接至所述弹性构件的所述另一端，其中，所述升降单元具有导线支撑突起，所述导线支撑突起支撑所述导线并在偏离所述排列方向和上下方向的方向上突出，所述导线在所述弹性构件的所述另一端和所述导线支撑突起之间延伸。
20.所述支架还可以包括：支撑架，用于支撑所述板组件；以及滚轮，可旋转地连接至所述支撑架的上侧以围绕所述支撑架旋转，其中，当所述滚轮与所述导线接触，在所述导线移动时，所述滚轮引导所述导线的移动。
或“驱动”时，可以理解为该元件可以直接连接、支撑、引导、流向、流入、流出或驱动到另一个元件，但中间也可能存在其他元件。
43.本文中所使用的术语仅用于说明特定实施例，并不用于限制本发明。除非上下文另有明确规定，否则单数表达包括复数表达。
44.可以使用包括诸如第1、第2等序数的术语来说明各种元件，但是相应元件不受这些术语的限制。这些术语仅用于区分一个元件与另一个元件。
45.应当理解的是，本说明书中所使用的诸如“包括”之类的术语旨在表示说明书中揭示的某些特定特征、区域、整数、步骤、操作、元件、结合和/或组合的存在，但不排除其他特定特征、区域、整数、步骤、操作、元件、结合和/或组合的存在或附加。
46.这里所使用的上部、上表面等表述是基于附图中的图示进行描述的，需要注意的是，当对象的方向发生变化时，它们可能会被其他表达替换。这里使用的排列方向可以指纵向。
47.在以下的说明中，可以将引导部的一侧称为后引导部，将引导部的另一侧称为前引导部。此外，所述前引导部与基部500之间的垂直距离可称为第一距离h1，所述后引导部与基部500之间的垂直距离可称为第二距离h2。
48.在下文中，将参照附图描述根据本发明实施例的老化室设备1的具体结构。
49.在下文中，参考图1和图2，根据本发明实施例的老化室设备1可以用于电子元件的老化测试。本文所描述的老化测试是一种测试，其中电子元件d不是在允许通过正常使用实现其预期寿命的正常操作条件下使用，而是在高温条件下操作，以检测操作者在使用过程中可能产生的早期缺陷。老化室设备1可以包括支架10、送风部20、板组件30、驱动模块40、腔室组件50和控制器60。
50.进一步参考图3至图6，例如，电子元件d可以是具有一定厚度和一定宽度的固态驱动器(ssd)。电子元件d的厚度定义为电子元件d在左右方向上延伸的长度。同样，电子元件d的宽度定义为电子元件d在前后方向上延伸的长度。电子元件d的宽度可以大于电子元件d的厚度。电子元件d可以具有板状，其中，前后表面的面积比左右侧面的面积窄。
51.支架10可以支撑一个或多个板组件30。支架10可以可拆卸地安装至腔室组件50。例如，支架10可以向后移动并安装至腔室组件50，或者安装在腔室组件50上的支架10可以相对于腔室组件50向前移动，以从腔室组件50中拆卸。此外，支架10可以包括多个支架10。多个支架10可以竖直排列。此外，多个支架10可以单独安装到腔室组件50或从腔室组件50中拆卸。支架10可包括支撑架100、升降单元200、滚轮300和延伸单元400。
52.支撑架100可以支撑板组件30、升降单元200、滚轮300和延伸单元400。支撑架100可以包括水平支撑架110和竖直支撑架120。水平支撑架110可以是水平延伸的框架。例如，水平支撑架110可以是在前后方向和左右方向上延伸的多个框架。水平支撑架110可以连接到竖直支撑架120的上端和下端。
53.竖直支撑架120可以是沿上下方向延伸的框架。竖直支撑架120可以是从水平支撑架110的各个角相交的点沿上下方向延伸的多个框架。竖直支撑架120可以包括在上下方向上延伸以引导升降单元200升降的导轨。
54.再次参考图4和图5，升降单元200可以在上下方向上移动。例如，升降单元200可以沿着导轨竖直移动。升降单元200可以选择性地向下述的引导部600施加压力。通过升降单
元200，引导部600可以围绕下述的基部500旋转。可以提供多个升降单元200。例如，多个升降单元200可以靠近板组件30的左侧和右侧放置。升降单元200可以具有导线支撑突起200a和捕获支撑突起200b。
55.导线支撑突起200a可以支撑下述的导线420。导线支撑突起200a可以具有导线凹槽，导线420被捕获在导线凹槽中。导线凹槽可以是具有沿前后方向延伸的中心轴的环形凹槽。导线支撑突起200a可以具有朝向板组件30突出的形状。例如，与板组件30的右侧相邻放置的升降单元200的导线支撑突起200a可以向左突出。同样地，与板组件30的左侧相邻放置的升降单元200的导线支撑突起200a可以向右突出。
