1.本发明涉及一种用于容纳和运输基板的基板载体、包括此种基板载体的更换站以及用于处理基板的方法。
背景技术：2.在多种工业过程中，以多种方式(例如涂覆)处理基板，例如像玻璃板、晶片等。为了将基板移动到不同的处理站，通常使用基板载体来容纳和运输基板(或多个基板)。在一些过程中，例如像涂覆，清楚地限定且精确地维持基板相对于基板载体的取向可能是至关重要的。一方面由于基板的任何公差，或者另一方面由于温度问题(如果基板载体和基板膨胀到不同程度，在特定处理步骤期间出现的加热问题)可能导致出现问题。
3.因此，在现有技术中已经描述了用于在基板载体中定心基板的各种装置，例如参见us 2014/0077431 a1和jp 2010-103226 a。然而，其中描述的定心装置具有某些缺点。例如，us 2014/0077431 a1提出将基板夹在弹簧加载的突起和定位销之间，这意味着基板仅可能不对称地膨胀(例如在加热期间)，即仅在弹簧的方向上膨胀。虽然jp 2010-103226 a允许在这方面进行对称操作，但提供用于定心的力是基于基板的重力，这具有几个缺点。一方面，确切的竖直位置取决于基板宽度，这导致在对应公差的情况下定位不准确。另一方面，当提起基板时，一定的横向摩擦力将总是有效的，这是不期望的。
技术实现要素：4.因此，本发明的一个目的是提供一种在这方面得到改进的用于容纳和运输基板的基板载体。此目的由根据权利要求1的基板载体实现。
5.根据本发明的基板载体包括定心装置，所述定心装置适于沿着第一轴线定心基板，其中定心装置包括两个彼此相对的向内预加载的弹簧。两个彼此相对的弹簧的提供能够实现对称定心，即使在基板载体和基板的不同的温度和不同的膨胀特性下，这也确保了基板相对于基板载体的定心。此外，向内预加载的弹簧实现与基板的重量无关的限定的定心力。
6.根据本发明的基板载体适于容纳和运输任何基板。然而，具有至少1m2的面积和优选地小于5mm并且特别优选地小于3mm的厚度的大面积玻璃基板是特别优选的。
7.根据本发明的基板载体不限于使单个基板在基板载体中定心。基板载体可适于容纳多个基板，然后包括多个所描述的定心装置和/或锁定装置。
8.关于力的对称作用，两个彼此相对的向内预加载的弹簧优选地布置在平行于第一轴线的直线上。第一轴线进而优选地平行于容纳在基板载体中的基板的侧边缘并且优选地基本上水平地定向。
9.原则上，任何弹簧都可以用于定心装置，其中优选地，两个彼此相对的弹簧具有相同的弹簧刚度。弹簧优选地包括被设置来与基板接触的接触区域，其中接触区域具有至少5mm、优选地至少10mm、并且特别优选地至少20mm的曲率半径。不言而喻，由于接触区域的所
述曲率，并非整个接触区域都可以与基板接触。相反，根据基板的大小和弹簧的弹压位置，只有极小部分的接触区域(例如，接触点或接触线)将与基板接触。因此，术语接触区域是指在不同的基板大小和不同的弹压位置的情况下，实际上可以与基板接触的弹簧部分。
10.在相应的处理步骤期间，基板通过相对的弹簧被夹持在基板载体中并且通过两个弹簧的弹压力被保持在定心的位置。然而，为了能够将基板插入基板载体中，弹簧的接触区域应当相对于接触位置向外移动，以便为基板的插入留出足够的间隙。为此，特别优选的是，弹簧中的每个弹簧包括用于第一移动元件的容纳区域，并且弹簧可通过第一移动元件向外移动。移动元件可以是下面详细描述的更换站的一部分，并且通过更换站可以优选地自动地打开和闭合弹簧。
11.根据本发明，基板载体还可以包括容纳在基板载体中的基板。在基板厚度方向(即，垂直于基板表面)上的接触区域中，弹簧优选地具有大于基板的厚度的延伸部。因此，例如，在温度变化期间基板的变形可以被补偿，因为相应弹簧的接触区域仍然可以与向上或向下弯曲的基板接触并且因此确保定心。优选地，接触区域的延伸部和基板的厚度之间的比率至少为1.5，并且特别优选地至少为2。优选地，弹簧在基板厚度方向上的接触区域中的延伸部至少为2mm，并且优选地至少为3mm。