56.捕获支撑突起200b可以选择性地支撑下述的捕获部53。捕获支撑突起200b可以在与捕获部53接触的同时支撑捕获部53。换言之，当捕获支撑突起200b不与捕获部53接触时，捕获部53可以不被捕获支撑突起200b支撑。捕获支撑突起200b可以朝向板组件30突出。例如，与板组件30的右侧相邻放置的升降单元200的捕获支撑突起200b可以向左突出。同样地，与板组件30的左侧相邻放置的升降单元200的捕获支撑突起200b可以向右突出。
57.当导线420移动时，滚轮300可以减小施加到导线420的摩擦力。当导线420移动时，滚轮300可以在与导线420接触的同时引导导线420的移动。滚轮300可以被配置为在与导线420接触的同时旋转。例如，滚轮300可以具有滚轮凹槽300a，导线420被捕获在滚轮凹槽300a中，并且滚轮300可以在导线420与滚轮凹槽300a接触的同时旋转。滚轮凹槽300a可以是中心轴在左右方向上延伸的环状凹槽。滚轮凹槽300a的中心轴和导线凹槽的中心轴可以在不同的方向上延伸，以使它们彼此偏离。滚轮300可以围绕在左右方向上延伸的旋转轴旋转。滚轮300可以连接到水平支撑架110。滚轮300可以包括多个滚轮300。多个滚轮300可以设置为在左右方向上彼此间隔开。例如，多个滚轮300可以连接在后侧的沿左右方向延伸的水平支撑架110和左侧的沿前后方向延伸的水平支撑架110之间，以及后侧的沿左右方向延伸的水平支撑架110与右侧的沿前后方向延伸的水平支撑架110之间。
58.延伸单元400可以随着升降单元200上升或下降而延伸或收缩。例如，延伸单元400可以随着升降单元200的下降而延伸。因此，延伸单元400可以向升降单元200提供向上的恢复力。此外，延伸单元400可以随着升降单元200的上升而收缩。因此，延伸单元400可以向升降单元200提供向上的恢复力。延伸单元400可以包括弹性件410、导线420和支撑板430。
59.弹性件410可以为导线420提供恢复力。例如，当导线420远离弹性件410移动时，弹性件410可以向导线420提供恢复力，从而更靠近弹性件410。弹性件410的示例可以是压缩螺旋弹簧。弹性件410的一端可以固定到支撑板430的前部，其另一端可以相对于支撑板430移动。换言之，弹性件410的一端可为固定端，弹性件410的另一端可为自由端，其移动不受限制。导线420可以连接到弹性件410的另一端。例如，用于支撑两根导线420的多个孔可以形成在弹性件410的另一端。弹性件410可以在前后方向上延伸。
60.导线420可以在弹性件410的另一端和导线支撑突起200a之间延伸。例如，导线420可以向弹性件410的另一端施加向后的压力并且向导线支撑突起200a施加向上的压力，同时，导线420被拉紧在弹性件410的另一端和导线支撑突起200a之间。导线420可以插入滚轮凹槽300a中并在与滚轮300接触的同时移动。
61.支撑板430可以固定和支撑弹性件410的一端。支撑板430可以由设置在多个水平支撑架110的上侧的水平支撑架110支撑。支撑板430可以具有沿水平方向延伸的板状。
62.再次参考图2，送风部20可以向一个或多个板组件30供应流体或使流体流出一个或多个板组件30。送风部20可以使流体从前面向后流动。由送风部20移动的流体可以垂直于电子元件d的前表面和后表面。换言之，由送风部20移动的流体可以从前方向后引导，同时可以垂直于在板组件30的左侧表面和右侧表面之间沿左右方向延伸的假想直线。此外，由送风部20移动的流体可以垂直于支架10被容纳在腔室框架51中的方向。送风部20可以包括进口送风部20a和出口送风部20b，它们分别设置在前侧和后侧，同时与支架10间隔预定距离。
63.进口送风部20a可以沿朝向电子元件d的排列方向将流体引入板组件30。例如，进口送风部20a可以在支架10的前面与支架10间隔开。出口送风部20b可以使流体沿排列方向从板组件30流出。例如，出口送风部20b可以在支架10的背面与支架10间隔开。进口送风部20a和出口送风部20b可以以相同方式或不同方式配置。例如，进口送风部20a和出口送风部20b均可以包括送风机、送风机支架和管道。
64.送风机可使流体从前向后流动。送风机可以包括多个送风机。例如，多个送风机可以沿上下方向设置。然而，本发明的思想并不一定限于此，送风机可以设置在多个板组件30上方。此外，送风机可以设置在多个板组件30上方并且将流体供应到管道。
65.送风机支架可以支撑多个送风机。送风机支架可沿上下方向延伸。多个送风机可以固定设置在送风机支架中。管道可从送风机抽吸流体并将流体供应到多个板组件30。管道可以提供流动路径，从送风机供应的流体通过该流动路径流向板组件30。换言之，管道可以引导从送风机供应的流体被供应到板组件30。
66.板组件30可以提供安置多个电子元件d的空间，并且可以固定和支撑安置的电子元件d。此外，板组件30可以在支撑多个电子元件d的同时移动。板组件30可包括基部500、引导部600、板框700、铰链部810和820以及导气板900。
67.基部500可以提供安置电子元件d的部件。多个电子元件d可以在基部500上以网格图案水平排列。例如，多个电子元件d可以设置在基部500上，使得它们的前侧和后侧表面面向左右。换言之，被吸入板组件30的流体可以平行于电子元件d的前侧表面和后侧表面流动。基部500可以包括多个插座510和支撑多个插座510的基板520。
68.插座510可以以电子元件d沿垂直方向(即，直立位置)插入的方式配置。换言之，电子元件d可以沿电子元件d延伸相对较长的方向(本发明所述的上下方向)插入到插座510中。此外，可以提供多个插座510以将多个电子元件d安置在其中。多个插座510可以沿前后方向和左右方向排列成网格图案。
69.进一步参考图7，在多个插座510中，电子元件d可以不安置于排列在多个插座510的前侧和后侧之间的中心的至少一些插座510中。换言之，电子元件d可以不安置于多个插座510的中心沿左右方向排列的一排或多排插座510中。可以通过下述的穿孔900a来确认电子元件d未安置的状态。例如，电子元件d的安置状态可以通过穿孔900a用操作者的肉眼来确认，或者可以通过下述的高度传感器来检测。这样，可以通过穿孔900a确认电子元件d的安置状态。当电子元件d未安置于多个插座510的中心沿左右方向排列的一排或多排插座510中时，可以防止由于流体流动空间s中的流体流动中断而产生涡流，或者流体在流体流动空间s中停滞时流体的温度不均。
70.基板520可以是允许设置在插座510中的多个电子元件d彼此电连接的pcb基板。多
个插座510可以设置在基板520的上表面。基板520可以在前后方向和左右方向上延伸。
71.进一步参考图8至图11，引导部600可以引导流体在流体移动空间s内的移动。流体移动空间s可以是基部500和引导部600之间的空间。引导部600可以引导流体在各个板组件30的上侧中的运动。引导部600可以在前后方向和左右方向上延伸。例如，引导部600可以由当朝向与下侧相邻的基部500向下突出时，具有与设置在基部500中的多个插座510重叠的形状的构件形成。
72.引导部600可以与基部500向上间隔开。引导部600可以被配置为由驱动模块40上升或下降。引导部600可以被配置为使得第一距离h1等于或不同于第二距离h2。例如，前引导部610和第二引导部620中的至少一个可以上升或下降，使得第一距离h1等于或不同于第二距离h2。
73.此外，引导部600可以通过预定旋转轴连接以围绕预定旋转轴旋转，使得第一距离h1等于或不同于第二距离h2。例如，引导部600可以被配置为相对于支架10围绕预定旋转轴旋转，使得第一距离h1等于或不同于第二距离h2。
74.引导部600可由支架10支撑。引导部600可以可旋转地连接到支架10。例如，前引导部610可以连接到支架10的前侧以相对于支架10围绕预定旋转轴旋转。例如，引导部600可以围绕预定旋转轴旋转，使得引导部600的一侧远离或靠近基部500。这里，预定旋转轴在左右方向上延伸，并且可以设置在前引导部610或后引导部620中。例如，预定旋转轴可以包括在连接到前引导部610的前铰链部810或连接到后引导部620的后铰链部820中。
75.引导部600可以包括前引导部610和后引导部620。换言之，前引导部610是指引导部600的前侧(另一侧)，后引导部620是指引导部600的后侧(一侧)。