12.取决于过程，基板可以在根据本发明的基板载体中不同地定向。根据第一变体，基板在基板载体中基本上竖直地定向，其中基板在其平行于第一轴线延伸的下边缘处搁置在基板载体上。就这一点而言，基本上竖直的取向不仅包括直接竖直的布置，而且还包括相对于完全竖直的取向略微倾斜(即至多+/-10
°
)的布置。换句话讲，容纳在基板载体中的基板(或其表面)可以相对于水平面呈现80
°
和100
°
之间的角度。由于基板在其下边缘处搁置在基板载体上，在基板的下边缘和基板载体之间存在静摩擦力。优选的是，基板沿着第一轴线2mm、优选地1mm、并且特别优选地0.5mm的偏心产生大于所述静摩擦力的两个弹簧到基板上的合力。因此，如果基板从相对于基板载体定心的位置偏移对应的偏移量(例如，因为加热期间基板载体和基板的不同膨胀导致基板在基板载体中的不对称定位)，两个弹簧的弹压力产生足以克服基板和基板载体之间的静摩擦力的合力，并且因此将基板移回其定心的位置。优选的是，静摩擦系数小于0.2、优选地小于0.15、并且特别优选地小于0.1。
13.如果根据本发明的基板载体例如用作涂覆过程的一部分，则进一步优选的是，基板载体包括用于部分覆盖基板的掩模，其中掩模优选地是基板载体的整体部分。如果存在这种掩膜，则基板相对于基板载体(然后也相对于掩膜)的定心是特别重要的，因为原本太大或太小的边缘可能被基板的边缘区域中的掩膜覆盖。
14.此外，可以在基板载体处设置多个锁定装置，其适于将基板以形状配合且无力的方式保持在基板载体中。优选地，在基板的每个边缘上提供至少一个这种锁定装置。
15.为了使基板不仅沿着第一轴线并且相对于优选地彼此垂直布置的两个轴线定心，基板载体优选地包括适于沿着第二轴线定心基板的另外的定心装置，其中另外的定心装置包括两对彼此相对的向内预加载的弹簧。优选地，另外的定心装置及其弹簧包括与上文关于第一定心装置及其弹簧所讨论的相同的特征。然而，优选的是，与第一定心装置不同，另外的定心装置包括两对彼此相对的向内预加载的弹簧，即总共四个弹簧。这是为了防止基板相对于基板载体扭曲或倾斜。当基板在基板载体中基本上水平地定向时，提供包括总共六个弹簧的两个定心装置是特别有利的，其中基板在其侧边缘处搁置在基板载体上。同样，
不需要完美的水平取向，但可以容忍与水平取向最大20
°
的偏差。
16.类似于上文所讨论的竖直取向，在水平取向的情况下，在基板的侧边缘和基板载体之间存在静摩擦力，其中优选地，基板沿着第一轴线或第二轴线2mm、优选地1mm、并且特别优选地0.5mm的偏心产生大于静摩擦力的相应弹簧到基板上的合力。同样，静摩擦系数优选地小于0.2、更优选地小于0.15、并且特别优选地小于0.1。
17.本发明还涉及具有如上所述的基板载体的更换站。更换站适于更换基板载体中的基板，即，将基板插入基板载体中并且在相应处理之后将它们从基板载体中移除。如上所述，优选地，弹簧中的每个弹簧包括用于第一移动元件的容纳区域。因此，更换站包括适于使弹簧向外移动的两个或更多个第一移动元件。这优选地例如借助于更换站的致动器自动完成。
18.此外，更换站可以包括多个锁定装置，所述多个锁定装置适于以形状配合且无力的方式将基板保持在基板载体中。所述锁定装置也可以例如借助于致动器优选地自动地移动。
19.本发明还涉及一种处理基板的方法。根据本发明，首先将基板优选地借助于上述更换站插入如上所述的基板载体中。随后，当基板在基板载体中时，对基板进行处理，例如加热、清洁、抛光、涂覆、加载等。
20.在将基板插入基板载体中之前，定心装置的弹簧优选地自动地向外移动。如果基板载体包括上述锁定装置，所述锁定装置适于以形状配合且无力的方式将基板保持在基板载体中，则在将基板插入基板载体中之前，锁定装置优选地优选地自动地打开。在这种状态下，即，在锁定装置打开并且弹簧向外移动的情况下，基板可以毫无问题的插入基板载体中。在插入基板之后，定心装置的弹簧然后向内优选地自动地移动，并且根据具体情况，锁定装置优选地自动地闭合。然后将基板以形状配合且无力的方式保持在基板载体中，并通过定心装置的弹簧定位在中心位置。然后可以在这种状态下对基板进行处理。