76.前引导部610可以被设置为与基部500的上表面隔开预定距离。前引导部610可以包括铰链捕获部分，该铰链捕获部分可以被捕获在前铰链部810的旋转轴上。铰链捕获部分可以从前引导部610的左侧和右侧向前突出。此外，铰链捕获部可以具有可被捕获在前铰链部810的旋转轴上的钩子的形状。前引导部610可以通过前铰链部810连接到支架10、腔室组件50和板框700之一的上侧和前侧。
77.后引导部620可以引导流出流体移动空间s的流体的移动。此外，后引导部620可以通过驱动模块40上升或下降。后引导部620可以在上下方向上移动。例如，当捕获支撑突起200b被向下按压时，后引导部620可以下降。此外，当释放施加到捕获支撑突起200b的压力时，后引导部620可以上升。后引导部620可以可旋转地连接到升降单元200。例如，后引导部620可以被配置为围绕由升降单元200提供的旋转轴旋转。
78.后引导部620可以被配置为围绕后铰链部820的旋转轴旋转。例如，当捕获支撑突起200b被向下按压时，后引导部620可以围绕后铰链部820的旋转轴旋转以更靠近基部500。另外，施加到捕获支撑突起200b的压力被释放，后引导部600可以围绕后铰链部820的旋转轴旋转以远离基部500。由升降单元200提供的旋转轴可以是例如在垂直于上下方向和前后方向的左右方向上延伸的假想直线。
79.若没有外力施加到后引导部620，则后引导部620可以由导线420支撑以设置在板组件30的上侧和后侧。后引导部620可以具有其中一部分(例如，左侧和右侧)进一步向后延伸的形状。
80.用于后引导部620的第二距离h2可以被调整为电子元件d的高度。例如，在将电子
元件d更换为高度较短的电子元件d的情况下，后引导部620可以下降，使得引导部600与电子元件d的顶部隔开预定距离。又例如，当电子元件d被替换为具有更高高度的电子元件d时，后引导部620可以上升，使得引导部600与电子元件d的顶部隔开预定距离。
81.然而，本发明的思想并不一定限于此，进一步参考图12至图15，前引导部610可以被配置为上升或下降。例如，前引导部610和后引导部620中的至少一个可以上升或下降以调整第一距离h1和第二距离h2之间的距离。在这种情况下，前引导部610可以在与辅助捕获部54接触的同时上升或下降。另外，前引导部610可以通过引导部600的旋转而上升或下降。
82.板框700可以支撑基部500。此外，板框700可以连接到基部500的上表面。板框700可以包括水平板框710和竖直板框720。
83.水平板框710可以保护排列在基部500上的电子元件d免受板组件30的外部影响。水平板框710可以沿着基部500的边缘水平延伸。例如，水平板框710可以在前后方向和左右方向上延伸。此外，水平板框710可以连接到竖直板框720。水平板框710可以包括下水平板框和上水平板框。
84.竖直板框720可以保护排列在基部500上的电子元件d免受板组件30的外部影响。竖直板框720可以从基部500的上表面朝向水平板框710在上下方向上延伸。可以提供多个竖直板框720。竖直板框720可以间隔开以对应于后侧的后引导部620的左右长度。例如，可以在基部500的后侧沿左右方向间隔开地排列多个竖直板框720。更具体地，两个竖直板框720可以设置在基部500后部的左侧，另外两个竖直板框720可以设置在基部500后部的右侧。位于基部500后部左侧的两个竖直板框720的下端可以连接到水平板框710，其上端可以向上开口。此外，竖直板框720中设置在基部500后侧右侧的两个竖直板框720的下端可以连接到下水平板框710，其上端可以向上开口。此外，竖直板框720的上端设置在两个竖直板框720的相对左侧，两个竖直板框720设置在基部500后侧的右侧，竖直板框720的上端可连接到上水平板框710，该竖直板框720的上端设置在两个竖直板框720的相对右侧，两个竖直板框720设置在基部500后侧的左侧。
85.在竖直板框720和下水平板框710之间可以形成一个或多个回避空间700a。当后引导部620上升或下降时，回避空间700a可以防止引导部600与板框700产生干扰。例如，后引导部620可以具有其左右端部进一步向后延伸的形状。后引导部620的左右端部的宽度可以小于下水平板框710的长度。
86.因此，即使在竖直的长电子元件安置在插座510中，同时由板框700竖立并从处理机(分选机)转移或通过推车从外部转移的状态下从外部施加不可预知的力，也可以保护电子元件免受损坏并保持在稳定的支撑状态。