21.在处理步骤(或，如果适用的话，多个处理步骤)之后，再次从基板载体移除基板。基板的插入和移除都优选地通过上文所讨论的更换站来执行。
22.类似于插入过程，定心装置的弹簧在移除基板之前优选地自动地向外移动，并且在移除基板之前，任选的锁定装置优选地自动地打开。
23.如上所述，当基板载体和基板在加热或冷却期间表现不同时，本发明特别有利。因此优选的是，在引入基板和处理基板之间和/或在处理基板期间，将基板载体和/或基板从第一温度加热到第二温度。就这一点而言，第一温度优选地在低于100℃、更优选地低于80℃、并且特别优选地低于70℃的范围内，并且第二温度优选地在高于120℃、更优选地高于150℃、并且特别优选地高于180℃的范围内。
24.在将基板插入基板载体和处理基板之间和/或在处理基板期间，优选地，优选地通过多个锁定装置将基板以形状配合且无力的方式优选地自动地保持在基板载体中。
25.根据第一变体，在处理步骤期间以及优选地还在将基板插入基板载体期间和/或在从基板载体移除基板期间，基板可以基本上竖直地定向。在这种情况下，定心装置优选地位于基板的下半部并且特别优选地位于基板的下三分之一处。进一步优选的是，在将基板插入基板载体的步骤期间和/或从基板载体移除基板的步骤期间，在基板和基板载体之间基本上不存在摩擦力作用。例如，这可以通过以下方式实现：在将基板插入基板载体中期
间，以相对于由基板载体限定的平面倾斜的方式将基板插入基板载体中，使得首先基板的下边缘搁置在基板载体的下侧上，随后基板优选地无摩擦地倾斜到基板载体的平面中。这优选地通过机器人来完成。基板相对于由基板载体限定的平面的相对较小的倾斜就足够了，例如至少1
°
、优选地至少5
°
或特别优选地至少15
°
的角度。类似地，优选的是，在从基板载体移除基板期间，首先将基板从由基板载体限定的平面倾斜出，使得仅基板的下边缘搁置在基板载体的下侧上，并且随后基板在倾斜状态下优选地无摩擦地被移除。这也优选地通过机器人来完成。
附图说明
26.以下将参考附图更详细地解释本发明，在附图中：
[0027]-图1示出了根据优选实施方案的本发明的基板载体的俯视图；
[0028]-图2示出了根据优选实施方案的本发明的定心装置的处于打开位置的弹簧；
[0029]-图3示出了图2的处于闭合位置的弹簧；
[0030]-图4示出了根据优选实施方案的本发明的基板载体的横截面图；
[0031]-图5示出了图4的详细视图；
[0032]-图6示出了类似于图5但具有基板偏移的视图；
[0033]-图7示出了根据另外的优选实施方案的本发明的基板载体的俯视图；
[0034]-图8示出了根据优选实施方案的本发明的更换站的定心装置的移动元件的透视图；
[0035]-图9示出了根据优选实施方案的用于更换站的锁定装置的移动元件的透视图；
[0036]-图10示出了穿过根据优选实施方案的基板载体中的基板的竖直横截面；
[0037]-图11示出了在移除期间穿过图10的基板的竖直横截面。
具体实施方式
[0038]
图1以俯视图示出了根据本发明的基板载体1的优选实施方案。基板2已经容纳在基板载体1中，所述基板2通过多个锁定装置4以形状配合且无力的方式保持在基板载体1中。尽管在所示实施方案中描绘了十个锁定装置4，但应当理解，也可以在其他对称或不对称布置中提供更少或更多的锁定装置。基板载体1还包括定心装置，所述定心装置适于沿着第一轴线定心基板，其中定心装置包括两个彼此相对的向内预加载的弹簧3。
[0039]
在所示的优选实施方案中，基板2在基板载体1中基本上竖直地定向，使得基板2在其下边缘处搁置在基板载体1上，所述下边缘平行于两个弹簧3之间的第一轴线延伸。在此种布置中，基板2相对于基板载体1的竖直取向实际上通过基板2在其下边缘处搁置在基板载体上来限定。定心只发生在水平方向上，即沿着在两个弹簧3之间延伸的第一轴线。为此目的，在基板2的相应竖直侧边缘处需要彼此相对的至少两个弹簧3，优选地，每个弹簧相对于基板2的下边缘布置在相同的高度处。优选地，定心装置的弹簧3位于下边缘附近，如图1所示。这使得力能够在基板2的下部区域中起使其定心作用。然而，弹簧也可以设置得更靠上。此外，还可以提供两对或更多对彼此相对的弹簧。
[0040]
在图2和图3中，详细示出了图1的两个定心弹簧3中的右侧一个定心弹簧，一次处于打开位置(参见图2)，并且一次处于闭合位置(参见图3)。弹簧3包括安装在两个安装件7
上的弯曲弹簧元件6。所述弹簧元件6包括接触区域6a，所述接触区域被设置来与基板2在其侧边缘处接触。如图2所示，所述接触区域具有曲率，其曲率半径优选地为至少5mm。在所描绘的优选实施方案中，弹簧元件6的可移动端部在接触区域6a的区域中以环或钩的形式终止，所述环或钩包括或形成用于第一移动元件9a的容纳区域。所述第一移动元件9a可以是更换站的一部分，这将在下文中解释。在所描绘的实施方案中，第一移动元件9a本质上是可以插入弹簧元件6的环或曲线或钩中的销。在图2所示的打开弹簧位置，弹簧元件6通过所述销9a克服其预负载保持在向外或向右偏转的位置，使得接触区域6a不接触基板2的侧边缘。在弹簧3的此位置，基板2可以容易地插入基板载体中或从基板载体移除，而不与弹簧3相互作用。
[0041]
一旦基板2被插入基板载体1中，销9a沿着细长孔8在圆形路径上向左移动(参见图3)，使得弹簧元件6由于其预负载向内或向左弹起并且接触区域6a与基板2的侧边缘接触。为了确保弹簧元件6不会被卡住或扭曲，可以设置第二移动元件9b，所述第二移动元件与第一移动元件9a一起沿着弯曲的细长孔8移动，并且在所描绘的优选实施方案中，压到从外部打开弹簧元件6的环或钩上，以将弹簧元件6移动到图3所示的位置。随后，可以将两个销9a和9b从弹簧3的对应容纳区域移除，因为弹簧元件6现在仅由于其预负载而作用在基板2的侧边缘上。
[0042]
在图3中，示出了下述情况，其中弹簧3的弹簧元件6的接触区域6a刚好与基板2的侧边缘接触，而未对基板2施加很大的力的情况，因为弹簧元件6的可移动端部在图3所描绘的位置靠在挡块14之上。然而，从图3所描绘的位置开始，如果基板2现在沿着第一轴线(即此处在水平方向上)膨胀(或基板载体1相应地收缩)，则基板2的右侧边缘将向外或向右推动弹簧元件6的接触区域6a，使得弹簧元件6不再靠在挡块14之上。然后由弹簧元件6施加到基板2的侧边缘上的弹压力(以及相对的弹簧元件对应力)然后将确保基板2在基板载体1中的对称或定心的布置。
[0043]
在图8中，用于打开和闭合弹簧的更换站的对应的致动器11以透视图示出，所述更换站未进一步示出并且本身是已知的。致动器11设置有两个移动元件，其中第一移动元件10a清晰可见。所述第一移动元件10a通过弯曲的细长孔8突出到由弹簧元件6在接触区域6a的区域中形成的环中，如先前参考图2和图3所讨论的。如上所述，致动器11致使两个移动元件或销沿着细长孔8移动。另外的致动器(未示出)可以将两个移动元件从弹簧的对应的容纳区域9a和9b缩回。
[0044]
可以提供对应的致动器13和对应的接合元件或销12a和12b来打开和闭合锁定装置4(参见图9)。为了通过销12a和12b打开和闭合，致动器13移动图9所示的锁定环4a，所述锁定环固定基板例如以防止从基板载体倾翻出。
[0045]
图4示出了根据图1的基板载体沿着第一轴线的截面图。如那里可以清楚地看到的，基板2在其侧边缘处靠在基板载体1之上，并且基板2的两个相对的(这里是竖直的)侧边缘与两个弹簧3的弹簧元件6的接触区域6a接触。
[0046]
图5示出了左侧弹簧3的放大细节，其中可以清楚地看到基板2的左侧边缘直接靠在弹簧3的接触区域6a之上。优选的是，在垂直于基板表面的接触区域6a中，弹簧3的延伸或厚度d1显著大于基板的厚度d2。如已经解释的，d1和d2之间的比率优选地至少为1.5，并且特别优选地为至少为2。
[0047]
此特征的优点可以在图6中看出，图6类似于图5，然而，其中基板2在这里向下偏移了偏移量v，这例如可以由基板的曲率引起。由于厚度d1大于厚度d2，此时基板2的外缘仍靠在弹簧3的接触区域6a之上，使得仍可保证弹簧3的定心。