87.前铰链部810可以为引导部600提供预定旋转轴。例如，前铰链部810可以邻近前引导部610设置并且为引导部600提供旋转轴。此外，前铰链部810可以被配置为通过驱动模块40与前引导部610一起上升或下降。此外，前铰链部810可以设置到前引导部610或后引导部620。例如，在前铰链部810设置到前引导部610并连接到支架10的前部的情况下，引导部600可以围绕支架10的前部旋转。
88.又例如，在前铰链部810设置到后引导部620并连接到支架10的后部的情况下，引导部600可以相对于支架10的后部旋转。优选地，前铰链部810可以设置到前引导部610。
89.导气板900可以防止进入板组件30的流体在左右方向上泄漏。换言之，导气板900
可以提供流体移动路径，来自板组件30的前部的大部分流体通过该流体移动路径流出到板组件30的后部。此外，导气板900和板框700可以提供开口部分o。导气板900可以包括第一导气板910和第二导气板920。
90.第一导气板910可以设置在基部500的一侧。第一导气板910的上端可以与板框700竖直间隔开。第一导气板910的下端可以靠近基部500的上表面设置。
91.此外，当从左侧或右侧观察第一导气板910和第二导气板920时，第一导气板910和第二导气板920可以具有不同的面积。例如，第一导气板910的上端与基部500之间的距离可以等于第二导气板920的上端与基部500之间的距离。此外，第一导气板910的下端与基部500之间的距离可以小于第二导气板920的下端与基部500之间的距离。换言之，第一导气板910的下端的高度可以小于第二导气板920的下端的高度。此外，第一导气板910可以设置为使得其下端不与基部500间隔开。
92.第二导气板920可以设置在基部500的另一侧。例如，第二导气板920可以设置在第一导气板910的相对侧。第二导气板920可以设置为面向第一导气板910。第二导气板920可以与基板端子向上间隔开以防止在包括在基部500中的基板端子处发生短路。
93.第一导气板910沿上下方向延伸的长度可以长于第二导气板920沿上下方向延伸的长度。此外，第一导气板910的上端的高度可以与第二导气板920的上端的高度相同。例如，第一导气板910的上端与水平板框710之间的间隔距离可以与第二导气板920的上端与水平板框710之间的间隔距离相同。
94.开口部分o可以包括第一开口部分o1和第二开口部分o2。第一开口部分o1可以设置在第一导气板910的上端和板框700之间。第一开口部分o1可以防止从前向后供应的流体积聚在流体移动空间s中。更具体地，第一开口部分o1可以防止由于流体滞留在流体流动空间s中而产生涡流或流体从后向前倒流。
95.第二开口部分o2可以设置在第一导气板910的下端和基部500之间。基板端子可以通过第二开口部分o2暴露。此外，第二开口部分o2可以具有预定高度以防止导气板900与基板端子或设置在基板端子周围的半导体器件接触。
96.此外，导气板900可具有多个在前后方向上彼此间隔开的穿孔900a。通过穿孔900a，操作者可以检查安置在基部500上的多个电子元件d的状态。多个穿孔900a可以在前后方向上设置成一排。设置成一排的多个穿孔900a可以具有比电子元件d的上端更低的高度。换言之，即使电子元件d的高度降低，操作者也可以通过穿孔900a检查电子元件d的状态。
97.多个穿孔900a可以设置成多排。例如，多个穿孔900a可以在上下方向和前后方向上彼此间隔开。例如，通过在上下方向上形成的穿孔900a，操作者可以检查具有不同高度的电子元件d的排列状态。此外，通过在前后方向上形成的穿孔900a，操作者可以检查电子元件d是否在前后方向上倾斜(它们是否被不当安置)。
98.又例如，设置在腔室组件50中的缺陷检测传感器(图未示)可以通过穿孔900a检测电子元件d是否在前后方向上倾斜(它们是否被不当安置)。
99.又例如，腔室组件50还可以包括用于测量电子元件d的高度的高度传感器。电子元件d的高度可以定义为安置在基部500上的电子元件d的上端与基部500之间的距离。
100.可以提供多个板组件30。多个板组件30可以沿上下方向设置。多个板组件30可以
通过连接到支架10而被固定支撑。板组件30可以包括第一板组件31和第二板组件32。