[0048]
根据本发明的基板载体使得能够即从基板载体无摩擦地移除基板，这将参考图10和图11的示意性横截面图进行解释。图10示出了根据优选实施方案的穿过基板载体1中的基板2的竖直横截面，其中基板2在其下边缘2a处搁置在基板载体1上。在所示的优选实施方案中，基板载体在接触表面区域中包括条带15，所述条带由具有低静摩擦系数的材料制成的，以便使基板和基板载体之间的静摩擦力最小化。在图10所示的情况下，基板通过锁定装置4的锁定环4a(也参见图9)被固定以防止从基板载体倾翻出。图9所示的致动器13现在向下移动锁定环4a以打开锁定装置4(参见图11)。在这种状态下，基板现在可以首先从由基板载体限定的(这里：竖直)平面优选地通过机器人倾斜出，使得仅基板2的下边缘2a搁置在基板载体的下侧15上，如图11所示。随后，可以在倾斜状态下优选地无摩擦地移除基板。以类似的方式，基板可以无摩擦地插入基板载体中。
[0049]
代替基板的竖直取向，基板也可以在基板载体中基本上水平地定向，如图7示例性所示。然而，在这种情况下，优选的是，除了第一定心装置的两个弹簧3之外，还提供具有彼此相对的两对向内预加载的弹簧23的另外的定心装置，所述另外的定心装置适合于沿着垂直于第一轴线的第二轴线定心基板。图7中弹簧3和23的布置是示例性的，然而，其中对称布置是优选的。
[0050]
在所示的优选实施方案中，弹簧被配置为板簧。然而，在本发明的上下文中也可以使用其他类型的弹簧。然而，优选的是，弹簧可以通过简单地夹上而容易地组装和拆卸。
技术特征：1.一种用于容纳和运输基板的基板载体，其中所述基板载体包括定心装置，所述定心装置适于沿着第一轴线定心所述基板，其中所述定心装置包括两个彼此相对的向内预加载的弹簧。2.如权利要求1所述的基板载体，其中所述两个弹簧具有相同的弹簧刚度。3.如前述权利要求中任一项所述的基板载体，其中所述弹簧中的每个弹簧包括被设置来与所述基板接触的接触区域，其中所述接触区域具有至少5mm、优选地至少10mm、并且特别优选地至少20mm的曲率半径。4.如前述权利要求中任一项所述的基板载体，其中所述弹簧中的每个弹簧包括用于第一移动元件的容纳区域，并且其中所述弹簧能够通过所述第一移动元件向外移动。5.如前述权利要求中任一项所述的基板载体，其还包括容纳在所述基板载体中的基板。6.如权利要求5所述的基板载体，其中所述弹簧中的每个弹簧包括被设置来与所述基板接触的接触区域，其中在所述基板厚度的方向上的所述接触区域中，所述弹簧具有是所述基板的所述厚度的优选地至少1.5倍、并且特别优选地至少2倍的延伸部。7.如权利要求5或6所述的基板载体，其中所述基板在所述基板载体中基本上竖直地定向，并且其中所述基板在其平行于所述第一轴线延伸的下边缘处搁置在所述基板载体上。8.如权利要求7所述的基板载体，其中在所述基板的所述下边缘和所述基板载体之间存在静摩擦力，并且其中所述基板沿着所述第一轴线2mm、优选地1mm、并且特别优选地0.5mm的偏心产生大于所述静摩擦力的所述两个弹簧到所述基板上的合力。9.如前述权利要求中任一项所述的基板载体，其还包括掩模，所述掩膜用于部分地覆盖所述基板，其中所述掩模优选地是所述基板载体的整体部分。10.如前述权利要求中任一项所述的基板载体，其还包括多个锁定装置，所述多个锁定装置适于将所述基板以形状配合且无力的方式保持在所述基板载体中。11.如前述权利要求中任一项所述的基板载体，其还包括另外的定心装置，所述另外的定心装置适于沿着第二轴线定心所述基板，其中所述另外的定心装置包括彼此相对的两对向内预加载的弹簧。12.如权利要求11所述的基板载体，其还包括基板，所述基板容纳在所述基板载体中，其中所述基板在所述基板载体中基本上水平地定向，其中所述基板在其侧边缘处搁置在所述基板载体上。13.如权利要求12所述的基板载体，其中在所述基板的所述侧边缘和所述基板载体之间存在静摩擦力，并且其中所述基板沿着所述第一轴线或所述第二轴线2mm、优选地1mm、并且特别优选地0.5mm的偏心产生大于所述静摩擦力的相应弹簧到所述基板上的合力。14.如权利要求8或13所述的基板载体，其中所述静摩擦系数小于0.2、优选地小于0.15、并且特别优选地小于0.1。15.一种更换站，其包括如前述权利要求中任一项所述的基板载体。16.如权利要求15所述的更换站，其中所述弹簧中的每个弹簧包括用于第一移动元件的容纳区域，并且其中所述更换站包括适于使所述弹簧向外移动的两个或更多个第一移动元件。17.如权利要求16所述的更换站，其中所述第一移动元件优选地借助于致动器使所述
弹簧自动地向外移动。18.如权利要求15至17中任一项所述的更换站，其还包括多个锁定装置，所述多个锁定装置适于将所述基板以形状配合且无力的方式保持在所述基板载体中。19.如权利要求18所述的更换站，其中所述锁定装置能够优选地借助于致动器自动地移动。20.一种用于处理基板的方法，其包括以下步骤：(a)将基板插入如权利要求1至14中任一项所述的基板载体中；以及(b)处理所述基板。21.如权利要求20所述的方法，其中在插入所述基板之前，所述定心装置的所述弹簧优选地自动地向外移动，其中所述基板载体任选地包括多个锁定装置，所述多个锁定装置适于将所述基板以形状配合且无力的方式保持在所述基板载体中，并且其中在插入所述基板之前，所述锁定装置优选地自动地打开。22.如权利要求20或21所述的方法，其中在插入所述基板之后，所述定心装置的所述弹簧优选地自动地向内移动，其中所述基板载体任选地包括多个锁定装置，所述多个锁定装置适于将所述基板以形状配合且无力的方式保持在所述基板载体中，并且其中在插入所述基板之后，所述锁定装置优选地自动地闭合。23.如权利要求20至22中任一项所述的方法，其还包括以下步骤：(c)从所述基板载体移除所述基板。24.如权利要求23所述的方法，其中在移除所述基板之前，所述定心装置的所述弹簧优选地自动地向外移动，其中所述基板载体任选地包括多个锁定装置，所述多个锁定装置适于将所述基板以形状配合且无力的方式保持在所述基板载体中，并且其中在移除所述基板之前，所述锁定装置优选地自动地打开。25.如权利要求20至24中任一项所述的方法，其中在步骤(a)和(b)之间将所述基板载体和/或所述基板从第一温度加热到第二温度。26.如权利要求25所述的方法，其中所述第一温度在低于100℃、优选地低于80℃、并且特别优选地低于70℃的范围内。27.如权利要求25或26所述的方法，其中所述第二温度在高于120℃、优选地高于150℃、并且特别优选地高于180℃的范围内。28.如权利要求20至27中任一项所述的方法，其中在步骤(a)和(b)之间，通过多个锁定装置将所述基板以形状配合且无力的方式优选地自动地保持在所述基板载体中。29.如权利要求20至28中任一项所述的方法，其中在步骤(b)中、优选地也在步骤(a)和/或(c)中，所述基板基本上竖直地定向。30.如权利要求29所述的方法，其中所述定心装置位于所述基板的下半部、优选地位于所述基板的下三分之一处。31.如权利要求29或30所述的方法，其中在步骤(a)和/或(c)期间，在所述基板和所述基板载体之间不存在摩擦力作用。32.如权利要求31所述的方法，其中在步骤(a)中，优选地通过机器人将所述基板以相对于由所述基板载体限定的平面倾斜的方式插入所述基板载体中，使得首先所述基板的下边缘搁置在基板载体的下侧上，并且随后使所述基板优选地无摩擦地倾斜到所述基板载体
的所述平面中。33.如权利要求31或32所述的方法，其中在步骤(c)中，首先优选地通过机器人将所述基板从由所述基板载体限定的所述平面倾斜出，使得仅所述基板的所述下边缘搁置在所述基板载体的下侧上，并且随后将所述基板在倾斜状态下优选地无摩擦地移除。
技术总结本发明涉及一种用于容纳和运输基板的基板载体、包括此种基板载体的更换站以及用于处理基板的方法。理基板的方法。
技术研发人员：赖纳
受保护的技术使用者：新格拉斯科技集团
技术研发日：2022.04.28
技术公布日：2022/11/1