101.第一板组件31可以设置在第二板组件32上方。此外，第二板组件32的引导部600可以设置在第一板组件31的基部500下方。换言之，第一板组件31和第二板组件32可以在上下方向上彼此间隔开。第二板组件32的引导部600可以被配置为围绕第一板组件31的基部500旋转。此外，第二板组件32的前引导部610可以设置在第一板组件31的底部和第二板组件32的顶部之间。
102.驱动模块40可以驱动送风部20。此外，驱动模块40可以驱动下述的驱动轴52。驱动模块40可以包括升降驱动器41和旋转驱动器42。升降驱动器41可使驱动轴52沿上下方向移动。例如，升降驱动器41可以使包括在驱动轴52中的第一驱动轴52-1沿上下方向移动。另外，升降驱动器41可以使下述的辅助驱动轴55上下移动。升降驱动器41的示例可以是制动器。
103.旋转驱动器42可以包括第一旋转驱动器42-1和第二驱动器42-2，该第一旋转驱动器42-1可以使包括在驱动轴52中的第二驱动轴52-2围绕在上下方向上延伸的旋转轴旋转，该第二驱动器42-2可以使第一驱动轴52-1围绕在上下方向上延伸的旋转轴旋转。
104.腔室组件50可以提供用于容纳支架10的容纳空间。支架10可以选择性地从腔室组件50的容纳空间中拆卸。例如，支架10可以手动或自动地保持在腔室框架51提供的容纳空间中或从腔室框架51提供的容纳空间中拆卸。腔室组件50可以包括腔室框架51、驱动轴52、捕获部53、辅助捕获部54、辅助驱动轴55和支架保持器56。
105.腔室框架51可以支撑驱动轴52、捕获部53、辅助捕获部54和辅助驱动轴55。腔室框架51可以支撑保持在容纳空间中的支架10。腔室框架51可以具有腔室滚轮，该腔室滚轮允许支架10滑入并保持在容纳空间中。通过腔室滚轮，可以减小当支架10容纳在容纳空间中时施加到支架10的摩擦力。
106.驱动轴52可以包括第一驱动轴52-1和第二驱动轴52-2。第一驱动轴52-1可以在上下方向上被驱动或围绕在上下方向上延伸的旋转轴旋转。第一驱动轴52-1可以连接到腔室框架51以靠近腔室框架51的边缘。
107.第二驱动轴52-2可以被驱动以围绕在上下方向上延伸的旋转轴旋转。第二驱动轴52-2可以连接到腔室框架51以靠近腔室框架51的边缘。第二驱动轴52-2可以在前后方向上与第一驱动轴52-1间隔开。
108.捕获部53可以连接到第一驱动轴52-1并与第一驱动轴52-1一起移动。例如，当第一驱动轴52-1在上下方向上被驱动时，捕获部53可以与第一驱动轴52-1一起在上下方向上移动。捕获部53可以通过向下移动来向捕获支撑突起200b施加向下的压力，或者可以通过向上移动来释放捕获支撑突起200b上的压力。当第一驱动轴52-1被驱动旋转时，捕获部53可以与第一驱动轴52-1一起旋转。例如，当支架保持器56处于可拆卸状态时，第一驱动轴52-1可以被驱动旋转，使得捕获部53朝向偏离前后方向的方向。此外，当支架保持器56处于防拆卸状态时，第一驱动轴52-1可以被驱动旋转，使得捕获部53朝向与前后方向平行的方向。
109.可拆卸状态可以指支架10可从腔室组件50拆卸的状态。防拆卸状态可以指在支架10安装到腔室组件50时，通过施加到老化室设备1的外力或振动防止支架10从腔室组件50拆卸的状态。
110.即使未进行图示，也可以设置多个捕获部53。多个捕获部53可以被排列成在上下方向上彼此间隔开，且其数量可以对应于捕获支撑突起200b的数量。
111.辅助捕获部54可以连接到辅助驱动轴55并与辅助驱动轴55一起移动。例如，当辅助驱动轴55在上下方向上被驱动时，辅助捕获部54可以与辅助驱动轴55一起在上下方向上移动。辅助捕获部54可以通过向下移动来向前引导部610施加向下的压力，并通过向上移动释放前引导部610上的压力。
112.支架保持器56可以连接到第二驱动轴52-2并与第二驱动轴52-2一起旋转。当支架10被安装到腔室组件50时，支架保持器56可以通过旋转到与支架10的一侧相邻的位置而被置于防拆卸状态。此外，在将支架10安装到腔室组件50之前或在将支架10从腔室组件50拆卸时，支架保持器56可以通过旋转远离支架10而被置于可拆卸状态。支架保持器56可以设置在腔室框架51的左侧或右侧。可以提供多个支架保持器56。例如，多个支架保持器56可以设置在腔室框架51的左侧或右侧，同时在前后方向上彼此隔开。支架保持器56可以是将多个板组件30的端子同时连接到腔室组件50的连接插座的连接器。
113.控制器60可以控制升降驱动器41、第一旋转驱动器42-1和第二旋转驱动器42-2。此外，控制器60可以基于缺陷检测传感器的检测结果来确定是否执行老化测试。例如，当缺陷检测传感器检测到电子元件d被不当安置时，控制器60可以中断驱动模块40的操作。此外，控制器60可以基于高度传感器的检测结果来控制驱动模块40调整引导部600的旋转角度。控制器60可以由包括微处理器的计算设备来实现，其实现方法对于本领域技术人员来说是显而易见的，因此将省略对其的进一步描述。
114.在下文中，将描述根据本发明实施例的老化室设备1的操作和效果。
115.老化室设备1可以将支架10安装到腔室组件50上，在该支架10上安置有老化测试所需的多个电子元件d。支架10可以在被运输工具(例如，推车)支撑的同时向腔室组件50移动。
116.随着支架10越来越靠近腔室组件50，设置在腔室组件50上的腔室门(图未示)被打开，并且支架保持器56旋转，从而使腔室组件50面对支架10完全打开。之后，在腔室组件50的打开状态下，支架10被容纳在腔室组件50的容纳空间中，从而可以将支架10安装到腔室组件50上。
117.一旦支架10被安装到腔室组件50上，支架保持器56可以旋转，使得支架保持器56与支架10的左侧或右侧相邻。通过支架保持器56的旋转，支架保持器56可以被置于防拆卸状态。之后，可以关闭腔室门。
118.一旦腔室门关闭，捕获部53可以被驱动以朝向平行于排列方向的方向，使得捕获部53被设置为面对捕获支撑突起200b。捕获部53可以被驱动而向下移动同时面对捕获支撑突起200b，从而使升降单元200下降并因此调整后引导部620的高度。另一方面，捕获部53可以不向下移动。此外，随着电子元件d的高度减小，优选地，后引导部620的高度减小，进一步地，前引导部610的高度也可以减小。然而，前引导部610的高度可以大于或等于后引导部620的高度。
119.当调整引导部600的高度时，可以驱动送风部20对电子元件d进行老化测试。
120.由于引导部600是根据匹配电子元件d的高度来驱动的，因此老化室设备1可以为不同类型的电子元件d创造相同的温度条件而无需更换零件，从而免除了更换零件的麻烦。
121.以上，将本发明的示例作为具体实施例进行了说明，但这些仅为示例，本发明不限于此，根据本说明书所揭示的技术思想，其应被解释为具有最广泛的范围。本领域技术人员可以通过组合/替换所公开的实施例来实现未揭示的形状的图案，这并不脱离本发明的范围。此外，本领域技术人员可以很容易地根据本说明书对所公开的实施例进行变更或修改，显然这样的变更或修改均属于本发明的范围之内。
技术特征：1.一种支架，其特征在于，包括：支撑架；升降单元，被配置成可相对于所述支撑架上下移动；以及延伸单元，当所述升降单元向下移动时，所述延伸单元向所述升降单元施加向上的恢复力。2.一种板组件，其特征在于，包括：基部，其提供一空间，其中电子元件在预定的排列方向上排列；板框，所述板框支撑所述基部；以及引导部，被配置成沿平行于所述排列方向的方向引导施加到排列在所述基部上的所述电子元件的流体的流动，所述引导部的一侧被配置成可相对于所述板框上下移动，其中，所述板框具有一回避空间，所述回避空间在所述引导部的所述一侧上下移动时防止所述引导部的所述一侧与所述板框产生干扰。3.一种老化室设备，其特征在于，包括：腔室组件；支架，所述支架可拆卸地安装至所述腔室组件；以及一个或多个板组件，所述板组件由所述支架支撑，其中，每个所述板组件包括：基部，其提供一空间，其中电子元件在预定的排列方向上排列；板框，所述板框支撑所述基部；以及引导部，被配置成沿平行于所述排列方向的方向引导施加到排列在所述基部上的所述电子元件的流体的流动，所述引导部被配置成相对于所述基部旋转，其中，所述支架包括升降单元，所述升降单元向上或向下按压所述引导部以使所述引导部旋转。4.如权利要求3所述的老化室设备，其特征在于，所述腔室组件包括：腔室框架；驱动轴，包括第一驱动轴，所述第一驱动轴设置在所述腔室框架的边缘附近并被配置为上下驱动或围绕在上下方向上延伸的旋转轴旋转；以及捕获部，连接至所述第一驱动轴，其中，所述升降单元具有捕获支撑突起，所述捕获支撑突起通过所述捕获部的按压使所述升降单元下降，并且在偏离所述排列方向和上下方向的方向上突出，所述引导部的一侧可旋转地连接至所述升降单元，并且当所述第一驱动轴被向下驱动时，所述引导部的一侧通过施加到所述捕获支撑突起的压力而下降。5.如权利要求4所述的老化室设备，其特征在于，所述引导部的所述一侧被配置为相对于由所述升降单元提供的第一旋转轴旋转，并在垂直于所述排列方向和上下方向的方向上延伸，所述引导部被配置为围绕第二旋转轴旋转，所述第二旋转轴设置在与所述一侧相对的另一侧，并垂直于所述排列方向和上下方向延伸。6.如权利要求5所述的老化室设备，其特征在于，所述引导部的所述另一侧被配置为相对于所述基部上下移动，并且所述引导部的所述另一侧下降的距离小于所述引导部的所述
一侧下降的距离。7.如权利要求5所述的老化室设备，其特征在于，当所述第一驱动轴下降时，所述引导部的所述一侧围绕所述第二旋转轴旋转以靠近所述基部，并且当下降的所述第一驱动轴上升时，所述引导部的所述一侧围绕所述第二旋转轴旋转以远离所述基部。8.如权利要求4所述的老化室设备，其特征在于，所述驱动轴还包括第二驱动轴，所述第二驱动轴被配置为围绕沿上下方向延伸的旋转轴旋转，所述腔室组件还包括支架保持器，所述支架保持器连接至所述第二驱动轴并与所述第二驱动轴一起旋转，从而将所述支架置于可将所述支架从所述腔室组件拆卸的可拆卸状态或置于防止安装到所述腔室组件的所述支架从所述腔室组件拆卸的防拆卸状态。9.如权利要求8所述的老化室设备，其特征在于，所述第一驱动轴被驱动，使得当所述支架保持器处于所述可拆卸状态时，所述捕获部朝向偏离所述排列方向的方向，以及当所述支架保持器处于所述防拆卸状态时，所述捕获部朝向平行于所述排列方向的方向。10.如权利要求3所述的老化室设备，其特征在于，所述支架还包括延伸单元，当所述升降单元向下移动时，所述延伸单元向所述升降单元施加向上的恢复力。11.如权利要求10所述的老化室设备，其特征在于，所述延伸单元包括：支撑板，连接到所述支架的上部；弹性构件，其一端固定于所述支撑板的前侧，另一端被配置成可相对于所述支撑板移动；以及导线，连接至所述弹性构件的所述另一端，其中，所述升降单元具有导线支撑突起，所述导线支撑突起支撑所述导线并在偏离所述排列方向和上下方向的方向上突出，所述导线在所述弹性构件的所述另一端和所述导线支撑突起之间延伸。12.如权利要求11所述的老化室设备，其特征在于，所述支架还包括：支撑架，用于支撑所述板组件；以及滚轮，可旋转地连接至所述支撑架的上侧以围绕所述支撑架旋转，其中，当所述滚轮与所述导线接触，在所述导线移动时，所述滚轮引导所述导线的移动。13.如权利要求3所述的老化室设备，其特征在于，每个所述板组件还包括导气板，所述导气板引导所述流体的流动，使得所述流体沿所述排列方向流动，其中，所述导气板与所述基部间隔开并沿所述排列方向延伸，所述导气板包括设置在所述基部两侧的多个导气板，其中，所述多个导气板包括设置在所述基部的一侧的第一导气板和设置在与所述基部的所述一侧相对的另一侧的第二导气板，所述第一导气板的下端与所述基部之间的垂直距离小于所述第二导气板的下端与所述基部之间的垂直距离。14.如权利要求3所述的老化室设备，其特征在于，还包括：送风部，沿所述排列方向产生流体的流动，其中，所述送风部包括：进口送风部，与所述支架间隔开，以沿朝向所述电子元件的所述排列方向将所述流体
引入所述板组件；以及出口送风部，放置在与所述支架间隔开的位置，以沿所述排列方向将所述流体排出所述板组件。
技术总结本发明涉及一种老化室设备，包括：腔室组件；支架，所述支架可拆卸地安装至所述腔室组件；以及一个或多个板组件，所述板组件由所述支架支撑。每个所述板组件包括：基部，其提供一空间，其中电子元件在预定的排列方向上排列；板框，所述板框支撑所述基部；以及引导部，被配置成沿平行于所述排列方向的方向引导施加到排列在所述基部上的所述电子元件的流体的流动，所述引导部被配置成相对于所述基部旋转。所述支架包括升降单元，所述升降单元向上或向下按压所述引导部以使所述引导部旋转。下按压所述引导部以使所述引导部旋转。下按压所述引导部以使所述引导部旋转。
技术研发人员：罗闰成 郑石 金敃秀 卢种基 孙昇杓
受保护的技术使用者：泰克元有限公司
技术研发日：2022.04.27
技术公布日：2022/11/1
